腔室
- PC控制技術(shù)在ALD系統(tǒng)中的應(yīng)用研究
(同時(shí))通入反應(yīng)腔室不同,ALD技術(shù)是將前驅(qū)體源以脈沖的形式交替通入反應(yīng)腔室中并在基底表面發(fā)生吸附和反應(yīng)生成薄膜[3]。表面化學(xué)反應(yīng)的自限制性[4]和自飽和性是ALD技術(shù)的基礎(chǔ),決定了ALD薄膜具有表面均勻和薄膜厚度精確可控等特點(diǎn),使其在微電子和其他納米器件制造領(lǐng)域備受關(guān)注,成為集成電路工業(yè)中極其重要的主流薄膜制備技術(shù)[3,5]。近年來,國(guó)內(nèi)外的半導(dǎo)體制造商都先后推出了不同類型的原子層沉積設(shè)備,其控制系統(tǒng)大多采用傳統(tǒng)PLC控制系統(tǒng)[6](如圖1所示)。傳統(tǒng)
計(jì)算技術(shù)與自動(dòng)化 2023年4期2023-12-27
- 數(shù)字PCR 芯片的熒光圖像處理與分析*
利用網(wǎng)格對(duì)微反應(yīng)腔室進(jìn)行劃分和定位，然后對(duì)每個(gè)腔室的熒光信號(hào)進(jìn)行判斷，統(tǒng)計(jì)陽(yáng)性熒光點(diǎn)。由周淑芳等提出，先人為確定熒光圖像中三個(gè)頂角微反應(yīng)腔室的中心位置，利用最大化引力方程進(jìn)行修正，基于投影法實(shí)現(xiàn)圖像的網(wǎng)格劃分和中心定位，根據(jù)定位實(shí)現(xiàn)圖像拼接和陽(yáng)性腔室識(shí)別［3］，對(duì)于信號(hào)較弱或者陰性腔室比例大的圖像可能造成網(wǎng)格劃分不準(zhǔn)的情況，而且需要手動(dòng)輔助操作。許靜等提出通過計(jì)算提取的輪廓周長(zhǎng)，并設(shè)置雙閾值篩選出陽(yáng)性腔室［4］，該方法對(duì)于腔室之間或者腔室與污點(diǎn)之間存在粘連
計(jì)算機(jī)與數(shù)字工程 2023年6期2023-09-29
- 反應(yīng)堆頂蓋腔室流場(chǎng)實(shí)驗(yàn)研究
經(jīng)過堆芯后進(jìn)入上腔室，上封頭旁流[1]則通過堆芯吊籃上的噴嘴流水孔進(jìn)入頂蓋腔室（又稱上封頭腔室），對(duì)頂蓋腔室及其內(nèi)部構(gòu)件進(jìn)行冷卻，之后流入上腔室，與堆芯出口的冷卻主流匯合后流出反應(yīng)堆壓力容器。頂蓋腔室內(nèi)的水力參數(shù)測(cè)量是上封頭結(jié)構(gòu)力學(xué)分析和流致振動(dòng)評(píng)價(jià)的基礎(chǔ)，而水力學(xué)參數(shù)又取決于流場(chǎng)，因此，研究頂蓋腔室內(nèi)的流場(chǎng)對(duì)反應(yīng)堆的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)具有重要的意義。國(guó)內(nèi)外許多研究單位利用CFD 研究反應(yīng)堆內(nèi)的流場(chǎng)[2-5]，也有研究單位對(duì)反應(yīng)堆開展了實(shí)驗(yàn)研究，但多是利用縮比的模型
科技創(chuàng)新與應(yīng)用 2023年22期2023-08-07
- 電子鼻嗅出揮發(fā)性有機(jī)化合物
設(shè)計(jì)是一個(gè)垂直的腔室，看起來很像花灑噴頭。當(dāng)氣體通過設(shè)備底部的小孔和周圍均勻分布的傳感器擴(kuò)散時(shí)，會(huì)促進(jìn)垂直流動(dòng)。利用流體力學(xué)模擬，該團(tuán)隊(duì)優(yōu)化了電子鼻室的體積、對(duì)稱性、孔位置和傳感器位置。他們?cè)黾恿艘粋€(gè)分流裝置，以促進(jìn)液體流動(dòng)，縮短反應(yīng)時(shí)間。研究人員制造了一個(gè)特氟龍室，并測(cè)量了電子鼻的傳感性能。他們比較了兩個(gè)腔室，一個(gè)有分流，另一個(gè)沒有分流。帶有分流裝置的腔室在檢測(cè)示例VOC方面性能提高了約1.3倍。這一使用分流裝置來控制流體流動(dòng)的策略是電子鼻技術(shù)發(fā)展的一個(gè)
家庭醫(yī)學(xué) 2023年12期2023-07-13
- 基于Geant4的碳離子治療三維電離室陣列仿真設(shè)計(jì)
置于模體中的電離腔室內(nèi)產(chǎn)生的電離量進(jìn)行轉(zhuǎn)換。布拉格-格雷空腔理論示于圖1。由圖1可知，在碳離子束照射下，電離腔室的直徑一般小于次級(jí)電子的最大射程，且電離腔室內(nèi)的電離是由碳離子束在其室壁材料中產(chǎn)生的次級(jí)電子所致。當(dāng)電離腔室的室壁材料與模體材料不等效時(shí)，會(huì)改變?nèi)肷涞诫婋x腔室中的次級(jí)電子注量和能譜，從而產(chǎn)生測(cè)量誤差。為簡(jiǎn)化三維電離室陣列的結(jié)構(gòu)，并提高電離腔室測(cè)量劑量的準(zhǔn)確性，本研究選擇PMMA同時(shí)作為水等效模體材料和電離室室壁材料，以均勻分布于PMMA中的三維電
原子能科學(xué)技術(shù) 2023年2期2023-02-21
- 結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)貫通擋板袋型阻尼密封動(dòng)力特性的影響*
擋板分隔迷宮密封腔室，阻止氣流周向流動(dòng)的新結(jié)構(gòu)，即袋型阻尼密封。袋型阻尼密封由于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，獲得了廣泛的應(yīng)用。如圖1所示[6]，典型的袋型阻尼密封由交替排列的基本腔室和二次腔室組成，基本腔室被周向的擋板分隔。為了獲得正阻尼，基本腔室設(shè)計(jì)成發(fā)散型間隙，與之配合，二次腔室設(shè)計(jì)成收斂型間隙。文中所述貫穿擋板袋型阻尼密封，其二次腔室也被擋板貫穿，進(jìn)一步削弱周向環(huán)流對(duì)其動(dòng)力特性的影響，其結(jié)構(gòu)如圖 2所示[7]。針對(duì)該型密封結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)動(dòng)力特性的影響，國(guó)內(nèi)外學(xué)者做了大量工
潤(rùn)滑與密封 2023年1期2023-02-06
- 急冷增濕塔以及含硫廢棄物處理系統(tǒng)
