常琳 聶磊
揚州虹揚科技發(fā)展有限公司 江蘇 揚州225115
硅片腐蝕是利用氫氧化鈉對多晶硅進行腐蝕,目的是為了去除硅片在多線切割鋸切片時產(chǎn)生的表面損傷層,同時利用氫氧化鈉對硅腐蝕的各向異性,爭取反射率較低的表面織構(gòu)。
目前在硅片腐蝕工藝中,首先將圓形硅片放入到專用載具中,其次將專用載具放入到恒溫腐蝕池中腐蝕一定時間,并在機械臂的抖動下加速腐蝕,使硅片在沒有保護的地方腐蝕成溝槽,形成芯片的初步形狀;但是現(xiàn)有的機械臂結(jié)構(gòu)復雜,而且不利于形成旋轉(zhuǎn)腐蝕,腐蝕效果差。
授權(quán)公告號為CN207398077U的專利公開了一種用于挖溝槽的硅片旋轉(zhuǎn)裝置,該裝置只能實現(xiàn)在刻蝕槽內(nèi)刻蝕,無法實現(xiàn)提升后旋轉(zhuǎn)或者旋轉(zhuǎn)后提升。
硅片生產(chǎn)用輔助腐蝕機構(gòu),包括裝有腐蝕槽的底座和安裝架,所述安裝架設(shè)置在底座上,且安裝架上安裝有第一轉(zhuǎn)軸,所述安裝架位于所述腐蝕槽外側(cè),所述第一轉(zhuǎn)軸的端部安裝有驅(qū)動電機,且第一轉(zhuǎn)軸下方安裝有輔助機構(gòu),所述輔助機構(gòu)位于所述腐蝕槽內(nèi)部。在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上,本文還做了如下改進:
(1)所述輔助機構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)架和支撐板,所述支撐板間隔安裝在第一轉(zhuǎn)軸下方,且支撐板之間安裝有旋轉(zhuǎn)架,采用本步的有益效果是通過支撐板能夠保證第一轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動時,旋轉(zhuǎn)架能夠隨之轉(zhuǎn)動。
(2)它還包括傳動機構(gòu),所述傳動機構(gòu)安裝在第一轉(zhuǎn)軸內(nèi)部,且傳動機構(gòu)能夠帶動旋轉(zhuǎn)架轉(zhuǎn)動,采用本步的有益效果是通過傳動機構(gòu)能夠帶動旋轉(zhuǎn)架運動,以此實現(xiàn)硅片能夠在腐蝕槽中轉(zhuǎn)動,提高腐蝕的均勻性。
(3)傳動機構(gòu)包括第二轉(zhuǎn)軸、主動輪、從動輪和第二驅(qū)動電機,所述第二驅(qū)動電機安裝第一轉(zhuǎn)軸內(nèi)部,且第二驅(qū)動電機的輸出端安裝有主動輪,所述旋轉(zhuǎn)架內(nèi)部穿設(shè)有第二轉(zhuǎn)軸,所述第二轉(zhuǎn)軸的末端安裝有從動輪,所述主動輪與從動輪之間通過鏈條連接,采用本步的有益效果是通過第二驅(qū)動電機帶動第二轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動。
(4)鏈條外側(cè)套裝有保護套。
為了更清楚地說明本文的技術(shù)方案,下面將對具體實施方式中所需要使用的附圖作簡單地介紹。圖1為本文所述的一種硅片生產(chǎn)用輔助腐蝕機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本文所述的一種硅片生產(chǎn)用輔助腐蝕機構(gòu)的第二轉(zhuǎn)軸的結(jié)構(gòu)示意圖;
