姚育成 呂輝 楊道虹 耿亮 李勁

摘要在“新工科”背景下，本文在調(diào)研基礎(chǔ)上分析了微電子專業(yè)實(shí)踐培養(yǎng)的問題，結(jié)合我校微電子專業(yè)實(shí)踐平臺(tái)建設(shè)和教學(xué)，討論了微電子分層次專業(yè)實(shí)驗(yàn)內(nèi)容設(shè)置、校外校內(nèi)實(shí)習(xí)和分散式校企聯(lián)合培養(yǎng)等實(shí)踐教學(xué)內(nèi)容和方法，為培養(yǎng)芯片產(chǎn)業(yè)人才服務(wù)。

關(guān)鍵詞 實(shí)踐培養(yǎng) 微電子 校企合作

中圖分類號(hào)：G642文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：ADOI：10.16400/j.cnki.kjdk.2021.13.021

Analysis and Method Exploration of the Practical Training of Microelectronics

YAO Yucheng[1]， LV Hui[1]， YANG Daohong[2]， GENG Liang[1]， LI Jing[1]

（[1]School of Science， Hubei University of Technology， Wuhan， Hubei 430068；[2]Hubei Semiconductor Association， Wuhan， Hubei 430068）

AbstractUnder the background of the emerging engineering education，the microelectronics practical training problems were analyzed based on the investigation. The microelectronics hierarchical professional experiment content setting，practical training inand outthecampusand distributeduniversity-enterprise trainingwerediscussedcombining withourschoolmicroelectronicspracticalteachingandpracticeplatformconstruction.Itcanservethetalentcultivation of chip industry.

Keywordspractical training； microelectronics； university-enterprise

1微電子專業(yè)實(shí)踐要求及其重要性

微電子技術(shù)是基于半導(dǎo)體工藝的微電子器件及電路系統(tǒng)集成的技術(shù)。隨著集成度的提高，芯片設(shè)計(jì)和工藝的聯(lián)系越來越緊密，工藝技術(shù)的基礎(chǔ)地位更加凸顯，[1]設(shè)計(jì)和工藝的一體化實(shí)踐訓(xùn)練成為芯片制造工程師和系統(tǒng)集成設(shè)計(jì)工程師的共同要求。

微電子專業(yè)基礎(chǔ)涉及抽象的物理知識(shí)和概念，偏重于微米、納米級(jí)物理效應(yīng)的研究，知識(shí)體系復(fù)雜，如果沒有實(shí)驗(yàn)教學(xué)相結(jié)合，學(xué)生很難理解抽象的物理效應(yīng)和實(shí)際的半導(dǎo)體器件和工藝之間的聯(lián)系，也無法調(diào)動(dòng)學(xué)生的學(xué)習(xí)興趣和積極性。[2]缺乏設(shè)計(jì)和工藝一體化實(shí)踐，學(xué)生無法理解工藝對(duì)半導(dǎo)體器件特性及電路集成的極限影響，理論設(shè)計(jì)也就變成了空中樓閣，微電子制造工藝等專業(yè)核心知識(shí)學(xué)習(xí)和能力培養(yǎng)更是直接基于實(shí)踐，離開實(shí)驗(yàn)的工藝學(xué)習(xí)則完全是無源之水，根本無法達(dá)到知識(shí)能力培養(yǎng)的要求。因此科學(xué)足量的實(shí)踐訓(xùn)練內(nèi)容和科學(xué)的實(shí)踐培養(yǎng)方法是微電子創(chuàng)新型工程人才培養(yǎng)的基本保證。