所述塔體包括冷卻腔室、腔室入口以及腔室出口，所述腔室入口以及所述腔室出口分別開設(shè)在所述塔體的外壁并與所述冷卻腔室連通，其中，所述腔室入口位于所述塔體的下部，所述腔室出口位于所述塔體的上部；所述噴淋機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述冷卻腔室中，所述噴淋機(jī)構(gòu)包括第一噴淋口和第二噴淋口，所述第一噴淋口配置為能夠向下噴淋冷卻液體，所述第二噴淋口配置為能夠向上噴淋冷卻液體，所述第一噴淋口和所述第二噴淋口相互背離設(shè)置。本實(shí)用新型的急冷增濕塔能夠迅速、有效地對(duì)工藝氣體進(jìn)行降溫，進(jìn)而縮短含硫
能源化工 2022年1期2023-01-14
- 轉(zhuǎn)化器以及含硫廢棄物處理系統(tǒng)
體的內(nèi)部具有轉(zhuǎn)化腔室，所述轉(zhuǎn)化器殼體開設(shè)有分別與所述轉(zhuǎn)化腔室連通的轉(zhuǎn)化氣入口和轉(zhuǎn)化氣出口；所述觸媒層組件包括至少2個(gè)觸媒層，多個(gè)所述觸媒層設(shè)置在所述轉(zhuǎn)化腔室中并沿工藝氣體的流動(dòng)方向間隔布置；所述換熱器的數(shù)量與所述觸媒層的數(shù)量相適應(yīng)，所述換熱器至少部分位于所述轉(zhuǎn)化腔室中并設(shè)置在相鄰的2個(gè)所述觸媒層之間。本發(fā)明的轉(zhuǎn)化器具有使用成本較低、換熱器放置穩(wěn)定，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，換熱效率高的優(yōu)點(diǎn)。
能源化工 2022年1期2023-01-14
- 仿蓮式結(jié)構(gòu)多腔液壓缸的設(shè)計(jì)及仿真分析
過多個(gè)不同尺寸的腔室互相組合從而實(shí)現(xiàn)對(duì)液壓缸輸出力的調(diào)節(jié)，以匹配多足機(jī)器人不同運(yùn)動(dòng)狀態(tài)時(shí)的負(fù)載。1 仿蓮式多腔液壓缸的設(shè)計(jì)原理1.1 基本思路蓮進(jìn)行呼吸作用時(shí)需要的空氣來自于荷葉，若把一枝蓮看作是一個(gè)多足機(jī)器人關(guān)節(jié)，荷葉就可以看作是驅(qū)動(dòng)關(guān)節(jié)的液壓缸。蓮的結(jié)構(gòu)如圖1(a)所示，當(dāng)藕需要進(jìn)行呼吸作用時(shí)，通過荷梗傳遞指令至荷葉，控制荷葉表面氣孔的開閉程度。圖1(b)所示為多足機(jī)器人腿部驅(qū)動(dòng)，此類機(jī)器人多采用液壓缸驅(qū)動(dòng)(相當(dāng)于荷葉)，由電氣控制系統(tǒng)和液壓控制系統(tǒng)(
武漢科技大學(xué)學(xué)報(bào) 2022年6期2022-10-10
- 流延膜機(jī)負(fù)壓風(fēng)刀系統(tǒng)流場(chǎng)仿真及結(jié)構(gòu)優(yōu)化
主要包括第一負(fù)壓腔室、第二負(fù)壓腔室、承接板、阻風(fēng)板、濾風(fēng)板和吸風(fēng)管。其中，阻風(fēng)板、承接板和濾風(fēng)板分別設(shè)置在第一負(fù)壓腔室和第二負(fù)壓腔室，用于均勻氣流及承接凝聚物，使氣流平穩(wěn)，薄膜受力均勻，避免因薄膜受力不均而導(dǎo)致薄膜變形。第一負(fù)壓腔室負(fù)責(zé)吸走主冷輥與薄膜之間的空氣和煙霧，第二負(fù)壓腔室進(jìn)一步吸走主冷輥表面的氣流層，同時(shí)起到清潔輥面的作用。在薄膜生產(chǎn)過程中，煙霧凝結(jié)、滴油現(xiàn)象主要發(fā)生在第一負(fù)壓腔室，因此主要對(duì)負(fù)壓風(fēng)刀系統(tǒng)第一負(fù)壓腔室的流場(chǎng)進(jìn)行分析。負(fù)壓風(fēng)刀系統(tǒng)第
機(jī)床與液壓 2022年8期2022-09-19
- 類橢圓型螺桿泵與常規(guī)采油螺桿泵舉升性能對(duì)比
模型上，給定低壓腔室壓力，逐漸提高施加于高壓腔室內(nèi)的壓力，即增大其壓差。當(dāng)密封帶上的接觸應(yīng)力逐漸減小至與壓差相等，則密封帶上最易泄漏位置處于密封與泄漏的臨界狀態(tài)，此時(shí)的接觸應(yīng)力為臨界接觸應(yīng)力［13］。2.1 確定密封帶泄漏位置單頭單螺桿泵的密封帶連續(xù)循環(huán)，考慮到減少計(jì)算量和密封帶的循環(huán)對(duì)稱性，采用1/2導(dǎo)程單頭單螺桿泵實(shí)體模型進(jìn)行計(jì)算［14］。如圖3（a）所示，標(biāo)示區(qū)域是密封帶上密封的薄弱環(huán)節(jié)，為最易發(fā)生泄漏位置；由于類橢圓型螺桿泵和雙頭短幅內(nèi)擺線型螺桿泵
中國(guó)工程機(jī)械學(xué)報(bào) 2022年4期2022-09-14
- Sudden cardiac death in a case of Crohn's disease with COVID-19: A case report
較大流速直接沖入腔室，從而產(chǎn)生流場(chǎng)擾動(dòng)，且中心區(qū)域孔密度較高，邊緣孔密度小，邊緣流線較稀疏；The authors report no conflict of interest.FundingThis study received no extramural founding.Authors’ contributionsN.K.: Manuscript writing, proofreading, and final drafting; S.G.:Case
Journal of Acute Disease 2022年3期2022-07-02
- 新型葉頂汽封的數(shù)值計(jì)算與分析
間隙、有效齒數(shù)、腔室結(jié)構(gòu)決定的。然而，在汽輪機(jī)實(shí)際設(shè)計(jì)中，汽封的間隙和齒數(shù)往往受到徑向脹差和軸向脹差等約束條件而無法優(yōu)化，尤其是大功率機(jī)組低壓缸，因而，減小漏氣量最有效的方法就是優(yōu)化汽封腔室結(jié)構(gòu)。例如，目前廣泛運(yùn)用于汽輪機(jī)葉頂、隔板的迷宮式汽封，其原理就是氣流通過節(jié)流膨脹，在汽封腔室內(nèi)形成漩渦，流體域被腔室結(jié)構(gòu)所控制，通過腔室結(jié)構(gòu)增強(qiáng)漩渦并使得汽封間隙及齒數(shù)相同的情況下漏氣量大大降低。然而對(duì)于軸向脹差較大的汽輪機(jī)，例如大功率機(jī)組低壓缸，離推力軸承距離較遠(yuǎn)，
