單晶硅生產中氬氣回收純化裝置

申請 (專利)號:201220111489.6

公開 (公告)日:2012-11-07

申請 (專利權)人:杭州杭氧股份有限公司

一種單晶硅生產中氬氣回收純化裝置，該裝置包括:一用于對從單晶爐中收集的氬氣進行粗油過濾的粗油過濾器;在所述粗油過濾器之后依次相連有氬氣壓縮機和一水冷卻器，并在其后相連有可除去氬氣中油霧和固體顆粒高精度除油系統(tǒng);一依次通過加熱器和回熱器相接于所述高精度除油系統(tǒng)的一級催化反應器以及通過所述回熱器相接于所述一級催化反應器的二級催化反應器;一組至少由兩只吸附器構成的常溫吸附單元相接于所述的二級催化反應器;所述常溫吸附單元通過一低溫板式換熱器以及節(jié)流閥連通于低溫精餾塔，在該低溫精餾塔的底部設置有純液氬產品出口;它具有氬氣回收率高，回收氬氣純度高，氧氣含量低，回收純化能耗低等特點。

一種用于三氯氫硅生產的除塵系統(tǒng)

申請 (專利)號:201220489930.4

公開 (公告)日:2013-03-13

申請 (專利權)人:華陸工程科技有限責任公司

摘要:本實用新型涉及一種用于三氯氫硅生產的除塵系統(tǒng)，包括洗滌塔和洗滌塔頂部的冷凝器，還包括文丘里洗滌器、氣液分離罐和循環(huán)泵，氣液分離罐一端與文丘里洗滌器連接，另外兩端分別與氣體進口和液體進口連接;循環(huán)泵一端與文丘里洗滌器連接，另一端與液體出口連接。其中洗滌塔上部的直徑小于下部的直徑，上部為穿流板和篩板相結合的結構型式，下部設有內件擋板。本實用新型提供的除塵系統(tǒng)對旋風除塵后的反應氣體進行了進一步的處理，反應氣體中含有的高沸物、金屬氯化物以及微量的細小硅粉在該裝置中被除去，使得反應氣體在進入冷凝系統(tǒng)時不會堵塞管道和設備，減輕了三氯氫硅中金屬氯化物和高沸物的污染，并為裝置的連續(xù)穩(wěn)定運行提供了保障。

動態(tài)標準氣體發(fā)生器

申請 (專利)號:201220273322.X

公開 (公告)日:2013-01-02

申請 (專利權)人:重慶瑞信氣體有限公司

摘要:本實用新型提出了一種動態(tài)標準氣體發(fā)生器。它包括一個小流量質量流量控制器和一個大流量質量流量控制器，所述小流量質量流量控制器和大流量質量流量控制器通過管路采用雙路并聯連接的方式，還包括與雙路并聯管路連接的背壓閥。本實用新型的優(yōu)點是當采用上述結構以后，本實用新型的動態(tài)標準氣發(fā)生器利用各種標準物質滲透管可獲得不同含量該標準物質的標準氣體;還可對瓶裝高濃度的標準氣體進行稀釋，即可獲得該標準氣體的微量含量標準物質。

氬氣的提純方法及提純裝置

申請 (專利)號:201110308094.5

公開 (公告)日:2012-12-05

申請 (專利權)人:住友精化株式會社

摘要:本發(fā)明所要解決的技術問題是在吸附處理的前處理階段降低氬氣的雜質含有率，減少提純所需的能量，并以高純度對氬氣進行提純。本發(fā)明的技術方案是在對至少含有氧、氫、一氧化碳、烴、油分、氮的氬氣進行提純時，使烴的一部分和油分被活性炭吸附;然后，如果氬氣中的氧量在與氫、一氧化碳、烴的全部進行反應所需的氧的設定量以下，則添加氧以使其量超過設定量，并使用催化劑以使該反應進行;然后，在氬氣中添加一氧化碳以使其量超過與前述反應所殘留的全部氧進行反應所需的設定量，使用釕、鈀、或它們混合而成的催化劑以使該反應進行。然后，使氬氣中的一氧化碳、二氧化碳、水、氮通過變壓吸附法被吸附劑吸附。