2目前微電子專業(yè)實(shí)踐培養(yǎng)存在的問題

2.1校外實(shí)習(xí)環(huán)境要求高，規(guī)模化集中實(shí)習(xí)難以落到實(shí)處

實(shí)踐訓(xùn)練一個(gè)最重要的方式就是實(shí)習(xí)，學(xué)生通過在企業(yè)生產(chǎn)線參觀和操作，達(dá)到綜合實(shí)踐能力訓(xùn)練目的。但微電子專業(yè)相關(guān)的集成電路、微電子器件等生產(chǎn)環(huán)境為超凈環(huán)境，生產(chǎn)環(huán)境的控制要求極高，生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的人員人數(shù)及出入都要符合一定標(biāo)準(zhǔn)。因此，相關(guān)企業(yè)的微電子生產(chǎn)工藝線通常不允許大批學(xué)生到現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行參觀學(xué)習(xí)，加上企業(yè)技術(shù)保密等因素，學(xué)生能有機(jī)會(huì)在企業(yè)遠(yuǎn)遠(yuǎn)的隔著玻璃墻走馬觀花已算不錯(cuò)，集體性實(shí)習(xí)操作無法實(shí)現(xiàn)。[3]根據(jù)我們組織的學(xué)生到武漢新芯集成電路制造有限公司和武漢天馬微電子股份有限公司認(rèn)知實(shí)習(xí)的情況看，大規(guī)模學(xué)生到企業(yè)進(jìn)行生產(chǎn)實(shí)習(xí)不夠現(xiàn)實(shí)，學(xué)生實(shí)習(xí)主要以參觀通道參觀為主。因此如果沒有相應(yīng)的補(bǔ)充措施，實(shí)習(xí)訓(xùn)練就無法落到實(shí)處，達(dá)不到實(shí)踐能力培養(yǎng)的要求。

2.2學(xué)校一般性實(shí)驗(yàn)經(jīng)費(fèi)投入，無法滿足微電子工藝實(shí)踐培養(yǎng)需要

微電子實(shí)驗(yàn)內(nèi)容主要是基于半導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體物理的微電子器件和電路集成的設(shè)計(jì)、制造和封裝相關(guān)技術(shù)和工藝實(shí)踐，[5]與傳統(tǒng)的電路板焊接、電子設(shè)備組裝等電子實(shí)訓(xùn)已不屬于同一層次，實(shí)驗(yàn)條件要求大大提高，設(shè)備昂貴，同時(shí)就要較高的運(yùn)行維護(hù)費(fèi)用，一般教學(xué)設(shè)備投入無法滿足微電子工藝實(shí)踐培養(yǎng)的需要。國(guó)內(nèi)高校走訪調(diào)研結(jié)果顯示，除了部分擁有國(guó)家示范微電子學(xué)院的高校外，其他高校缺乏完整的微電子工藝實(shí)踐平臺(tái)，開不出微電子工藝實(shí)驗(yàn)課。微電子工藝、微電子器件等教學(xué)只能停留在課堂教學(xué)階段，此類實(shí)踐性要求高的課程無法達(dá)到良好的教學(xué)效果，同時(shí)也影響了所學(xué)理論知識(shí)的深入理解。

2.3實(shí)驗(yàn)條件的不足，造成實(shí)踐內(nèi)容設(shè)置的方向性偏離

因?yàn)槿狈?shí)驗(yàn)平臺(tái)，大部分高校微電子實(shí)驗(yàn)集中在集成電路設(shè)計(jì)和簡(jiǎn)單的半導(dǎo)體器件性能測(cè)試，微電子人才培養(yǎng)中也不自覺的存在重設(shè)計(jì)、輕工藝的方向性偏離。[5]部分將本應(yīng)起輔助作用的虛擬仿真作為工藝實(shí)驗(yàn)全部，加上企業(yè)實(shí)習(xí)的難度，使學(xué)生始終沒有微電子工藝設(shè)備和工藝過程的實(shí)際感受。從頭到尾都是書本及屏幕里的實(shí)驗(yàn)教學(xué)無法使學(xué)生產(chǎn)生工程認(rèn)知，難以激發(fā)學(xué)生的興趣及潛能，達(dá)不到學(xué)生創(chuàng)新實(shí)踐能力培養(yǎng)的要求。