東方汽輪機(jī) 2021年4期2022-01-18
- 轉(zhuǎn)化器以及含硫廢棄物處理系統(tǒng)
出口均與第一轉(zhuǎn)化腔室連通以使工藝氣體能夠從第一轉(zhuǎn)化氣入口流至第一轉(zhuǎn)化氣出口；第二轉(zhuǎn)化氣入口和第二轉(zhuǎn)化氣出口均與第二轉(zhuǎn)化腔室連通以使工藝氣體能夠從第二轉(zhuǎn)化氣入口流至第二轉(zhuǎn)化氣出口；第一觸媒層和第二觸媒層均設(shè)置在第一轉(zhuǎn)化腔室中并沿工藝氣體的流動(dòng)方向間隔布置；第四觸媒層設(shè)置在第二轉(zhuǎn)化腔室中；第三觸媒層設(shè)置在第一轉(zhuǎn)化腔室或第二轉(zhuǎn)化腔室中并沿工藝氣體的流動(dòng)方向與其他觸媒層間隔布置。本實(shí)用新型的轉(zhuǎn)化器具有占地面積小、熱損失少，轉(zhuǎn)化效率高的優(yōu)點(diǎn)。
能源化工 2021年6期2021-12-30
- 穿孔共振腔消聲器聲學(xué)性能研究
遞矩陣法來預(yù)測(cè)多腔室穿孔共振消聲器的聲學(xué)性能，并且通過遺傳算法優(yōu)化設(shè)計(jì)，在限制消聲器空間尺寸條件下獲得了最優(yōu)結(jié)構(gòu)外形。傳遞矩陣法可以快速計(jì)算消聲器傳遞損失，但是計(jì)算頻率上限和精度受制于共振腔室的截止頻率，而有限元法則能更準(zhǔn)確地預(yù)測(cè)穿孔共振腔消聲器的聲學(xué)性能。鄭晗等[2]采用一維解析法和三維有限元法計(jì)算了穿孔管消聲器的聲學(xué)性能，結(jié)果表明，三維有限元法能在全頻段內(nèi)準(zhǔn)確預(yù)測(cè)消聲器的傳遞損失。徐貝貝等[3]采用三維有限元法預(yù)測(cè)和分析穿孔管消聲器的聲學(xué)性能，有限元計(jì)
噪聲與振動(dòng)控制 2021年6期2021-12-15
- 壓電噴墨腔室鍵合工藝的研究
刷[10]。噴墨腔室作為儲(chǔ)墨和供墨的結(jié)構(gòu)，是噴墨打印頭的核心部件之一，對(duì)墨水的壓力波傳導(dǎo)和墨滴的形成具有重要作用。為了實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的噴射，制備符合噴墨要求的腔室具有重要意義。目前噴墨腔室的鍵合工藝方法主要有膠粘鍵合、硅硅高溫鍵合、硅硅低溫鍵合、熱鍵合、干膜層壓鍵合等。Shen等[11]結(jié)合微電鑄和微注塑工藝制作噴墨打印頭的開放腔室，再通過膠粘鍵合的方法將開放腔室與發(fā)熱元件組合在一起，得到熱氣泡式噴墨打印頭。這種工藝可以實(shí)現(xiàn)大批量生產(chǎn)，但是在膠粘過程中黏結(jié)劑容
機(jī)電工程技術(shù) 2021年10期2021-11-23
- 偏心距對(duì)類橢圓形采油螺桿泵舉升性能的影響
觸實(shí)現(xiàn)螺桿泵內(nèi)部腔室間的密封。 如圖1 所示，螺桿泵工作時(shí)，轉(zhuǎn)子在定子內(nèi)部連續(xù)運(yùn)動(dòng)，定轉(zhuǎn)子接觸點(diǎn)不斷發(fā)生變化，介質(zhì)在地下壓力的作用下充滿腔室，密封腔室在螺桿泵軸向上不斷移動(dòng)，當(dāng)介質(zhì)到達(dá)排出端后，密封腔室由大變小直至消失，反復(fù)重復(fù)此過程，介質(zhì)便被舉升至地面，此過程中螺桿泵的排量極為均勻穩(wěn)定［3］。圖1 螺桿泵介質(zhì)舉升過程示意圖由類橢圓形采油螺桿泵定轉(zhuǎn)子線型的成形原理可知［4］，偏心距為影響定轉(zhuǎn)子線型的唯一參數(shù)。 選定3 寸油管（內(nèi)徑為76.2 mm）作為螺桿
化工機(jī)械 2021年4期2021-09-11
- Aston半導(dǎo)體計(jì)量平臺(tái)Atonarp公司
導(dǎo)體蝕刻和沉積、腔室清潔、腔室匹配和氣體減排。Aston通過在流程完成時(shí)進(jìn)行準(zhǔn)確檢測(cè)（包括腔室清潔）來優(yōu)化生產(chǎn)，從而將所需的清潔時(shí)間縮短高達(dá)80%。Aston耐受腐蝕性氣體和氣化污染物冷凝液，比現(xiàn)有解決方案更穩(wěn)健，采用獨(dú)立雙離子源（包括一個(gè)常規(guī)電子轟擊離子源和一個(gè)無燈絲等離子體發(fā)生器），能夠在半導(dǎo)體生產(chǎn)遇到的惡劣條件下可靠運(yùn)行。這使得Aston能夠以原位狀態(tài)在苛刻環(huán)境中使用。與傳統(tǒng)質(zhì)量分析儀相比，使用Aston的維修間隔長(zhǎng)達(dá)100倍。它包括自清潔功能，可消
傳感器世界 2021年7期2021-09-10
- 瀑布溝機(jī)組上導(dǎo)軸承油槽密封蓋板改造
密封齒，1個(gè)密封腔室。2層T型雙層隨動(dòng)密封齒111、112設(shè)置于上導(dǎo)軸承油槽密封蓋板靠軸頸側(cè)。1個(gè)密封腔室，由2層T型雙層隨動(dòng)密封齒間隔而成，形成的油霧被吸油霧機(jī)吸處流回油槽。2層T型雙層隨動(dòng)密封齒，一旦單個(gè)或多個(gè)密封齒發(fā)生偏磨、卡阻不復(fù)位的現(xiàn)象，整個(gè)密封結(jié)構(gòu)的完整性將遭破壞，一旦長(zhǎng)久運(yùn)行，將影響嚴(yán)重密封效果，密封可靠性差，密封失效后滲漏量大[1]。此外，單個(gè)密封腔室的吸處及回流管路易擴(kuò)大滲漏范圍。2 新型結(jié)構(gòu)油槽蓋板密封技術(shù)為解決上述技術(shù)問題，提高密封蓋
水電與新能源 2021年7期2021-08-05
- 上懸窗條件下通風(fēng)控制腔室火災(zāi)溫度的實(shí)驗(yàn)研究
緩慢熄滅[1]。腔室火災(zāi)對(duì)人的危害主要表現(xiàn)在火焰、煙氣與室內(nèi)溫度上，因此科學(xué)認(rèn)識(shí)腔室火災(zāi)內(nèi)部溫度隨火災(zāi)發(fā)展的演化規(guī)律，對(duì)于保障人們的生命財(cái)產(chǎn)安全具有重要的意義[2-12]。長(zhǎng)久以來，國(guó)內(nèi)外大量的學(xué)者針對(duì)腔室室內(nèi)溫度進(jìn)行了研究。在國(guó)外McCaffrey等[2]最早提出了室內(nèi)溫度的預(yù)測(cè)公式，F(xiàn)oote等[3]通過實(shí)驗(yàn)研究了強(qiáng)制通風(fēng)對(duì)于室內(nèi)溫度的影響。Deal和Beylert[4]開展了腔室火災(zāi)實(shí)驗(yàn)，基于腔室內(nèi)的能量守恒定律，結(jié)合進(jìn)出腔室的氣體質(zhì)量流率，得出了室
