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        長(zhǎng)壽命半球諧振陀螺真空保持技術(shù)

        2023-09-20 12:37:28于鑫海蘇定寧趙思晗李紹良趙萬(wàn)良
        壓電與聲光 2023年4期

        于鑫海,劉 奎,蘇定寧,趙思晗,段 杰,李紹良,趙萬(wàn)良

        (1.上海航天控制技術(shù)研究所,上海 201109;2. 上海慣性工程技術(shù)研究中心,上海 201109)

        0 引言

        隨著慣性導(dǎo)航技術(shù)的發(fā)展和半球諧振陀螺諧振子加工技術(shù)的不斷進(jìn)步,諧振子向小尺寸、高精度及高環(huán)境適應(yīng)性的方向發(fā)展,對(duì)陀螺整體結(jié)構(gòu)的小型化、輕量化和長(zhǎng)壽命的要求也更高[1-3]。半球諧振陀螺是一種固體振動(dòng)陀螺,陀螺通常包括諧振子、激振器(激勵(lì)電極)、檢測(cè)器(檢測(cè)基座)和封裝外殼?;诎肭蛑C振陀螺對(duì)于長(zhǎng)壽命的要求,陀螺需要具備連續(xù)工作15年的能力[4],隨著陀螺的長(zhǎng)時(shí)間工作,其內(nèi)部真空度逐漸下降,空氣阻尼隨之增大,當(dāng)內(nèi)部真空度高于10-4Pa量級(jí)時(shí),其空氣阻尼顯著影響諧振子的品質(zhì)因數(shù)Q值,從而降低陀螺的精度和穩(wěn)定性。因此。為了保證長(zhǎng)時(shí)間、高可靠性工作,半球諧振子對(duì)陀螺內(nèi)部的長(zhǎng)時(shí)間、高真空保持提出了極高的要求。

        為了解決陀螺的壽命問(wèn)題,保證陀螺內(nèi)部的高真空環(huán)境,必須在內(nèi)部放置吸氣劑,對(duì)陀螺腔體中的多余氣體進(jìn)行去除。吸氣劑通常由金屬粉末材料高溫?zé)Y(jié)而成,可以在一定溫度下激活,激活后具有較強(qiáng)的吸氫能力。然而由于半球諧振陀螺的星載及艦載特性,陀螺的小尺寸、小質(zhì)量要求限制了吸氣劑的質(zhì)量和體積,無(wú)法為陀螺內(nèi)置大量冗余吸氣劑,需在保證陀螺壽命的基礎(chǔ)上降低吸氣劑質(zhì)量。因此需要精確的計(jì)算模型,考慮陀螺在壽命期間受多種因素影響下內(nèi)部的升壓情況,在此基礎(chǔ)上完成吸氣劑的質(zhì)量設(shè)計(jì),才能同時(shí)兼顧半球諧振陀螺的小質(zhì)量和長(zhǎng)壽命要求。

        本文綜合考慮多種影響因素,給出一種陀螺壽命期內(nèi)的出氣量計(jì)算模型,對(duì)比多種吸氣劑的特點(diǎn),選擇較優(yōu)的吸氣材料,可更精確的控制吸氣劑質(zhì)量,為半球諧振陀螺的真空保持提供理論基礎(chǔ)。

        1 出氣量模型

        半球諧振陀螺尺寸緊湊,內(nèi)部真空度影響因素較復(fù)雜,根據(jù)工作環(huán)境、封裝工藝和材料特性,主要分為以下3個(gè)方面:

        1) 材料放氣。半球陀螺由石英半球諧振子,激勵(lì)、檢測(cè)電極及金屬封裝殼體組成,作為固體振動(dòng)陀螺,為了提高激勵(lì)和檢測(cè)的精度和效率,通常將諧振子和檢測(cè)基座金屬化,即表面金屬鍍膜,金屬材料原子間存有氣體分子,在高真空的環(huán)境下將會(huì)釋放,導(dǎo)致陀螺內(nèi)部真空度下降。

        2) 焊口漏氣。為了實(shí)現(xiàn)陀螺各部件間的連接,通常采用激光焊接方式進(jìn)行密封,即使提高了焊點(diǎn)的熔覆率,在焊接接口處仍會(huì)產(chǎn)生輕微漏氣現(xiàn)象,隨著時(shí)間推移,陀螺腔體中的真空度將逐漸下降。

        3) 氫氣滲透。小質(zhì)量半球陀螺的金屬殼體外壁很薄,外界大氣與內(nèi)部高真空環(huán)境形成了較大的壓強(qiáng)差,在這種壓差下,氫氣會(huì)產(chǎn)生一定程度的滲透,將微小的滲透率賦以較長(zhǎng)的時(shí)間尺度,也會(huì)導(dǎo)致陀螺內(nèi)部的真空度下降,進(jìn)而導(dǎo)致空氣阻尼增大。

        要求半球陀螺15年工作壽命時(shí),吸氣劑吸氣量設(shè)計(jì)應(yīng)滿(mǎn)足:

        Qx≥Qf+Ql+Qs

        (1)