3微電子實(shí)踐平臺(tái)建設(shè)的探索

3.1區(qū)域資源整合，形成微電子專業(yè)實(shí)驗(yàn)條件

微電子專業(yè)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)是專業(yè)實(shí)踐有效開展的基礎(chǔ)，微電子專業(yè)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)包括設(shè)計(jì)、工藝和測(cè)試三個(gè)方面，開展微電子工藝實(shí)驗(yàn)不僅要求光刻、鍍膜、刻蝕等昂貴工藝設(shè)備，同時(shí)要求潔凈工藝環(huán)境和硅片、光刻膠、清洗液、鍍膜靶材、工藝及輔助氣體等耗材，實(shí)驗(yàn)平臺(tái)建設(shè)和運(yùn)行費(fèi)用極高，學(xué)校一般性實(shí)驗(yàn)經(jīng)費(fèi)投入，難以完成。國(guó)內(nèi)高校走訪調(diào)研結(jié)果顯示，即使國(guó)建有國(guó)家示范微電子學(xué)院的高校，在微電子專業(yè)實(shí)驗(yàn)開設(shè)過程中也存在運(yùn)行和維護(hù)費(fèi)用問題，因此根據(jù)實(shí)際條件進(jìn)行區(qū)域資源整合是建設(shè)微電子專業(yè)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的最佳方法。通過區(qū)域內(nèi)多所高校和企業(yè)合作，共同打造微電子專業(yè)實(shí)驗(yàn)、實(shí)訓(xùn)平臺(tái)，如在一個(gè)中心城市區(qū)域內(nèi)，根據(jù)現(xiàn)有基礎(chǔ)條件和要求，政府推動(dòng)由多所高校和企業(yè)在一個(gè)高?；蚱髽I(yè)打造微電子實(shí)驗(yàn)、實(shí)訓(xùn)共享平臺(tái)，這樣既能夠解決了實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的有無問題，又可以提高平臺(tái)使用效率，降低平臺(tái)單位使用成本，同時(shí)實(shí)現(xiàn)良好的學(xué)生實(shí)踐培養(yǎng)和企業(yè)員工培訓(xùn)服務(wù)。

3.2虛擬仿真和工藝實(shí)操相結(jié)合，提高實(shí)驗(yàn)平臺(tái)效率及實(shí)驗(yàn)安全性

微電子工藝實(shí)驗(yàn)需要環(huán)境條件、實(shí)驗(yàn)設(shè)備和大量耗材，成本高。在等離子增強(qiáng)氣相化學(xué)沉積、反應(yīng)離子刻蝕等工藝實(shí)驗(yàn)環(huán)節(jié)存在硅烷等危險(xiǎn)氣體，風(fēng)險(xiǎn)高，學(xué)生不具備操作。適當(dāng)配置部分工藝實(shí)驗(yàn)環(huán)節(jié)的虛擬仿真實(shí)驗(yàn)，為學(xué)生提供虛擬的實(shí)驗(yàn)訓(xùn)練平臺(tái)，同時(shí)補(bǔ)充該實(shí)驗(yàn)的教師操作，學(xué)生觀摩體驗(yàn)內(nèi)容，在保證教學(xué)效果的基礎(chǔ)上既可以大大節(jié)約實(shí)驗(yàn)成本，又提高了實(shí)驗(yàn)安全性。本校微電子工藝實(shí)驗(yàn)在PECVD薄膜沉浸和反應(yīng)離子刻蝕等特殊實(shí)驗(yàn)環(huán)節(jié)設(shè)置虛擬仿真，同時(shí)設(shè)置了教師操作，學(xué)生觀摩，教學(xué)效果良好。

3.3擴(kuò)大校企合作，形成企業(yè)學(xué)生實(shí)踐活動(dòng)雙選平臺(tái)

企業(yè)一線實(shí)習(xí)實(shí)踐始終是學(xué)生實(shí)踐培養(yǎng)的最好方法。因?yàn)槲㈦娮宇惼髽I(yè)生產(chǎn)的特殊性，學(xué)生集中性實(shí)習(xí)條件企業(yè)無法提供，因此分散化企業(yè)實(shí)習(xí)實(shí)踐是實(shí)踐培養(yǎng)的良好形式。一般企業(yè)接收數(shù)量在2-5人，因此實(shí)現(xiàn)大部分學(xué)生能夠進(jìn)入企業(yè)需要比較龐大的合作企業(yè)群，共同打造好校企聯(lián)合培養(yǎng)推薦平臺(tái)。

4微電子專業(yè)實(shí)踐教學(xué)探索

4.1分層次設(shè)置實(shí)驗(yàn)內(nèi)容，形成完整的專業(yè)實(shí)驗(yàn)體系

4.1.1跟隨課程，設(shè)置專業(yè)基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)