火災(zāi)科學(xué) 2021年1期2021-08-02
- 汽輪機(jī)高壓抽口氣動(dòng)分析及結(jié)構(gòu)改進(jìn)設(shè)計(jì)
抽汽縫隙和抽汽腔室內(nèi)部以及連接管之間的流動(dòng)參數(shù)在徑向和周向分布不均勻。 這種不均勻分布會(huì)改變抽汽縫隙附近汽輪機(jī)級(jí)的流動(dòng)狀態(tài)， 并最終改變汽輪機(jī)抽汽縫隙附近級(jí)效率， 會(huì)造成汽輪機(jī)的安全隱患。 從提高機(jī)組的經(jīng)濟(jì)性和安全性等方面考慮， 對(duì)汽輪機(jī)抽汽系統(tǒng)的抽汽縫隙、 抽汽腔室和連接管內(nèi)的流場(chǎng)進(jìn)行研究是非常有必要的。 氣流從主流流道通過抽汽縫隙進(jìn)入抽汽腔室， 最后由連接管流出。 由于抽汽縫隙軸向?qū)挾纫话爿^小， 氣流經(jīng)過它的流動(dòng)速度較大， 因此氣流具有很大的動(dòng)能，
東方汽輪機(jī) 2021年2期2021-07-19
- 非周期耦合式連續(xù)管減阻器設(shè)計(jì)*
的非周期流體振動(dòng)腔室，即附壁振動(dòng)腔室和渦街振動(dòng)腔室。附壁振動(dòng)腔室設(shè)計(jì)中采用了仿生“蝸殼”設(shè)計(jì)方案，渦街振動(dòng)腔室設(shè)計(jì)中采用了非均布、多列繞流柱體設(shè)計(jì)。周期機(jī)械振動(dòng)模塊產(chǎn)生的軸向振動(dòng)與非周期流體振動(dòng)模塊產(chǎn)生的軸向振動(dòng)發(fā)生耦合，提供減阻器減阻的主要?jiǎng)恿?；非周期流體振動(dòng)模塊中附壁振動(dòng)腔室與渦街振動(dòng)腔室各自激發(fā)的徑向振動(dòng)耦合，提供了減阻器減阻的輔助動(dòng)力；減阻器軸向振動(dòng)與徑向振動(dòng)的耦合效應(yīng)，提高了減阻器綜合減阻效果。1 非周期耦合式連續(xù)管減阻器方案“非周期耦合式連續(xù)管
機(jī)電工程技術(shù) 2021年4期2021-07-14
- 雙塔吸附式空氣干燥器工作原理及故障分析
）/B（右）干燥腔室、進(jìn)氣電磁閥、排放電磁閥、進(jìn)氣/出氣模塊、進(jìn)氣/排氣氣缸、再生孔板、預(yù)過濾器、除塵過濾器、精過濾器和集成管路等。設(shè)備上有壓力傳感器、溫度傳感器、壓差開關(guān)與露點(diǎn)傳感器，以便于檢測(cè)干燥器的運(yùn)行參數(shù)。1.2 干燥器的工作原理干燥器的工作流程分為干燥、再生和充壓。雙塔吸附式空氣干燥器工作原理如圖1 所示，A、B 兩個(gè)腔室結(jié)構(gòu)相同，每個(gè)腔室內(nèi)裝有吸附劑，兩個(gè)腔室的工作模式通過電磁閥控制氣缸的動(dòng)作來切換。當(dāng)A 腔室干燥空氣時(shí)，B 腔室進(jìn)行再生過程。
設(shè)備管理與維修 2021年7期2021-06-18
- 淺談高背壓式汽輪機(jī)軸封系統(tǒng)優(yōu)化設(shè)計(jì)
前3和后1、后2腔室均為正壓，向外漏汽，逐級(jí)降壓。汽封加熱器借助抽氣機(jī)，在前后軸封最外部腔室（前4、后3）內(nèi)形成微真空（約96kPa），空氣由最外面一段軸封漏入此室，同時(shí)，內(nèi)軸封漏出的蒸汽也漏入此室，以此形成密封。汽氣混合物被引入汽封加熱器中，蒸汽凝結(jié)成水疏出，而不凝氣則由抽氣機(jī)排向大氣。1.2 高背機(jī)應(yīng)用時(shí)產(chǎn)生的問題隨著排汽壓力增加，高背機(jī)軸封設(shè)計(jì)通常會(huì)在后軸封第一段增加軸封齒數(shù)的方式來減少排汽端的軸封漏汽量。但如軸封系統(tǒng)不合理調(diào)整，實(shí)際密封效果并不理想
中國(guó)設(shè)備工程 2021年9期2021-05-18
- 一種中空玄武巖纖維制造裝置及制造方法
件，漏板本體具有腔室，腔室具有相對(duì)設(shè)置的開口和底壁，過濾網(wǎng)罩設(shè)于開口，過濾網(wǎng)具有通孔，且通孔與腔室連通，底壁設(shè)置有安裝孔，針芯組件安裝于安裝孔?；诒景l(fā)明提供的中空玄武巖纖維制造裝置的制造方法能夠?qū)崿F(xiàn)中空玄武巖纖維的制造，并且成本控制較好。專利申請(qǐng)?zhí)枺?021101482069專利公布號(hào)：CN112981563A申請(qǐng)人：北京航空航天大學(xué)發(fā)明人：楊中甲
高科技纖維與應(yīng)用 2021年3期2021-04-04
- 化學(xué)反應(yīng)自驅(qū)動(dòng)滾動(dòng)機(jī)器人設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)
內(nèi)部分為6個(gè)反應(yīng)腔室A～F，6個(gè)腔室呈周向均勻分布，每個(gè)腔室中均放置催化劑，相鄰的2個(gè)腔室之間通過單向閥導(dǎo)通。在6個(gè)腔室中選擇3個(gè)不相鄰的腔室安裝重力閥。重力閥是一種開閉情況隨角度旋轉(zhuǎn)而變化的閥門。當(dāng)重力閥出口朝向與鉛垂線相差角在一定角度以內(nèi)時(shí)，閥門關(guān)閉，其他狀態(tài)下閥門打開。向滾動(dòng)機(jī)器人的腔室F注入反應(yīng)液，由于單向閥會(huì)阻礙反應(yīng)液向腔室E流動(dòng)，此時(shí)反應(yīng)液會(huì)向腔室A流動(dòng)，逐漸填充腔室A和腔室B。在注入一定量反應(yīng)液后，將滾動(dòng)機(jī)器人置于水平面上，由于滾輪中心對(duì)稱，
農(nóng)業(yè)機(jī)械學(xué)報(bào) 2021年1期2021-02-01
- 某旋轉(zhuǎn)機(jī)械閉式葉輪推力的計(jì)算
輪蓋、輪盤側(cè)汽封腔室中氣流流動(dòng)比較復(fù)雜，腔室中壓力分布隨腔室中漏氣量、壁面粗糙度等變化而變化，因此輪蓋、輪盤側(cè)推力計(jì)算的準(zhǔn)確性，是葉輪推力計(jì)算的重點(diǎn)。國(guó)內(nèi)外對(duì)腔室中壓力分布有廣泛的研究，Russell Marechale等[1]通過試驗(yàn)及CFD的方法驗(yàn)證了汽封間隙改變對(duì)壓縮機(jī)性能、腔室中壓力分布、旋轉(zhuǎn)因子的影響。Sun Zhigang等[2-3]研究了葉輪背部腔室對(duì)離心壓縮機(jī)性能的影響；還研究了輪盤腔室對(duì)氣體流場(chǎng)細(xì)節(jié)、推力、功率和效率的影響。王維民等[4]