        式中:Qx為吸氣劑的總吸氣量;Qf為金屬材料表面放氣量;Ql為激光焊接的總漏氣量;Qs為氫氣對(duì)金屬材料的總滲透量。

        2 材料放氣

        半球諧振陀螺通常采用可伐合金作為真空封裝外殼[5],但由于半球諧振子和基座的特殊性,因此在真空封裝除氣過(guò)程中,無(wú)法使用高溫烘烤方式為金屬除氣。因此,增加了金屬殼體的表面除氣難度,故需測(cè)定金屬殼體可伐合金材料的放氣速率[6],合理選擇吸氣劑的質(zhì)量,維持內(nèi)部高真空狀態(tài)。

        對(duì)于小放氣量的可伐合金材料,可采用靜態(tài)升壓法測(cè)量[7]放氣速率。結(jié)合國(guó)內(nèi)外學(xué)者的研究[8-11]提出一種測(cè)量方法。首先,在控制相同測(cè)試條件(20 ℃,2×10-6Pa)下,對(duì)測(cè)量腔體本底漏氣速率和放氣速率進(jìn)行測(cè)定,然后放入待測(cè)金屬材料,保證同樣溫度和初始真空度時(shí),得到總漏氣和放氣速率曲線(xiàn),最后進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,從總放氣速率曲線(xiàn)中排除系統(tǒng)本底漏放氣速率,可得出待測(cè)材料隨時(shí)間變化的放氣速率曲線(xiàn)。

        半球諧振陀螺采用可伐合金殼體材料的常溫放氣曲線(xiàn)如圖1所示。由圖可看出,小于5 h時(shí)材料放氣最明顯。因此,為了增大半球陀螺的真空壽命,應(yīng)維持10 h以上的真空除氣,以減小吸氣劑本身的負(fù)擔(dān)。

        圖1 可伐合金表面放氣速率曲線(xiàn)

        反映材料放氣率與時(shí)間關(guān)系的簡(jiǎn)單放氣模型形式[12]通常為

        lgq=lgq1-a·lgt

        (2)

        式中:q為材料放氣速率;t為金屬材料放入真空環(huán)境后的存放時(shí)間;q1為放氣率初始值;a為常數(shù)。依此對(duì)圖1中曲線(xiàn)做數(shù)據(jù)擬合,可得到該材料在測(cè)定條件下的放氣速率函數(shù):

        qf1=2.925×e-0.628 7t×10-7

        (3)

        同理可確定諧振子金屬膜層的表面放氣速率曲線(xiàn)如圖2所示。對(duì)圖2中曲線(xiàn)做數(shù)據(jù)擬合,可得到該材料在測(cè)定條件下的放氣速率函數(shù):

        圖2 諧振子表面金屬膜層放氣速率曲線(xiàn)

        qf2=6.999×e-0.154t×10-7

        (4)

        對(duì)以上兩函數(shù)曲線(xiàn)在時(shí)間尺度進(jìn)行積分,并考慮各材料表面積,可得出15年工作壽命要求下,陀螺內(nèi)部金屬材料放氣總量為

        (5)

        式中:A1、A2分別為對(duì)應(yīng)金屬材料的表面積。經(jīng)計(jì)算,材料放氣總量為3.77×10-2Pa·L。

        3 氫氣滲透和漏氣

        氣體對(duì)金屬的溶解、滲透過(guò)程,一般以原子態(tài)的形式進(jìn)行,由于氫原子的直徑最小,所以氫原子對(duì)金屬的滲透最顯著。氫氣對(duì)金屬的滲透速率為

        (6)

        式中:qs為氫氣透過(guò)陀螺殼體壁面的滲透速率;ΔP為金屬殼體外壁兩側(cè)的氣壓差;d為壁厚;A為金屬殼體外壁的面積;K為氫氣對(duì)某種固體的滲透系數(shù)。圖3為氫氣對(duì)常見(jiàn)金屬材料的滲透系數(shù)曲線(xiàn)。

        圖3 氫氣對(duì)各種金屬材料的滲透系數(shù)

        常溫(20 ℃)下,估算氫氣對(duì)可伐合金的滲透系數(shù)為

        K≈0.5×10-10×0.419(Pa·L·mm·s-1·

        cm-2·Pa0.5)

        (7)

        考慮各材料表面積可得出15年工作壽命要求下,氫氣對(duì)殼體金屬材料的滲透總量為

        (8)

        經(jīng)計(jì)算,氫氣滲透總量約為1.72 Pa·L。

        目前半球諧振陀螺研制實(shí)驗(yàn)室采用的激光焊接設(shè)備,在保證熔覆率大于90%的密封焊接情況下,接口處漏氣率可采用氦質(zhì)譜儀進(jìn)行檢測(cè),通常一臺(tái)密封良好的半球陀螺漏氣速率ql<5×10-9Pa·L/s。

        由此可得,15年工作壽命要求下,氫氣對(duì)殼體金屬材料的滲透總量為

        (9)

        經(jīng)計(jì)算,漏氣總量約為2.36 Pa·L。

        綜上吸氣劑的總吸氣量應(yīng)滿(mǎn)足:

        Qx≥Qf+Ql+Qs

        (10)

        經(jīng)計(jì)算總放氣量約為4.12 Pa·L。

        4 陀螺流導(dǎo)模型

        為了計(jì)算初始真空度,獲得最優(yōu)的吸氣劑材料,需要建立陀螺流導(dǎo)模型,對(duì)初始狀態(tài)下的真空壓力進(jìn)行計(jì)算。

        4.1 初始真空壓力

        由于吸氣劑為金屬粉末燒結(jié),陀螺的工作環(huán)境通常具有多頻段大功率的振動(dòng),因此為了保證諧振子的性能,應(yīng)在陀螺內(nèi)部將吸氣劑與諧振子分隔在兩腔室內(nèi),在此基礎(chǔ)上,內(nèi)部腔體即近似形成一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的真空抽氣管路。根據(jù)真空系統(tǒng)的壓力公式[7]可得到諧振子間隙處的真空壓力為

        (11)

        式中:Pg為諧振子間隙處的工作真空壓力;P0為吸氣劑腔體能達(dá)到的真空度;Q0為諧振子腔體的氣體漏率總量(包括密封處漏氣、材料表面出氣、材料滲透等);Sp為吸氣劑的有效抽速。

        4.2 有效抽速

        在動(dòng)態(tài)平衡時(shí),流經(jīng)任意截面的氣體流量相等,因此有:

        (12)

        式中:S為吸氣劑的吸氣速率;U為管道的流導(dǎo)。

        4.3 陀螺流導(dǎo)

        空氣阻尼通常作用于諧振子與檢測(cè)電極基座的間隙內(nèi),此位置的氣體壓強(qiáng)代表陀螺內(nèi)部的實(shí)際真空度,氣體沿管道的流動(dòng)狀態(tài)可分為湍流、粘滯流、粘滯-分子流和分子流。諧振子的實(shí)際工作環(huán)境為高真空,此時(shí)氣體沿管道的流動(dòng)狀態(tài)為分子流,氣體分子間碰撞次數(shù)很少,主要與腔體內(nèi)壁發(fā)生碰撞,其運(yùn)動(dòng)形式如圖4所示。

        圖4 分子流示意圖

        典型半球諧振陀螺的內(nèi)部結(jié)構(gòu)由圓截面短管和環(huán)形截面管道組成,可對(duì)各個(gè)截面管道在長(zhǎng)度尺度上疊加運(yùn)算,對(duì)應(yīng)的20 ℃時(shí)流導(dǎo)公式[7]為

        Uf1=11.6A0α

        (13)

        (14)

        U=Uf1+Uf2

        (15)

        式中:L/d為圓截面短管的長(zhǎng)徑比;A0為截面積;d2/d1為環(huán)形管的小、大徑之比;α,Kh均為系數(shù)。表1為系數(shù)α的取值范圍。表2為系數(shù)Kh的取值范圍。

        表1 系數(shù)α的取值范圍

        表2 系數(shù)Kh的取值范圍

        綜合式(11)~(15)可得出,為保證諧振子間隙內(nèi)極限真空度為1×10-5Pa,則要求吸氣劑材料初始抽速大于1×103Pa·L。

        5 實(shí)現(xiàn)高真空保持的技術(shù)措施

        綜合考慮材料體系和吸氣性能[13],吸氣劑可采用鋯釩鐵粉末與鋯金屬燒結(jié)而成。既可保證激活時(shí)高溫不會(huì)造成諧振子失效,又可滿(mǎn)足強(qiáng)度和吸氣量要求,基于初始吸氣速率大于103Pa·L,總體吸氣量大于4.12 Pa·L的要求,可選用意大利 SAES Getter公司的St172型吸氣劑450 mg,以滿(mǎn)足陀螺對(duì)吸氣劑初始吸氣速率和長(zhǎng)壽命工作的要求。

        為減小吸氣劑的抽氣壓力,可在封裝前對(duì)陀螺金屬殼體進(jìn)行200 ℃真空高溫預(yù)烘,并在降溫后短時(shí)間內(nèi)完成焊接,在一定程度上對(duì)金屬表面進(jìn)行提前脫氣處理。

        6 結(jié)束語(yǔ)

        計(jì)算表明,長(zhǎng)時(shí)間工作下的半球諧振陀螺,金屬材料表面放氣、激光焊接漏氣和氫氣對(duì)金屬的滲透均是導(dǎo)致容器內(nèi)部真空度無(wú)法保持在10-4Pa以上的主要原因。15年工作條件下,陀螺內(nèi)部的出氣總量約為4.12 Pa·L,結(jié)合陀螺流體模型和吸氣劑吸氣量的數(shù)據(jù),給出了吸氣劑應(yīng)投放的最小劑量約為450 mg,初始吸氣速率大于103Pa·L,為減小吸氣劑的抽氣壓力,可在封裝前對(duì)陀螺金屬殼體進(jìn)行200 ℃真空高溫預(yù)烘,并在降溫后短時(shí)間內(nèi)完成焊接,實(shí)現(xiàn)陀螺長(zhǎng)壽命工作狀態(tài)下的高真空保持。

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