作為電子信息類人才培養(yǎng)，模擬電子技術(shù)、數(shù)字電子技術(shù)、半導(dǎo)體物理，半導(dǎo)體器件等隨課程設(shè)置基礎(chǔ)學(xué)習(xí)和認(rèn)知實(shí)驗(yàn)，提高學(xué)生對(duì)理論知識(shí)的理解和基礎(chǔ)半導(dǎo)體器件的認(rèn)識(shí)能力。微電子專業(yè)實(shí)驗(yàn)突出在半導(dǎo)體物理和半導(dǎo)體器件原理、結(jié)構(gòu)、和性能測(cè)試等內(nèi)容，通過實(shí)驗(yàn)同學(xué)可以驗(yàn)證相關(guān)專業(yè)理論，加深對(duì)半導(dǎo)體器件設(shè)計(jì)理論的認(rèn)識(shí)，提高理解、思維能力和實(shí)驗(yàn)?zāi)芰?，為進(jìn)一步的學(xué)習(xí)打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

4.1.2隨著專業(yè)知識(shí)深入，開展綜合性專業(yè)實(shí)驗(yàn)

隨著微電子工藝學(xué)和集成電路設(shè)計(jì)等專業(yè)理論內(nèi)容的學(xué)習(xí)，集中設(shè)置集成電路設(shè)計(jì)和微電子工藝綜合實(shí)驗(yàn)。完成集成電路或器件邏輯設(shè)計(jì)、版圖設(shè)計(jì)，以三極管或MOS管等微電子器件為例，集中完成氧化、光刻、刻蝕、擴(kuò)散、薄膜沉積等晶圓制造的主要制作工藝實(shí)驗(yàn)，結(jié)合工藝過程，配置微電子工藝中測(cè)及成測(cè)等環(huán)節(jié)所必需的顯微結(jié)構(gòu)測(cè)試、膜厚測(cè)試和半導(dǎo)體特性測(cè)試等測(cè)試實(shí)驗(yàn)。通過綜合實(shí)驗(yàn)，使學(xué)生掌握集成電路設(shè)計(jì)原理，熟悉EDA工具，通過親手完成半導(dǎo)體器件制造的整個(gè)工藝流程，充分理解和掌握半導(dǎo)體器件及制造工藝特點(diǎn)，培養(yǎng)學(xué)生對(duì)半導(dǎo)體器件原理研究的興趣，促進(jìn)學(xué)生將來從事半導(dǎo)體工藝物理方面的研究。

4.1.3設(shè)立大學(xué)生專業(yè)競(jìng)賽實(shí)訓(xùn)

目前國(guó)家級(jí)集成電路設(shè)計(jì)大賽已具有較大規(guī)模。實(shí)驗(yàn)內(nèi)容設(shè)計(jì)時(shí)，靈活設(shè)置賽課實(shí)踐內(nèi)容，以集成電路設(shè)計(jì)大賽為目標(biāo)引導(dǎo)，設(shè)立了大學(xué)生集成電路設(shè)計(jì)大賽實(shí)訓(xùn)項(xiàng)目和集成電路設(shè)計(jì)大賽校賽。學(xué)生根據(jù)自己興趣自愿報(bào)名，組成團(tuán)隊(duì)參加自主選擇指導(dǎo)老師，在指導(dǎo)老師幫助下完成創(chuàng)新實(shí)踐計(jì)劃項(xiàng)目，作為集成電路設(shè)計(jì)大賽區(qū)賽及國(guó)賽的實(shí)訓(xùn)和選拔。學(xué)生通過參加一系列競(jìng)賽課項(xiàng)目，提高了學(xué)習(xí)積極性和主動(dòng)性，提高了分析問題和解決問題的能力。