中國(guó)重型裝備 2021年1期2021-01-25
- 類橢圓型采油螺桿泵舉升性能分析*
包含全部接觸帶和腔室。為避免遺漏被分割掉的接觸帶1的部分，采用導(dǎo)程的接觸帶結(jié)構(gòu)(見圖2)建立有限元模型，如圖3所示。圖2 導(dǎo)程接觸帶與腔室結(jié)構(gòu)Fig.2 Structure of contact belt and chamber at lead圖3 導(dǎo)程有限元模型Fig.3 Finite element model of lead螺桿泵轉(zhuǎn)子材料采用合金鋼，定子材料采用丁腈橡膠，橡膠材料的彈性模量遠(yuǎn)小于金屬材料的彈性模量。因此，受到壓力作用時(shí)，定子橡膠的
石油機(jī)械 2021年1期2021-01-13
- 半潛船艉軸密封裝置設(shè)計(jì)與應(yīng)用
靠近海水側(cè)的密封腔室中加入壓縮空氣，一方面很好地感知船舶吃水帶來的壓力變化，另一方面能合理地調(diào)整各密封圈兩側(cè)的壓力，使每道密封圈的壓力差比較小，從而提高密封圈的壽命。平衡型空氣密封系統(tǒng)采用壓縮空氣的好處是通過在唇型密封圈之間提供可控的“緩沖區(qū)”，將艉管中的潤(rùn)滑油與海水完全分離；空氣沒有污染，能很方便地控制壓力以減小唇形密封圈兩側(cè)的壓力差。半潛船的艉軸密封裝置分為后密封和前密封。從船艉向船艏依次將每個(gè)唇形密封圈進(jìn)行編號(hào)：1#～6#。這樣6道密封圈就形成了7個(gè)
江蘇船舶 2020年5期2020-12-07
- 一種低壓?jiǎn)?dòng)裝置及使用該裝置的花灑
置，其包括：?jiǎn)?dòng)腔室：一端設(shè)置進(jìn)水口、一端設(shè)置出水口，所述進(jìn)水口與水源連通。活動(dòng)部件：活動(dòng)設(shè)置在所述啟動(dòng)腔室內(nèi)，水流從所述進(jìn)水口一端進(jìn)入推動(dòng)所述活動(dòng)部件運(yùn)動(dòng)，當(dāng)活動(dòng)部件經(jīng)過一定行程到達(dá)所述出水口位置進(jìn)行泄壓。傳動(dòng)部件：活動(dòng)設(shè)置在所述啟動(dòng)腔室外，與所述活動(dòng)部件相聯(lián)動(dòng)并驅(qū)動(dòng)后端部件運(yùn)動(dòng)。水壓驅(qū)動(dòng)與水的直接噴射進(jìn)行驅(qū)動(dòng)有巨大的區(qū)別，水的直接噴射力依靠的是水流的噴射速度及噴射流量，當(dāng)水壓很低的時(shí)候，水流的流速及流量都很低。因此，依靠水流沖擊力不夠，不能驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)工作
湖北農(nóng)機(jī)化 2020年16期2020-10-21
- 火源位置對(duì)腔室火流動(dòng)特性影響的實(shí)驗(yàn)研究
26)0 引言在腔室火災(zāi)中，外部新鮮空氣從腔室開口下部進(jìn)入，氣體產(chǎn)物或未燃盡燃料從開口上部溢出。這一開口流動(dòng)過程是維持腔室火災(zāi)的基本過程。腔室火流動(dòng)特征與腔室內(nèi)溫度分布及熱量傳遞緊密耦合，共同決定了腔室火災(zāi)的蔓延特征。此外，開口流動(dòng)特征決定了腔室通風(fēng)狀況，是建筑火災(zāi)安全設(shè)計(jì)中著重考慮的因素。對(duì)于充分發(fā)展的腔室火災(zāi)，開口質(zhì)量流率顯著影響了內(nèi)部燃料的質(zhì)量損失速率及熱釋放速率[1,2]。在實(shí)際腔室火災(zāi)中，室內(nèi)溫度在高度方向上往往呈現(xiàn)非均一分布，為理論表征帶來了極
火災(zāi)科學(xué) 2020年2期2020-05-26
- 變結(jié)構(gòu)反應(yīng)離子刻蝕腔室流場(chǎng)熱場(chǎng)的數(shù)值仿真
主要是等離子體在腔室里基片晶圓附近的分布。而反應(yīng)離子刻蝕(reactive ion etching，RIE)機(jī)腔室結(jié)構(gòu)和工藝參量又是影響等離子體的分布的主要因素，進(jìn)而也是影響刻蝕均勻性重要因素[6-8]。為此，國(guó)內(nèi)外一些學(xué)者針對(duì)腔室的結(jié)構(gòu)和工藝參量做了一系列的研究[9-17]，對(duì)大口徑反應(yīng)離子刻蝕機(jī)腔室進(jìn)行氣流和溫度的仿真分析計(jì)算是分析大口徑腔室里等離子體分布的基礎(chǔ)，進(jìn)而是研究大口徑刻蝕工藝的均勻性的基礎(chǔ)，具有重要的學(xué)術(shù)價(jià)值和工程意義。本文中針對(duì)制作大口徑
激光技術(shù) 2020年1期2020-01-16
- 汽輪機(jī)葉頂汽封間隙泄漏渦動(dòng)特性研究*
位置變化以及汽封腔室內(nèi)穩(wěn)定耗散渦的渦動(dòng)規(guī)律。1 計(jì)算模型與數(shù)值方法文中以某300MW汽輪機(jī)高壓第二壓力級(jí)為研究對(duì)象，計(jì)算的物理模型由級(jí)內(nèi)相應(yīng)的靜葉、動(dòng)葉和葉頂汽封區(qū)域構(gòu)成，并延長(zhǎng)靜葉進(jìn)口和動(dòng)葉出口流域。如圖1所示為動(dòng)靜葉與汽封。計(jì)算域?yàn)檎ζ獾?.02π弧度，其周向邊界采用周期性完全匹配連接。動(dòng)葉圍帶面設(shè)置為旋轉(zhuǎn)壁面邊界條件，進(jìn)口給定總壓、總溫邊界，出口給定靜壓邊界，其他壁面為無滑移絕熱邊界。流動(dòng)工質(zhì)設(shè)定為高溫高壓的過熱蒸汽。圖1 汽輪機(jī)級(jí)的模型網(wǎng)格Fi
潤(rùn)滑與密封 2019年10期2019-10-23
- CVD腔室結(jié)構(gòu)對(duì)流場(chǎng)的影響分析
