閆思齊　姜藶峰

摘要：微靜電斥力致動(dòng)器[1]由固定指端和移動(dòng)指端組成，結(jié)構(gòu)參數(shù)主要有固定指端寬度g、相鄰固定指端間的橫向距離Ta、相鄰固定指端寬度Tb和移動(dòng)指端寬度T。[2]本文以固定指端寬度g為基準(zhǔn)，相鄰固定指端間的橫向距離Ta、相鄰固定指端寬度Tb和移動(dòng)指端寬度T變化時(shí)對(duì)致動(dòng)器的影響。有利于致動(dòng)器的設(shè)計(jì)開發(fā)和規(guī)則優(yōu)化。

關(guān)鍵詞：MEMS；結(jié)構(gòu)參數(shù)

1 致動(dòng)器的結(jié)構(gòu)參數(shù)

致動(dòng)器的結(jié)構(gòu)參數(shù)，即Ta、Tb、T和g，通常被選擇為彼此相等。已知dCcell_upperdh為：

dCcellupperdh=εdkdh

·Ek1k2Kkk·Imsn1qany，ksn11，kImsn1qany，k·

ImEqany；kk1k2sn1qany，kkImsn1qany，k（1）

2 改變結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)致動(dòng)器的影響

3 總結(jié)

Ta、Tb和T相對(duì)于g的變化對(duì)致動(dòng)器性能的影響如下：

（1）通過改變結(jié)構(gòu)參數(shù)Ta、Tb和T，不能同時(shí)增加斥力與固定指端和移動(dòng)指端之間的最大垂直距離。

（2）力的增加是以固定指端和移動(dòng)指端之間最大垂直距離的減少為代價(jià)的，反之亦然。

（3）由于致動(dòng)器橫截面尺寸大小與致動(dòng)器性能之間存在簡(jiǎn)單的數(shù)學(xué)關(guān)系，通過調(diào)整致動(dòng)器橫截面的尺寸來調(diào)節(jié)致動(dòng)器的性能，比改變結(jié)構(gòu)參數(shù)Ta、Tb和T要簡(jiǎn)單得多。因此，斥力致動(dòng)器的設(shè)計(jì)時(shí)通常使Ta、Tb、T和g彼此相等，通過調(diào)整致動(dòng)器橫截面的橫向尺寸大小和指端長(zhǎng)度來調(diào)節(jié)致動(dòng)器的性能。

參考文獻(xiàn)：

[1]S.He and R.Ben Mrad，“Largestroke microelectrostatic actuators for vertical translation of micromirrors used in adaptive optics，” IEEE Trans.Ind.Electron.，vol.52，no.4，pp.974983，Aug.2005.

[2]D.J.Dagel，W.D.Cowan，O.B.Spahn，G.D.Grossetete，A.J.Grine，M.J.Shaw，P.J.Resnick，and B.Jokiel，Jr.，“Largestroke MEMS deformablemirrors for adaptive optics，” J.Microelectromech.Syst.，vol.15，no.3，pp.572583，Jun.2006.

作者簡(jiǎn)介：閆思齊（1993），男，漢族，吉林吉林人，碩士，航空宇航科學(xué)與技術(shù)，飛行器仿真。