4.1.4設(shè)立大學(xué)生創(chuàng)新實(shí)踐項(xiàng)目

創(chuàng)新設(shè)計(jì)型實(shí)驗(yàn)是鍛煉學(xué)生創(chuàng)新能力的最有效方法。整合校企合作實(shí)訓(xùn)、技術(shù)研究合作和專業(yè)競(jìng)賽等實(shí)際項(xiàng)目?jī)?nèi)容，根據(jù)實(shí)際條件合理取舍，形成設(shè)計(jì)型項(xiàng)目實(shí)驗(yàn)內(nèi)容，將集成電路和微電子專業(yè)學(xué)生交叉組合形成若干實(shí)驗(yàn)小組，以項(xiàng)目小組的形式開展集成電路或微電子器件設(shè)計(jì)，利用無掩膜光刻實(shí)現(xiàn)項(xiàng)目小組設(shè)計(jì)作品的流片實(shí)驗(yàn)、最終完成設(shè)計(jì)作品的相關(guān)性能測(cè)試。通過項(xiàng)目作品的自主設(shè)計(jì)、流片操作，極大提高了學(xué)生的創(chuàng)新設(shè)計(jì)能力和動(dòng)手操作能力，實(shí)現(xiàn)綜合創(chuàng)新實(shí)踐能力培養(yǎng)。

4.2加強(qiáng)校企協(xié)同，構(gòu)建多樣化實(shí)踐教學(xué)模式

4.2.1融合實(shí)踐項(xiàng)目，構(gòu)建校外-校內(nèi)實(shí)習(xí)模式

微電子專業(yè)企業(yè)大規(guī)模生產(chǎn)實(shí)習(xí)不能深入落地是客觀事實(shí)，通過校外企業(yè)參觀實(shí)習(xí)和校內(nèi)綜合項(xiàng)目實(shí)驗(yàn)操作落實(shí)實(shí)習(xí)實(shí)訓(xùn)，使學(xué)生生產(chǎn)實(shí)習(xí)落到實(shí)處，實(shí)現(xiàn)學(xué)生綜合實(shí)踐能力培養(yǎng)。以我校集成電路和微電子專業(yè)學(xué)生為例，實(shí)習(xí)分為企業(yè)參觀實(shí)習(xí)和校內(nèi)項(xiàng)目設(shè)計(jì)和操作兩部分：首先到長(zhǎng)江存儲(chǔ)、武漢新芯集成電路制造有限公司、天馬微電子股份有限公司等企業(yè)實(shí)地參觀生產(chǎn)環(huán)境、生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)過程，開設(shè)介紹微電子行業(yè)基本生產(chǎn)技術(shù)和行業(yè)發(fā)展動(dòng)態(tài)等內(nèi)容的專題講座，使學(xué)生對(duì)現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)方式、本行業(yè)生產(chǎn)常用儀器設(shè)備及自動(dòng)化程度、目前發(fā)展的先進(jìn)設(shè)備和工藝水平及微電子行業(yè)的國(guó)內(nèi)外現(xiàn)狀與發(fā)展等產(chǎn)生系統(tǒng)了解。然后依托校內(nèi)芯片設(shè)計(jì)與工藝實(shí)驗(yàn)中心集成電路設(shè)計(jì)和微電子工藝實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，對(duì)整合的項(xiàng)目實(shí)驗(yàn)內(nèi)容，以項(xiàng)目小組的形式進(jìn)行作品完成設(shè)計(jì)作品、制造工藝操作和相關(guān)性能測(cè)試，利用校內(nèi)相對(duì)簡(jiǎn)單和自動(dòng)化程度低的工藝實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，完成無法在企業(yè)完成的實(shí)操訓(xùn)練。通過參觀實(shí)習(xí)和項(xiàng)目設(shè)計(jì)、工藝實(shí)驗(yàn)一體化，既保證了學(xué)生對(duì)工業(yè)生產(chǎn)的整體認(rèn)知，又解決學(xué)生企業(yè)生產(chǎn)線實(shí)習(xí)無法深入落地問題。