要的影響。CVD腔室是沉積反應(yīng)進(jìn)行的場(chǎng)所。反應(yīng)氣體從進(jìn)入腔室進(jìn)行沉積反應(yīng)到最后從腔室排出，整個(gè)過程中流場(chǎng)分布所影響的不僅僅是沉積的均勻性，還有氣體的擾動(dòng)，流向，壓力等變化所帶來顆粒度問題。本文主要使用Solidworks Flow Simulation軟件進(jìn)行腔室流場(chǎng)仿真，分析CVD腔室結(jié)構(gòu)變化對(duì)流場(chǎng)均勻性帶來的影響及對(duì)應(yīng)變化趨勢(shì)。關(guān)鍵詞：CVD 流場(chǎng)；均勻性；噴頭；腔室半導(dǎo)體芯片的制造過程中需要在襯底上生長(zhǎng)固體材料層。CVD（化學(xué)氣相沉積（Chemica
科技風(fēng) 2019年1期2019-10-14
- 航空發(fā)動(dòng)機(jī)空氣系統(tǒng)和熱分析的耦合計(jì)算與試驗(yàn)驗(yàn)證
流量平衡殘差修正腔室壓力，利用能量平衡計(jì)算冷氣溫度。2.2 熱分析計(jì)算流-熱耦合計(jì)算時(shí)，熱端部件的熱分析采用有限元方法進(jìn)行，其基本原理是將熱分析對(duì)象離散成有限個(gè)單元，通過單元上的節(jié)點(diǎn)相互聯(lián)結(jié)成一個(gè)組合體。同時(shí)，將連續(xù)分布的溫度也離散為有限個(gè)溫度值，根據(jù)能量守恒原理對(duì)一定邊界和初始條件下的單元節(jié)點(diǎn)的熱平衡方程進(jìn)行求解，得到各個(gè)節(jié)點(diǎn)的溫度值，進(jìn)而求解出其他相關(guān)參數(shù)。熱分析計(jì)算采用ANSYS熱分析軟件，邊界條件為第三類邊界條件，邊界換熱系數(shù)采用經(jīng)驗(yàn)關(guān)系式計(jì)算，邊
燃?xì)鉁u輪試驗(yàn)與研究 2019年3期2019-07-12
- PECVD RF系統(tǒng)原理和故障改善
match，反應(yīng)腔室。RF Generator：射頻發(fā)生器，頻率13～14MHz可變。RF Match：射頻匹配器，由Load電容和Tune電容并聯(lián)構(gòu)成，Load電容實(shí)現(xiàn)負(fù)載電阻匹配，Tune電容實(shí)現(xiàn)負(fù)載相位匹配，與反應(yīng)室串聯(lián)。Process chamber：反應(yīng)腔室薄膜沉積的環(huán)境，plasma在上下極板中產(chǎn)生，可看成一個(gè)平行板電容器。1.2 RF系統(tǒng)匹配原理現(xiàn)假設(shè)RF Generator阻抗為ZS=RS+jXS，負(fù)載阻抗ZL=RL-jXL，其中R為電阻實(shí)
中國(guó)設(shè)備工程 2019年9期2019-06-03
- 壓電傳感器
強(qiáng)結(jié)構(gòu)?；木哂?span id="yiqeeuc" class="hl">腔室。壓電層配置于基材上且包括位移區(qū)、多個(gè)感測(cè)區(qū)、多個(gè)縫隙、多個(gè)上電極及多個(gè)下電極。位移區(qū)位于腔室上方；多個(gè)感測(cè)區(qū)環(huán)繞連接于位移區(qū)的外緣且位于腔室上方；多個(gè)縫隙分別成形于多個(gè)感測(cè)區(qū)中任兩相鄰的感測(cè)區(qū)之間，各縫隙連通腔室；多個(gè)上電極分別配置于各感測(cè)區(qū)的頂面；多個(gè)下電極分別配置于各感測(cè)區(qū)的底面；加強(qiáng)結(jié)構(gòu)配置于位移區(qū)的底部。
傳感器世界 2019年3期2019-02-17
- 開口形式對(duì)回燃及腔室火災(zāi)過程的影響
[3]。因此研究腔室內(nèi)回燃及火災(zāi)發(fā)展過程已成為滅火救援領(lǐng)域的熱點(diǎn)研究課題。近些年，國(guó)內(nèi)外學(xué)者利用試驗(yàn)、模擬方法對(duì)腔室火災(zāi)回燃及發(fā)展過程進(jìn)行了大量研究。瑞典隆德大學(xué)的Gojkovic建立了全尺寸回燃腔室，開口因子為2.2 m×1.80 m，以天然氣為燃料，研究發(fā)現(xiàn)可燃?xì)怏w濃度是控制腔室回燃發(fā)生的重要因素[4]；新西蘭坎特伯雷大學(xué)的Fleischmann建立了1/2縮尺寸回燃腔室模型，開口因子為1.1 m×0.4 m，以天然氣和丙烷為燃料，研究發(fā)現(xiàn)可燃?xì)鉂舛冗_(dá)
中國(guó)人民警察大學(xué)學(xué)報(bào) 2018年12期2019-01-17
- 早期溢流及漏失的新型及時(shí)高精度監(jiān)測(cè)計(jì)量系統(tǒng)
過隔板分割為兩個(gè)腔室（圖2），分別為主腔室和副腔室，其上端分別安裝主腔室液位計(jì)和副腔室液位計(jì)；主腔室有主腔室入口管、主腔室出口管和灌漿管；主腔室入口管與井口防溢管出漿口（或者旋轉(zhuǎn)防噴器排漿口）連接，主腔室出口管與調(diào)節(jié)閥連接，灌漿管與灌漿泵的排出口連接，灌漿泵的吸入口與鉆井液池連接；副腔室加工有副腔室出口管，副腔室出口管與截止閥A連接；主腔室和副腔室之間安裝有連通管線，連通管線上安裝有截止閥B；可選的泵沖傳感器安裝在鉆井泵上，鉆井泵出口連接可選的鉆井泵出口流
天然氣工業(yè) 2018年12期2019-01-17
- 連續(xù)式微波干燥機(jī)腔體內(nèi)流場(chǎng)仿真分析與驗(yàn)證
產(chǎn)生水蒸氣，避免腔室內(nèi)水蒸氣聚集[2]。干燥腔室作為干燥作業(yè)和氣流流動(dòng)主要場(chǎng)所，其結(jié)構(gòu)影響內(nèi)部風(fēng)速分布均勻性，低風(fēng)速處對(duì)流傳質(zhì)效果差，過量通風(fēng)則帶走料層熱量，難以保證物料干燥品質(zhì)，增加干燥機(jī)能耗，因此改善腔室內(nèi)流場(chǎng)均勻性助于優(yōu)化微波能量利用[3]?，F(xiàn)有關(guān)于改善流場(chǎng)分布均勻性研究中，數(shù)值模擬與臺(tái)架實(shí)驗(yàn)結(jié)合已成為有效結(jié)構(gòu)優(yōu)化手段。代建武等應(yīng)用流體動(dòng)力學(xué)軟件Fluent，分析氣流射流干燥機(jī)內(nèi)流場(chǎng)分布規(guī)律[4]；謝永康等將氣流分配室入口優(yōu)化為喇叭形，通過增加分流圓
- 輸液點(diǎn)滴觀察管液面高度控制裝置的設(shè)計(jì)
