亚洲免费av电影一区二区三区,日韩爱爱视频,51精品视频一区二区三区,91视频爱爱,日韩欧美在线播放视频,中文字幕少妇AV,亚洲电影中文字幕,久久久久亚洲av成人网址,久久综合视频网站,国产在线不卡免费播放

        ?

        基于單晶硅制絨金字塔生長異常的解決方法

        2018-01-17 17:55:25湯歡張波寧楊偉光
        電子技術與軟件工程 2017年24期
        關鍵詞:單晶硅數(shù)據(jù)分析金字塔

        湯歡+張波寧+楊偉光

        摘 要

        本文研究的是單晶硅太陽能電池堿制絨后出現(xiàn)異常表面的分析方法。以正常生產(chǎn)中出現(xiàn)的亮片表面為例,進行全面解析,通過SEM對不同制絨后的片進行金字塔的大小測量及ImageJ軟件統(tǒng)計單位面積的金字塔個數(shù)進行數(shù)據(jù)比較得到基礎數(shù)據(jù),分析影響晶體硅金字塔結構生長異常的原因,便于查找相關的工藝和設備問題,為晶體硅太陽能制絨的正常生產(chǎn)提供了數(shù)據(jù)分析參考和經(jīng)驗積累。

        【關鍵詞】單晶硅 制絨 金字塔 工藝 設備 數(shù)據(jù)分析 經(jīng)驗積累

        單晶制絨的工藝以及設備運行狀態(tài)對表面制絨的效果起著非常重要的作用。制絨設備的運行狀態(tài)直接影響著工藝的正常進行,工藝的正常運行及穩(wěn)定性直接影響著制絨效果,金字塔的生長等等。理想質量的金字塔的形成,受到了諸多因素的影響,包括工藝穩(wěn)定性和設備的運行狀態(tài)等。

        1 案例解析

        金字塔結構的尺寸和形狀對單晶硅絨面的反射率會產(chǎn)生很大影響,反射率的異常也會對硅片的表面產(chǎn)生直接影響。本文以單晶電池生產(chǎn)環(huán)節(jié)出現(xiàn)的制絨亮面表面為例進行解析。分別從金字塔尺寸、單位面積金字塔個數(shù)及反射率三方面對正常制絨后和亮片表面制絨后的硅片進行對比,討論了由于金字塔異常導致的不同結果,并結合得到的數(shù)據(jù)對工藝和設備進行問題查找,并提出解決方案。

        1.1 金字塔尺寸對比

        對正常硅片及出現(xiàn)的亮面表面進行垂直角度3000倍掃描電鏡表征對比,從SEM上看,正常片的金字塔大小在5-7μm,亮片的金字塔較正常片的金字塔要偏大在9-10μm,有的部位金子塔較小,有未成核處。選取相同面積進行對金字塔進行統(tǒng)計分析,制絨后正常硅片有449個金字塔,而亮片相同視場面積下僅有150個金字塔。

        1.2 反射率對比

        從圖1數(shù)據(jù)可以看出亮片的反射率要比正常片的反射率偏高。

        小結:分析表明腐蝕速率在一定程度上決定了金字塔的結構,在合適的腐蝕速率下,成核與生長達到一個平衡,形成大小合適、結構完整且密布整個硅片表面的金字塔結構;腐蝕速率較高時,金字塔的生長大于成核,表現(xiàn)的絨面結構為大金字塔,且表面有未成核處。導致出現(xiàn)亮面表面的原因也就是腐蝕速率發(fā)生了變化。

        2 問題查找

        問題查找包括工藝問題和設備問題,兩者息息相關,當工藝成熟運行時,設備因素的影響又會制約工藝的運行。工藝問題和設備問題同時進行查找解析處理。

        2.1 確認工藝加載的正確性

        不同的工藝配比直接影響著制絨效果,腐蝕深度、金字塔的成核及生長都會受到影響。在生產(chǎn)正常進行時出現(xiàn)異常表面首先要檢查加載工藝是否正確。

        2.2 確認工藝運行的正常性及解決方案

        影響制絨效果的因素包括藥液濃度、工藝時間、溫度等。當工藝加載正常,但是運行不正常,也會影響最終的工藝效果。確保工藝正常的運行是生產(chǎn)的基礎工作,工藝的正常運行又需要以設備正常運行做為基礎。解決方案如下:

        2.2.1 報警及運行記錄查詢

        根據(jù)對應的時間查找相應的報警信息,對該時間段內存在設備異常問題進行匯總。推算表面出現(xiàn)的時間,根據(jù)時間查運行記錄,查相關的各槽的反應時間、溫度范圍等。