下面將結(jié)合附圖對本文技術(shù)方案進行詳細的描述。
如圖1-2所示,本文所述的一種硅片生產(chǎn)用輔助腐蝕機構(gòu),包括裝有腐蝕槽1的底座2和安裝架3,所述安裝架3設(shè)置在底座2上,且安裝架3上安裝有第一轉(zhuǎn)軸4,所述安裝架3位于所述腐蝕槽1外側(cè),所述第一轉(zhuǎn)軸4的端部安裝有第一驅(qū)動電機5,且第一轉(zhuǎn)軸4下方安裝有輔助機構(gòu)6,所述輔助機構(gòu)6位于所述腐蝕槽1內(nèi)部;本實施例中的第一轉(zhuǎn)軸4是穿過安裝架3,在第一驅(qū)動電機5的帶動下,能夠?qū)崿F(xiàn)轉(zhuǎn)動,具體與安裝架3的安裝方式屬于現(xiàn)有技術(shù),此處不再贅述;第一驅(qū)動電機5設(shè)置在安裝架3外側(cè),且輸出端與第一轉(zhuǎn)軸4的一端連接,這樣第一驅(qū)動電機5轉(zhuǎn)動時,能夠?qū)崿F(xiàn)第一轉(zhuǎn)軸4的轉(zhuǎn)動,以此,也能帶動輔助機構(gòu)6運動,脫離腐蝕槽。
如圖1所示,所述輔助機構(gòu)6包括旋轉(zhuǎn)架601和支撐板602,所述支撐板602間隔安裝在第一轉(zhuǎn)軸4下方,且支撐板602之間安裝有旋轉(zhuǎn)架601;本實施例中支撐板602為兩塊,起到連接支撐的作用,旋轉(zhuǎn)架601是安裝在支撐板602之間,這樣第一轉(zhuǎn)軸4運動時,旋轉(zhuǎn)架601也能夠繞著第一轉(zhuǎn)軸4運動;本實施例中的旋轉(zhuǎn)架601用于放置腐蝕用花籃,其包括放置部和固定部,放置部通過連桿和擋板形成上方開口,內(nèi)部為凹型的放置空間,開口處放置有固定部,固定部也是由連桿和擋板組成,形成和放置空間相配合的固定部,固定部與放置部通過位于其兩端螺栓固定。
如圖1所示,它還包括傳動機構(gòu)7,所述傳動機構(gòu)7安裝在第一轉(zhuǎn)軸4內(nèi)部,且傳動機構(gòu)7能夠帶動旋轉(zhuǎn)架601轉(zhuǎn)動;在腐蝕時,需要保證硅片能夠旋轉(zhuǎn),這樣才能夠?qū)崿F(xiàn)均勻腐蝕,所以需要額外的結(jié)構(gòu)帶動旋轉(zhuǎn)架601運動。
如圖1所示,所述傳動機構(gòu)7、輔助機構(gòu)6均為PVC材質(zhì),所述鏈條705外側(cè)套裝有保護套706。
本實施例的運動過程:先加裝有花籃的硅片放置在旋轉(zhuǎn)架601中,固定好后,啟動第一驅(qū)動電機704,帶動第一轉(zhuǎn)軸4轉(zhuǎn)動,使得旋轉(zhuǎn)架601能夠落入腐蝕槽1中;啟動第二驅(qū)動電機704,帶動主動輪702轉(zhuǎn)動,以此實現(xiàn)從動輪703轉(zhuǎn)動,從而帶動第二轉(zhuǎn)軸701轉(zhuǎn)動,旋轉(zhuǎn)架601能夠完成轉(zhuǎn)動,在腐蝕完畢后,啟動第一驅(qū)動電機704,帶動第一轉(zhuǎn)軸4轉(zhuǎn)動,使得旋轉(zhuǎn)架601脫離腐腐蝕槽。
本文闡述的一種硅片生產(chǎn)用輔助腐蝕機構(gòu),通過第一轉(zhuǎn)軸能夠?qū)崿F(xiàn)旋轉(zhuǎn)架進入或者脫離腐蝕槽,代替人工操作。通過傳動機構(gòu)能夠帶動旋轉(zhuǎn)架轉(zhuǎn)動,從而提高硅片的腐蝕效果。結(jié)構(gòu)簡單,成本低,且實用性高。