，擋板將液面上方腔室分割為A、B兩個(gè)獨(dú)立腔室。打開輸液管道上的開關(guān)，藥液從出口流出，腔室A液面下降，形成負(fù)壓，腔室B的藥液隨著擋塊B下方通道流入腔室A補(bǔ)充腔室A的藥液，使其穩(wěn)定在正常高度，與此同時(shí)，腔室B的藥液得到輸液瓶補(bǔ)充，腔室B的壓力穩(wěn)定，腔室A、B液面高度幾乎一致。輸液瓶藥液流盡后，腔室B的液體得不到補(bǔ)充，液面高度下降。當(dāng)藥液高度下降到擋塊A的上端以下時(shí)，如圖2所示，腔室A內(nèi)的液面被分為左右兩部分，因左邊藥液隨著出口流出液面繼續(xù)往下降，右邊藥液被擋板
現(xiàn)代制造技術(shù)與裝備 2018年8期2018-09-25
- 全自動(dòng)磁控濺射鍍膜設(shè)備及工藝的研究
化程度不高、一個(gè)腔室有多個(gè)磁控靶造成靶之間污染等問題[2]。中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所成功研制出全自動(dòng)磁控濺射鍍膜設(shè)備。這種磁控濺射鍍膜設(shè)備為單靶單腔，很好地解決了靶間污染問題，同時(shí)采用高真空機(jī)械手進(jìn)行傳送片，減少了工藝腔室真空破壞，大大提高工作效率。1 磁控濺射鍍膜原理濺射鍍膜是以鍍膜材料為陰極，基片為陽(yáng)極，利用磁場(chǎng)與電場(chǎng)交互作用，使電子在靶表面附近成螺旋狀運(yùn)行，從而增大電子撞擊氬氣產(chǎn)生離子的概率，有效地提高氣體的離化率以增加濺射率的方法。電子在
電子工業(yè)專用設(shè)備 2018年1期2018-03-16
- 三菱M701F4燃機(jī)透平#2輪盤腔室溫度高處理
現(xiàn)的透平#2輪盤腔室溫度高事件經(jīng)過、原因分析、處理情況及采取的措施進(jìn)行了詳細(xì)的論述，對(duì)同類型機(jī)組處理類似問題具有一定的參考作用。關(guān)鍵詞： M701F4；#2輪盤腔室溫度高；原因分析；處理引言燃?xì)廨啓C(jī)發(fā)電作為清潔能源得到了越來越多的青睞，由于發(fā)電效率高，功率大，三菱M701F4燃機(jī)在我國(guó)的投產(chǎn)項(xiàng)目不斷增加，但是關(guān)于M701F4的運(yùn)行經(jīng)驗(yàn)還比較有限。本文就三菱M701F4燃機(jī)在某次冷態(tài)啟動(dòng)過程中出現(xiàn)的透平#2輪盤腔室溫度高事件的經(jīng)過、原因及處理進(jìn)行了總結(jié)，希望
科學(xué)與財(cái)富 2017年27期2017-10-17
- 小型柴油機(jī)消聲器設(shè)計(jì)仿真分析
公式可設(shè)計(jì)，第一腔室進(jìn)口管插入長(zhǎng)度為20 mm，出口管入15 mm，第二腔插入管在二腔室的長(zhǎng)度為42.5 mm，在第三腔室長(zhǎng)度為15 mm，第三腔室的插入管在三腔室插入42.5 mm，出口管插入深度為15 mm，第四腔室進(jìn)口管插入的長(zhǎng)度為42.5 mm，出口管插入的長(zhǎng)度為15 mm.2 消聲器模型的建立四腔阻性消聲器工作原理：簡(jiǎn)單來說就是內(nèi)燃機(jī)排出的廢氣通過與發(fā)動(dòng)機(jī)連接的法蘭管進(jìn)入進(jìn)氣口管，第一步先達(dá)到第一腔室，再經(jīng)過兩跟短插入管進(jìn)入第二腔室，到達(dá)第二腔室
裝備制造技術(shù) 2017年7期2017-09-23
- 300mm硅片高精度真空傳輸系統(tǒng)設(shè)計(jì)*
求。其中硅片傳輸腔室采用真空設(shè)計(jì)，并優(yōu)化了真空腔室的結(jié)構(gòu)以適應(yīng)300mm硅片傳輸，真空度可達(dá)2×10-7Torr。真空機(jī)械手采用對(duì)稱連桿直驅(qū)機(jī)械手，大氣機(jī)械手采用R-θ型機(jī)械手，其重復(fù)精度均為±0.1mm。設(shè)計(jì)了AWC糾偏檢測(cè)系統(tǒng)，利用光電對(duì)射傳感器，實(shí)現(xiàn)對(duì)硅片的實(shí)時(shí)檢測(cè)及位置糾正。通過驗(yàn)證性試驗(yàn)數(shù)據(jù)分析，得到整個(gè)系統(tǒng)的整體精度、潔凈度、真空度和真空變化值滿足工作要求，驗(yàn)證了設(shè)計(jì)的合理性。硅片傳輸；真空腔室；機(jī)械手；糾偏檢測(cè)系統(tǒng)0 引言硅片傳輸是硅片制造的
組合機(jī)床與自動(dòng)化加工技術(shù) 2017年8期2017-09-08
- 冷卻孔布置對(duì)透平轉(zhuǎn)靜腔室性能影響的數(shù)值研究
孔布置對(duì)透平轉(zhuǎn)靜腔室性能影響的數(shù)值研究張峰,王新軍,李軍(西安交通大學(xué)能源與動(dòng)力工程學(xué)院,710049,西安)采用SST湍流模型數(shù)值研究了透平第二級(jí)轉(zhuǎn)、靜腔室的流動(dòng)與封嚴(yán)特性,分析了冷卻孔布置對(duì)腔室內(nèi)的流動(dòng)、冷卻效率以及主流燃?xì)馊肭痔匦缘挠绊?。研究表?冷卻孔的位置對(duì)上游腔室內(nèi)的流動(dòng)影響較大,對(duì)下游腔室基本無影響;冷卻孔距離上游越近,上游腔室的旋流比越大,級(jí)間密封進(jìn)口的旋流比越小,密封進(jìn)、出口壓比越小,相應(yīng)的流過級(jí)間密封的質(zhì)量流量越小,上游輪緣密封的燃?xì)馊?/div>
西安交通大學(xué)學(xué)報(bào) 2016年3期2016-12-23
- 一種可靈活配置的機(jī)械手晶圓定心裝置
半導(dǎo)體行業(yè)中，各腔室之間或工位之間通常使用機(jī)械手來完成晶圓的傳送。在晶圓傳輸系統(tǒng)中，為避免取片時(shí)偏位或晶圓破損等客觀因素的發(fā)生，提高晶圓取放的準(zhǔn)確度，需要設(shè)計(jì)并使用AWC（Active Wafer Centering）晶圓自動(dòng)定心功能來進(jìn)行檢測(cè)與校正。本文總結(jié)了半導(dǎo)體廠商對(duì)AWC功能的不同需求，設(shè)計(jì)了一種通過上位機(jī)軟件靈活配置AWC功能的機(jī)械手晶圓定心裝置，可有效解決AWC硬件資源的浪費(fèi)及更改互聯(lián)電纜所造成的人力物力上的浪費(fèi)問題?！娟P(guān)鍵詞】AWC功能 腔室電子技術(shù)與軟件工程 2016年8期2016-07-10
- 用于控制氣體供應(yīng)的方法和控制器
