亚洲免费av电影一区二区三区,日韩爱爱视频,51精品视频一区二区三区,91视频爱爱,日韩欧美在线播放视频,中文字幕少妇AV,亚洲电影中文字幕,久久久久亚洲av成人网址,久久综合视频网站,国产在线不卡免费播放

        ?

        光學(xué)微瓶腔特性及溫度傳感應(yīng)用研究

        2023-03-06 08:58:48肖中威柴明鋼王夢宇謝成峰郭狀張磊吳濤伏燕軍
        光子學(xué)報(bào) 2023年2期

        肖中威,柴明鋼,王夢宇,謝成峰,郭狀,張磊,吳濤,伏燕軍

        (1 南昌航空大學(xué) 江西省光電信息科學(xué)與技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室, 南昌 330063)

        (2 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué) 精密機(jī)械與精密儀器系, 合肥 230026)

        0 引言

        回音壁模式(Whispering Gallery Mode,WGM)光學(xué)微腔可以將光限制在非常小的空間內(nèi),極大地增強(qiáng)了光與物質(zhì)之間的相互作用,與常規(guī)的光學(xué)諧振腔相比,具有超高的品質(zhì)因子Q值和非常小的模式體積V的優(yōu)勢[1],在高靈敏度傳感中具有潛在的應(yīng)用價(jià)值[2-3]。制備WGM光學(xué)微腔的材料有液滴、晶體、半導(dǎo)體、聚合物和各種不同材質(zhì)的玻璃等[4]。WGM光學(xué)微腔的形狀也不受限于基本的球形、環(huán)形和盤形,尤其,具有三維結(jié)構(gòu)的微瓶腔通過其表面的連續(xù)全內(nèi)反射將WGM限制在兩個(gè)轉(zhuǎn)折點(diǎn)之間的諧振軸上,增強(qiáng)了對(duì)光的限制能力[5-6],不僅增強(qiáng)了光與物質(zhì)之間的相互作用,并且產(chǎn)生軸向自由頻譜范圍,具有豐富的模式光譜,在窄線寬激光器[7]、高靈敏度傳感[8-9]、非線性光學(xué)[5]等具有應(yīng)用價(jià)值。

        常見的微瓶腔有氧化硅材料(SiO2)微瓶腔和聚合物材料(Polymer)微瓶腔兩種。其中,SiO2微瓶腔通常在常規(guī)單模光纖上采用軟化壓縮法[10]或熔融擠壓法[5]制備,所采用的熱源可以是CO2激光器或者高壓電弧,受熱軟化或熔融的光纖受擠壓下產(chǎn)生凸起,從而形成微瓶腔。SiO2微瓶腔具有很高的表面質(zhì)量,并且在寬帶光譜范圍具有很低的損耗,可以形成密集的諧振模式[10]。高Q值的微瓶腔可以將腔內(nèi)的光限制在瓶狀區(qū)域內(nèi)循環(huán)數(shù)萬次,具有很長的光子壽命,在光學(xué)延遲線[11]和量子信息[12]等領(lǐng)域有著潛在的應(yīng)用價(jià)值。另外,通過聚焦離子束銑削技術(shù)在微瓶腔表面精準(zhǔn)的刻寫劃痕,可以定向選擇某些較低模式的光譜[8],得到比較稀疏,容易識(shí)別的模式譜,提高在光學(xué)傳感中的應(yīng)用價(jià)值。

        另外,Polymer微瓶腔通常基于自組裝法制備,如聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane, PDMS)[9]、聚甲基丙烯酸甲酯(Polymethyl Methacrylate, PMMA)[13]、SU-8[14]、紫外光固化膠(Ultraviolet-Curable Adhesive, UCA)[15]等Polymer材料結(jié)構(gòu)靈活,易于加工,有著良好的可塑性,可以在光纖載體上利用材料的表面張力作用自主裝自然形成。聚合物微瓶腔兼具很好的集成性,利用封裝技術(shù)可以將其高穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)中[15]。此外,由于聚合物材料具有很有的兼容性,可以通過將染料分子摻入到Polymer微瓶腔的方式[16],制備微型激光器,具有良好的可調(diào)諧性和伸縮性。尤其是UCA微瓶腔,UCA材料本身具有較好的透光性和熱光系數(shù),并且可在紫外光照射下發(fā)生固化,這使得其易被制作成微瓶腔。

