史向前

他擁有在臺(tái)灣頂級(jí)芯片制造企業(yè)、臺(tái)灣第一家可以量產(chǎn)12英寸晶圓存儲(chǔ)器制造商茂德科技工作及擔(dān)任主管的豐富經(jīng)驗(yàn)；同時(shí)擁有在中國(guó)內(nèi)地規(guī)模最大、技術(shù)最先進(jìn)的集成電路芯片制造企業(yè)——中芯國(guó)際工作的獨(dú)特經(jīng)歷。20余年來(lái)，他始終堅(jiān)守在半導(dǎo)體芯片蝕刻技術(shù)領(lǐng)域的第一線，跟全球半導(dǎo)體芯片蝕刻領(lǐng)域同行和上下游供應(yīng)商、客戶勠力同心，一起推動(dòng)行業(yè)前沿產(chǎn)品的研發(fā)和量產(chǎn)制造，形成了前瞻性、國(guó)際化的視野，有許多對(duì)集成電路領(lǐng)域尤其是半導(dǎo)體芯片蝕刻方面持續(xù)創(chuàng)新的理念以及獨(dú)特的專業(yè)洞察。他，就是中芯國(guó)際集成電路制造（北京）有限公司工程部資深經(jīng)理盧俊男。

結(jié)緣蝕刻技術(shù)，匠心積淀

1994年，18歲的盧俊男進(jìn)入臺(tái)灣中興大學(xué)攻讀物理專業(yè)本科。1998年本科畢業(yè)后，由于興趣使然，他進(jìn)入臺(tái)灣交通大學(xué)攻讀電子研究專業(yè)，之后便與集成電路結(jié)下了不解之緣。2000年畢業(yè)的時(shí)候，臺(tái)灣地區(qū)僅有少數(shù)研究團(tuán)隊(duì)在此領(lǐng)域展開(kāi)研究工作。帶著對(duì)知識(shí)的渴望和對(duì)世界一流半導(dǎo)體芯片設(shè)計(jì)、研發(fā)技術(shù)的向往，2000年研究生畢業(yè)后盧俊男進(jìn)入茂德科技工作。

當(dāng)時(shí)，茂德科技股份有限公司已經(jīng)是全球知名的動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取記憶體設(shè)計(jì)、研發(fā)、制造及行銷公司，在臺(tái)灣地區(qū)屬于行業(yè)頭部企業(yè)，其擁有的先進(jìn)設(shè)備、工藝和設(shè)計(jì)方法，無(wú)一不對(duì)盧俊男產(chǎn)生巨大的震撼與吸引，因此他不得不抓緊一切時(shí)間努力學(xué)習(xí)并研究相關(guān)知識(shí)。很快，盧俊男作為核心研發(fā)人員參與了茂德科技關(guān)于旋涂材料層平坦技術(shù)及光阻層制造技術(shù)、溝槽蝕刻方法等多項(xiàng)蝕刻專業(yè)技術(shù)的研發(fā)，由于其研究成果所具有的高端創(chuàng)新性和無(wú)可比擬的實(shí)用價(jià)值，盧俊男先后獲得了兩項(xiàng)發(fā)明專利，并得到美國(guó)版權(quán)局的認(rèn)可；這些研究成果極大地促進(jìn)了茂德科技半導(dǎo)體芯片蝕刻技術(shù)的發(fā)展。

2008年對(duì)于盧俊男來(lái)說(shuō)是頗具重要意義的一年，在茂德科技工作8年之后，32歲的盧俊男帶著一身的技術(shù)和對(duì)行業(yè)的思考，滿載著成果進(jìn)入內(nèi)陸工作。先后在重慶渝德科技有限公司和中航（重慶）微電子有限公司擔(dān)任部門經(jīng)理。面對(duì)全新的工作環(huán)境和研究條件，盧俊男心無(wú)旁騖，將自己的全部熱情和精力投入到工作和科研中。很快他的專業(yè)技能得到了業(yè)內(nèi)同行的認(rèn)可，身邊的同事評(píng)價(jià)他“工作勤奮認(rèn)真，嚴(yán)于律己，善于奉獻(xiàn)”，并且展現(xiàn)出了“非常扎實(shí)的基礎(chǔ)理論、寬廣的專業(yè)知識(shí)和嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓ぷ髯黠L(fēng)”，獲得了公司上下的一致認(rèn)可與褒獎(jiǎng)。

初心不變，方能行遠(yuǎn)

時(shí)間總是會(huì)善待勤奮且聰明的人。盧俊男的一言一行無(wú)不流露著對(duì)行業(yè)滿腔熱忱與勇于突破的雄心。很快，他在大陸半導(dǎo)體蝕刻技術(shù)領(lǐng)域取得的成績(jī)?cè)絹?lái)越顯赫，受到了中芯國(guó)際集成電路制造有限公司的關(guān)注。2014年中芯國(guó)際向他伸出了橄欖枝。中芯國(guó)際是世界領(lǐng)先的集成電路芯片代工企業(yè)之一，也是中國(guó)內(nèi)地規(guī)模最大、技術(shù)最先進(jìn)的集成電路芯片制造企業(yè)，能夠進(jìn)入中芯國(guó)際并擔(dān)任北京B1蝕刻工程部資深經(jīng)理，本身就證明盧俊男的專業(yè)技能已經(jīng)居于全球頂級(jí)水平。在中芯國(guó)際，盧俊男參與了中芯國(guó)際0.18微米到28納米等多項(xiàng)重大技術(shù)制程工藝的研發(fā)設(shè)計(jì)和量產(chǎn)制造，為中芯國(guó)際的發(fā)展做出了許多突出貢獻(xiàn)。

在半導(dǎo)體芯片蝕刻技術(shù)方面，盧俊男毫無(wú)疑問(wèn)是行業(yè)佼佼者。鑒于他深厚的行業(yè)背景和超強(qiáng)的個(gè)人能力，受邀參加2018年度世界集成電路大會(huì)，為行業(yè)發(fā)展建言獻(xiàn)策。

堅(jiān)持初心，方能行遠(yuǎn)。盧俊男的確用行動(dòng)推動(dòng)著自己所熱愛(ài)的行業(yè)的發(fā)展，用盧俊男自己的話說(shuō)：“我會(huì)一直堅(jiān)守在芯片蝕刻技術(shù)的第一線，力求做出更多的貢獻(xiàn)。只要能發(fā)揮我自己的長(zhǎng)處，找準(zhǔn)自己的目標(biāo)，做好自己專業(yè)的工作就心滿意足了?！北R俊男深情地說(shuō)。

不難看出，盧俊男的確是一個(gè)對(duì)半導(dǎo)體芯片蝕刻技術(shù)心存赤子之心的人。小小的芯片上承載著他此生最大的熱忱。如今剛過(guò)不惑之年的盧俊男，正處于職業(yè)生涯黃金時(shí)期，相信未來(lái)在集成電路領(lǐng)域一定會(huì)創(chuàng)造更多屬于他的精彩。