種用于控制對(duì)工藝腔室（301）的氣體供應(yīng)的方法（200）。此方法（200）包括以下步驟：由在工藝腔室（301）中提供的兩個(gè)或更多個(gè)傳感器（35、36、313、314）中的每一個(gè)測(cè)量（210）氣體參數(shù)；從所測(cè)量的氣體參數(shù)確定（220）組合的氣體參數(shù)；以及基于所確定的組合的氣體參數(shù)來控制（230）對(duì)工藝腔室（301）的氣體供應(yīng)。科技創(chuàng)新導(dǎo)報(bào) 2016年3期2016-05-30
- IC裝備真空腔室的氣密性檢測(cè)試驗(yàn)及分析
牛?IC裝備真空腔室的氣密性檢測(cè)試驗(yàn)及分析周玉林，楊鐵牛（五邑大學(xué) 機(jī)電工程學(xué)院，廣東 江門 529020）腔室氣密性是影響集成電路（IC）裝備真空腔室內(nèi)流場(chǎng)均勻性的重要因素，腔室漏率數(shù)量級(jí)不高于、極限真空度數(shù)量級(jí)不高于，才能滿足IC工藝的漏率要求. 本文用氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)真空腔室泄漏情況，并將泄漏處逐一進(jìn)行堵漏處理，使腔室氣密性能達(dá)到IC裝備的工藝要求. 用靜態(tài)升壓法計(jì)算得出腔室漏率為，極限真空度為，考慮用于實(shí)際生產(chǎn)的工藝腔室體積小，而本實(shí)驗(yàn)腔室體積較大- 多腔室穿孔管消聲器聲學(xué)特性分析
266108)多腔室穿孔管消聲器聲學(xué)特性分析鄭 晗1)周其斗1)毛艷蕾2)(海軍工程大學(xué)艦船工程系1)武漢 430033) (91206部隊(duì)2)青島 266108)采用一維解析法和三維有限元法分別預(yù)測(cè)了穿孔管消聲器的聲學(xué)性能，并與實(shí)驗(yàn)值對(duì)比，結(jié)果表明，三維有限元法能在全頻段很好地預(yù)報(bào)消聲器的傳遞損失.采用有限元法研究了多腔室穿孔管消聲器的腔室順序、腔室數(shù)目、腔室劃分和腔室間距等因素對(duì)其聲學(xué)性能的影響，結(jié)果表明：多腔室穿孔管消聲器的傳遞損失值是組成它的多個(gè)單- 定子橡膠泊松比對(duì)螺桿泵舉升性能影響研究*
中，采油螺桿泵各腔室之間的泄漏和密封始終保持一個(gè)動(dòng)態(tài)的平衡。開始工作時(shí)，油液從吸入端進(jìn)入，充滿螺桿泵各腔室并進(jìn)入油管，隨著油管內(nèi)油液高度的不斷增加，螺桿泵排出端腔室內(nèi)壓力隨之升高，與其相鄰腔室之間的壓差不斷增大。當(dāng)相鄰腔室之間的壓差增大到大于密封帶上的接觸壓力時(shí)將發(fā)生泄漏，油液從高壓腔室竄流到低壓腔室，造成低壓腔室內(nèi)壓力升高，相鄰腔室之間的壓差將會(huì)減小，直至重新建立密封。以此類推，采油螺桿泵各腔室間則建立起一個(gè)相對(duì)穩(wěn)定的壓力場(chǎng)，壓力場(chǎng)的分布規(guī)律如下[2]：化工機(jī)械 2015年5期2015-01-13
- 兩個(gè)腔室諧振箱在汽車進(jìn)氣系統(tǒng)降噪中的應(yīng)用①
聲器.圖1 單個(gè)腔室赫姆霍茲消聲器2 兩個(gè)腔室赫姆霍茲消聲器結(jié)構(gòu)及特點(diǎn)赫姆霍茲消聲器只能消除一個(gè)頻率及其附近頻帶的噪聲.除了傳統(tǒng)單個(gè)腔室結(jié)構(gòu)外，也有兩個(gè)腔室的赫姆霍茲消聲器，圖2(a)和(b)分別表示外部串聯(lián)和內(nèi)部串聯(lián)的腔室結(jié)構(gòu).兩個(gè)腔室的赫姆霍茲消聲器可以消除兩個(gè)頻率的噪聲，如果兩個(gè)腔室的容積與一個(gè)腔室消聲器容積一樣的話，那么兩個(gè)腔室消聲器傳遞損失對(duì)應(yīng)的峰值要低些.圖3表示一個(gè)腔室和兩個(gè)腔室赫姆霍茲消聲器傳遞損失對(duì)比.圖2 兩個(gè)腔室赫姆霍茲消聲器[1]圖- DN300鈉閥冷凍密封腔室的分析與設(shè)計(jì)
00鈉閥冷凍密封腔室的分析與設(shè)計(jì)胡麗娜，齊 敏，唐 龍（中國(guó)原子能科學(xué)研究院 快堆研究設(shè)計(jì)所，北京 102413）鈉閥的冷凍密封腔室是一個(gè)重要的部件，直接關(guān)系到鈉閥是否會(huì)發(fā)生泄漏。本文以大口徑鈉閥的國(guó)產(chǎn)化項(xiàng)目為依托，對(duì)冷凍密封腔室進(jìn)行分析與設(shè)計(jì)。冷凍密封腔室是一個(gè)狹小的空間，內(nèi)部有氬氣、液態(tài)鈉、凝固鈉。本文利用FLUENT的冷凝模型結(jié)合氬氣的基本氣體方程，計(jì)算冷凍密封腔室內(nèi)部鈉的冷凝情況，確定凝固鈉的位置；在此基礎(chǔ)上，利用FLUENT計(jì)算得到的溫度和文獻(xiàn)中原子能科學(xué)技術(shù) 2014年2期2014-05-25
- 低壓軸封進(jìn)、回汽系統(tǒng)故障對(duì)凝汽器真空度的影響
于大氣壓。供至X腔室的汽封蒸汽在一側(cè)通過汽封漏入汽輪機(jī)，在另一側(cè)漏入Y腔室，由裝在軸封加熱器上的電動(dòng)風(fēng)機(jī)使Y腔室壓力稍低于大氣壓，保證空氣通過外汽封從大氣漏入Y腔室。汽氣混合物通過一個(gè)與軸封加熱器相連的接口從Y腔室被抽出，當(dāng)排汽壓力超過X腔室壓力時(shí)，通過內(nèi)汽封圈發(fā)生反向流動(dòng)，流量隨著排汽壓力的升高而增加。因此，高壓缸的各汽封約在10%負(fù)荷時(shí)變成自密封，中壓缸的各汽封約在25%負(fù)荷時(shí)變成自密封，此時(shí)，蒸汽從X腔室排到汽封系統(tǒng)的聯(lián)箱，再?gòu)穆?lián)箱流向低壓汽封，大約綜合智慧能源 2012年3期2012-10-19
- G LB120-27型螺桿泵三維模型舉升壓力分析
液的舉升傳遞與各腔室之間油液的泄漏竄流是同時(shí)存在的,并且泄漏與定、轉(zhuǎn)子間的密封狀況有關(guān)。工作時(shí)隨著油管內(nèi)油液的增多,腔室的壓力也逐漸增加,相鄰腔室之間的壓差也隨之加大。當(dāng)相鄰腔室之間逐漸增大的壓差大于密封帶接觸壓力時(shí),便發(fā)生油液的泄漏,此時(shí)密封帶上的接觸壓力即為密封與泄漏的臨界接觸壓力。半導(dǎo)程采油螺桿泵三維有限元模型密封帶如圖1。對(duì)低壓腔室施加0 MPa壓力,高壓腔室分別施加0、0.60、0.67、0.68 MPa壓力,應(yīng)用有限元分析軟件ANSYS11.0石油礦場(chǎng)機(jī)械 2011年7期2011-12-11
- 一種可靈活配置的機(jī)械手晶圓定心裝置