4.2.2分散化聯(lián)合實(shí)踐培養(yǎng)，實(shí)現(xiàn)實(shí)習(xí)就業(yè)一體化

隨著國(guó)內(nèi)用工環(huán)境變化和模式發(fā)展，學(xué)生實(shí)踐能力培養(yǎng)開始展現(xiàn)發(fā)達(dá)國(guó)家特點(diǎn)。微電子企業(yè)雖然無法針對(duì)大規(guī)模短時(shí)間的學(xué)生實(shí)習(xí)提供條件，但對(duì)小數(shù)量、針對(duì)性強(qiáng)、長(zhǎng)時(shí)間的學(xué)生企業(yè)實(shí)習(xí)具有較強(qiáng)需求。為了便于學(xué)生企業(yè)實(shí)踐良好開展，開展校企合作班形式的實(shí)習(xí)實(shí)踐模式。學(xué)校積極和相關(guān)企業(yè)建立產(chǎn)學(xué)研合作，以此為基礎(chǔ)建立一定數(shù)量的合作企業(yè)群，企業(yè)和學(xué)生通過雙向選擇形成多樣化，分散形式的校企合作班群。學(xué)校從應(yīng)用型課程的授課形式和選修課程的靈活設(shè)置保障學(xué)生實(shí)習(xí)實(shí)訓(xùn)的時(shí)間，學(xué)生與不同企業(yè)形成小型化校企合作班群實(shí)現(xiàn)實(shí)習(xí)就業(yè)一體化。我校成立芯片產(chǎn)業(yè)學(xué)院，并積極的與長(zhǎng)江存儲(chǔ)、天馬微電子、芯動(dòng)科技、長(zhǎng)飛光纖光纜股份有限公司、敏芯半導(dǎo)體股份有限公司等十余家企業(yè)建立合作關(guān)系，目前已有部分學(xué)生參與分散化聯(lián)合實(shí)踐培養(yǎng)，不僅提高了學(xué)生實(shí)踐能力，同時(shí)增強(qiáng)了就業(yè)能力。

4.3學(xué)生進(jìn)企業(yè)，企業(yè)導(dǎo)師進(jìn)課堂的教學(xué)模式

聘請(qǐng)集成電路設(shè)計(jì)、封裝和測(cè)試等領(lǐng)域工程師或企業(yè)家為企業(yè)合作導(dǎo)師，由企業(yè)導(dǎo)師完成部分課程和畢業(yè)設(shè)計(jì)等實(shí)踐教學(xué)內(nèi)容。通過企業(yè)導(dǎo)師講授和指導(dǎo)，調(diào)動(dòng)學(xué)生結(jié)合實(shí)際綜合分析能力。通過處理生產(chǎn)中接觸到的實(shí)際問題讓學(xué)生理解現(xiàn)有生產(chǎn)技術(shù)及個(gè)人如何適應(yīng)微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展，讓學(xué)生感受到微電子產(chǎn)業(yè)及該產(chǎn)業(yè)人才應(yīng)具備的專業(yè)素養(yǎng)。我校依托芯片產(chǎn)業(yè)學(xué)院，聘請(qǐng)了長(zhǎng)江存儲(chǔ)、長(zhǎng)飛光纖光纜股份有限公司、敏芯半導(dǎo)體股份有限公司等半導(dǎo)體企業(yè)12位企業(yè)工程師和高管為兼職教授。通過企業(yè)導(dǎo)師一學(xué)年的授課實(shí)踐情況看，大幅度提高了學(xué)生對(duì)相關(guān)技術(shù)的理解和專業(yè)知識(shí)學(xué)習(xí)的積極性。

5小結(jié)

新經(jīng)濟(jì)發(fā)展形勢(shì)下，微電子等專業(yè)人才的快速高質(zhì)量培養(yǎng)是產(chǎn)業(yè)發(fā)展的迫切要求。創(chuàng)新實(shí)踐能力培養(yǎng)是目前微電子專業(yè)人才培養(yǎng)面臨的難題。論文討論了微電子專業(yè)實(shí)驗(yàn)內(nèi)容和校外校內(nèi)聯(lián)合實(shí)習(xí)、分散式實(shí)習(xí)方法，本校兩屆學(xué)生的培養(yǎng)實(shí)踐顯示出在提高學(xué)生創(chuàng)新實(shí)踐能力方面具有較好效果。

依托項(xiàng)目：基于校企合作班的光電專業(yè)學(xué)生實(shí)踐培養(yǎng)模式研究（2016034）；基于服務(wù)湖北省地方區(qū)域經(jīng)濟(jì)的集成電路產(chǎn)業(yè)人才培養(yǎng)探索與實(shí)踐；集成電路專業(yè)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)一體化實(shí)踐教學(xué)培養(yǎng)模式研究

參考文獻(xiàn)

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