郝惠蓮 張艷 李文堯 劉宏波

摘 要：“半導體制造技術”課程主要講述半導體制造的全過程，涵蓋一系列工藝流程，其理論性和實踐性均較強?；谠撜n程的性質(zhì)特點，針對行業(yè)需求，闡述了實踐課程引入該課程中的重要性，以期達到培養(yǎng)創(chuàng)新性半導體制造技術專業(yè)高水平人才的目標。

關鍵詞：半導體；制造技術；實踐教學；集成電路

在目前我國強力推進自主集成電路芯片“中國芯”的研發(fā)與制造背景下，我國的微電子產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，對半導體行業(yè)的高水平專業(yè)人才的需求也隨之大幅增加。但目前每年高校微電子專業(yè)的畢業(yè)生數(shù)量遠遠不能滿足半導體制造技術業(yè)的需求，半導體制造技術行業(yè)高水平專業(yè)人才的匱乏已經(jīng)成為制約其快速發(fā)展的主要瓶頸之一。為此，培養(yǎng)一批具備前沿半導體集成芯片的工程應用能力，掌握以半導體制造技術為載體的微電子系統(tǒng)研發(fā)、設計與生產(chǎn)能力的微電子專業(yè)人才是目前高校所面臨的迫在眉睫的問題，因而加強半導體制造工藝人才的培養(yǎng)已成為大學教學的一個重點研究內(nèi)容。

“半導體制造技術”是我院電子封裝技術專業(yè)的必修課程，也是培養(yǎng)學生實踐動手能力和創(chuàng)新開發(fā)能力的專業(yè)特色課程之一。該課程的目標是培養(yǎng)學生系統(tǒng)掌握微電子關鍵工藝及其原理，并具有一定工藝設計、分析及解決工藝問題的能力，因此，在這門課程中引入實踐教學是至關重要的。

一、“半導體制造技術”課程內(nèi)容的特點

“半導體制造技術”這門課程廣泛涉及量子物理、電學、光學和化學等基礎科學的理論概念，又涵蓋半導體后端工藝的材料分析等與制造相關的高新生產(chǎn)技術。該課程的主要內(nèi)容包括微電子集成電路制造工藝中的氧化、薄膜淀積、摻雜（離子注入和擴散）、外延、光刻和刻蝕等工藝，培養(yǎng)學生掌握集成電路制造工藝原理和設計、工藝流程及設備操作方法，使學生掌握集成電路制造的關鍵工藝及其原理。同時，該課程又是一門實踐性和理論性均較強的課程，其涉及涵蓋的知識面廣且抽象。基于此，培養(yǎng)學生的實踐動手、工藝分析、設計及解決問題的能力單純依靠課堂上的講和看是遠遠達不到的。如何利用多種可能的資源開展工藝實踐教學，加強科學實驗能力和實際工作能力的培養(yǎng)，是微電子專業(yè)教師的當務之急。

二、教學條件現(xiàn)狀及實踐教學的引入

1.教學條件現(xiàn)狀

眾所周知，半導體制造行業(yè)的設備如金屬有機化合物化學氣相沉淀、等離子增強化學氣相沉積（PECVD）和磁控濺射等設備價格昂貴，且對環(huán)境條件要求苛刻。與企業(yè)相比，高等學校在半導體制造設備和場地方面的投入遠遠不夠。為了達到該課程的教學目標，我們學校購置了一些如磁控濺射系統(tǒng)、PECVD、高溫擴散爐和快速熱處理爐等與半導體制造工藝相關的設備。

2.引入實踐教學的重要性

教學和實踐相輔相成，教學指導實踐，實踐反哺教學。為了加深學生對在課堂上所學的理論和工藝知識的理解，并培養(yǎng)學生的動手能力，我們在“半導體制造技術”這門課程中增添了利用PECVD技術淀積鈍化層SiNx：H薄膜及快速熱處理等實踐課。對于薄膜淀積實踐課，在實驗前期，學生需要調(diào)研，確定薄膜淀積參數(shù)（如溫度、時間、氣流比等）；在薄膜淀積完成之后，需要通過一些手段表征薄膜的結構和性能，檢查是否達到了預期的效果，如果和預期結果不相符，由老師組織學生共同探討并解決。在學生全程參與的實踐課程中，學生都感受到學習的樂趣，充分調(diào)動了學生的積極性，培養(yǎng)了學生提出問題、解決問題和分析問題的能力。

“半導體制造技術”課程的開展不僅要使學生掌握基本的理論知識，更重要的是通過課程傳授、實踐操作及企業(yè)案例等多種教學活動，激發(fā)學生的學習積極性和主動性，并提高學生的動手實踐能力、分析問題和解決問題的能力。通過實踐課的開展，將學生在課堂中學到的理論知識與企業(yè)的實際工作聯(lián)系起來，加深了對半導體制造技術關鍵工藝的理解。這些教學活動有效地培養(yǎng)了學生的創(chuàng)新思維和實踐能力，提高了整體的教學效果。理論和實踐相結合的授課方式必將成為“半導體制造技術”課程創(chuàng)新型教學改革與持續(xù)發(fā)展的原動力。

參考文獻：

[1]劉博，張雷鳴，王金嬋，等.《半導體制造技術》雙語教學的嘗試和探索[J].科技創(chuàng)新導報，2015（2）：150-152.

[2]白晉軍，李鴻強.《集成電路工藝原理》教學內(nèi)容的改革探索[J].考試周刊，2013（30）：15-16.

[3]童筱鈞.《集成電路工藝原理》課程教學實踐環(huán)節(jié)的探索[J].常州工學院學報，2014（2）：85-88.

[4]馬鐵英，唐瑩，董艷燕，等.《集成電路工藝原理》課程中濕法腐蝕實驗安排[J].電子電氣教學學報，2011（2）：83-84.

編輯 李建軍