        解決方案:通過運行記錄和報警記錄,標記對應的時間,查找報警原因,由于設備問題帶來的隱患導致的超時,包括槽蓋報警、機械手運行錯誤報警、傳感器異常報警等。

        2.2.2 補液記錄查詢

        查看補液過程中是否存在異常。補液異常包括在反應中不補液,反應中補液時間不對,補液值不是工藝設定值,或者在報警記錄中出現(xiàn)的供液系統(tǒng)壓力不足等。

        解決方案:補液值不是工藝設定值,需要確定工藝加載的準確性;反應中不補液或補液時間不對,需進行多槽多批次的記錄查詢;針對報警記錄中出現(xiàn)的供液系統(tǒng)壓力不足的問題,要對外圍工藝系統(tǒng)能否正常工作進行監(jiān)控。

        2.2.3 藥液校準

        對使用的藥液進行校準,藥液的精準性直接影響著生產(chǎn)的藥液濃度,濃度不同導致工藝運行出現(xiàn)問題,最終出現(xiàn)表面問題。

        3 小結

        影響金字塔生長的因素對金字塔成核過程起著至關重要的作用。當工藝確定后,設備的運行狀態(tài)又制約著工藝的正常運行,當工藝參數(shù)已經(jīng)滿足在運行周期內穩(wěn)定,出現(xiàn)異常問題后多數(shù)是由設備間接導致的,所以在生產(chǎn)環(huán)節(jié),設備和工藝是密不可分。

        本文是以單晶制絨過程中出現(xiàn)的異常表面為例,做相應的數(shù)據(jù)分析,最終通過查找工藝和設備的影響因素解決實際問題,主要是提供一個解決問題的思路,為生產(chǎn)積累數(shù)據(jù)和經(jīng)驗。

        參考文獻

        [1]呂紅杰,沈鴻烈,沈洲,劉斌,李斌斌.太陽電池用單晶Si表面的織構化研究[J].電子器件,2011(05).

        [2]席珍強,楊德仁,吳丹,張輝,陳君,李先杭,黃笑容,蔣敏,闕端麟.單晶硅太陽電池的表面織構化[J].太陽能學報,2002(03).

        [3]許彥旗,汪義川,季靜佳,施正榮.關于單晶硅各向異性腐蝕機理的討論[A].21世紀太陽能新技術——2003年中國太陽能學會學術年會論文集[C].2003.

        [4]王海燕.硅基太陽能電池陷光材料及陷光結構的研究[D].鄭州大學,2005.

        作者單位

        光伏材料與技術國家重點實驗室 河北省保定市 071051endprint

        猜你喜歡
        單晶硅數(shù)據(jù)分析金字塔
        “金字塔”
        A Study of the Pit-Aided Construction of Egyptian Pyramids
        海上有座“金字塔”
        神秘金字塔
        童話世界(2017年11期)2017-05-17 05:28:25
        單晶硅回歸
        能源(2016年2期)2016-12-01 05:10:32
        單晶硅各向異性濕法刻蝕的形貌控制
        Excel電子表格在財務日常工作中的應用
        淺析大數(shù)據(jù)時代背景下的市場營銷策略
        新常態(tài)下集團公司內部審計工作研究
        中國市場(2016年36期)2016-10-19 04:31:23
        淺析大數(shù)據(jù)時代對企業(yè)營銷模式的影響
        日韩一区二区中文字幕视频| 色一情一乱一伦一区二区三欧美| 九九99国产精品视频| 午夜一区二区在线视频| 国产高颜值女主播在线| 国产裸拍裸体视频在线观看| 天天躁日日躁狠狠躁一区| 国内偷拍第一视频第一视频区| 日本精品一区二区三区二人码| 久久和欧洲码一码二码三码| av天堂精品久久久久| 午夜视频在线观看国产| 久久久久九九精品影院| 精品久久久久久中文字幕| 国产码欧美日韩高清综合一区| 亚洲精品中字在线观看| 国产精品亚洲综合色区| 日本免费人成视频播放| 国产青春草在线观看视频| 草草影院发布页| 国产精品igao视频网| 久久道精品一区二区三区| 韩国三级黄色一区二区| 一本大道无码人妻精品专区| 国产在线丝袜精品一区免费| 丰满人妻无套内射视频| 亚洲gay片在线gv网站| 亚洲欧洲巨乳清纯| 四虎国产精品成人影院| 久久久精品毛片免费观看| 亚洲精品熟女国产| 欧美日韩国产成人综合在线影院| 隔壁人妻欲求不满中文字幕| 国产成人精品2021| 在线观看欧美精品| 日本在线一区二区三区四区| 99久久精品免费看国产| 中文字幕无码无码专区| 91在线观看国产自拍| 欧美亚洲精品suv| 97一区二区国产好的精华液|