        本文研究了SiO2微瓶腔和UCA微瓶腔的特性,對(duì)比了兩種不同材料微瓶腔在溫度傳感中的應(yīng)用。首先,分別通過熔融擠壓法和自組裝法制備了SiO2微瓶腔和UCA微瓶腔。從微瓶腔的解析解出發(fā),用寬帶光源作為激勵(lì)光源,測試了SiO2微瓶腔和UCA微瓶腔的諧振特性。最后,測量了兩種微瓶腔的諧振波長隨溫度變化的特性,并研究了兩種微瓶腔的諧振波長偏移量與環(huán)境溫度的關(guān)系,為探索不同材料微腔基質(zhì)的穩(wěn)定性及微腔溫度傳感器材料的選取提供參考。

        1 實(shí)驗(yàn)理論

        微瓶腔具有獨(dú)特的三維光學(xué)結(jié)構(gòu),既能夠在徑向方向上限制WGM,也可以將WGM限制在軸向方向,這主要是由軸向方向的兩個(gè)轉(zhuǎn)折點(diǎn)之間的直徑變化引起的[17]。圖1(a)所示是微瓶腔沿軸向的截面示意圖,其中Ds是連接微瓶腔的光纖柄直徑,Db是微瓶腔赤道面處直徑,Lb是微瓶腔兩瓶頸之間的長度。使用拋物線函數(shù)對(duì)微瓶腔的外形輪廓進(jìn)行近似,沿微瓶腔軸向的拋物線近似公式為[10]

        圖1 光學(xué)微瓶腔的截面示意圖及輪廓近似Fig.1 Schematic of curved surface and outline approcimation for optical microbottle resonator

        式中,當(dāng)z=0時(shí),Db是微瓶腔徑向方向的最大直徑;Δk表示微瓶腔的曲率,決定著微瓶腔的鼓起程度。

        微瓶腔的諧振模式由模式數(shù)m、p和q來表示,其中,m表示方位角模式數(shù),p表示徑向模式數(shù),q表示軸向模式數(shù)。利用亥姆霍茲方程,將波動(dòng)方程分離變量,微瓶腔諧振模式模場Em,p,q(r,z)表示為

        式中,Ep(r,z)表示在徑向方向上的模場強(qiáng)度,Zm,q(z)表示在軸向方向上的模場強(qiáng)度,eimφ表示在角向方向上的模場強(qiáng)度。Ep(r,z)與Zm,q(z)分別可表示為[5]

        式中,n1為微瓶腔的有效折射率,Jm和Ym分別是貝塞爾函數(shù)(Bessel function)和修正后的第二類貝塞爾函數(shù),A,B為常數(shù),可分取決于電場邊界連續(xù)性條件。k0為傳播常數(shù),Cm,q=[?Em/π22q+1(q!)2]14,Hq為m階厄米多項(xiàng)式。ΔEm=4UmpΔk/Db,在忽略偏振效應(yīng)Ump可近似為Bessel函數(shù)的p階根,表示為Ump≈m+αp是Airy函數(shù)的p階根,當(dāng)p=1,2,3,4時(shí),αp=2.338 1,4.089 7,5.520 5,6.786 7。每個(gè)模式數(shù)組(m,p,q)所對(duì)應(yīng)的諧振波長解可由式(5)得出。

        WGM光學(xué)微腔溫度傳感原理[18]是:當(dāng)微腔周圍環(huán)境改變的時(shí)候,腔體內(nèi)的溫度因?yàn)闊醾鬟f也會(huì)跟著改變,由于微腔材料本身具有熱光效應(yīng)或熱膨脹效應(yīng),會(huì)分別導(dǎo)致微腔材料折射率和微腔直徑的改變,在它們共同作用下使微腔的諧振波長發(fā)生藍(lán)移或者紅移。諧振波長λ與溫度變化之間的關(guān)系為

        式中,m是WGM角模式數(shù),λ0是初始溫度下的諧振波長,(1n)(dndT)為微腔材料熱光系數(shù),(1R)(dR/dT)為微腔材料熱膨脹系數(shù)。由式(6)可知諧振波長隨溫度變化而發(fā)生的漂移Δλ可表示為

        式中,k為微腔材料的熱光系數(shù)與熱膨脹系數(shù)之和,ΔT是模式體積內(nèi)微腔材料介質(zhì)與微腔周圍環(huán)境之間的溫度差。因此用高熱光系數(shù)或熱膨脹系數(shù)的材料制備的微腔可以實(shí)現(xiàn)高靈敏度的溫度傳感。

        2 微瓶腔的制備

        2.1 氧化硅微瓶腔的制備

        SiO2微瓶腔完整制備過程如圖2(a)所示。首先,取一根單模光纖(SMF-28)剝?nèi)ネ扛矊樱镁凭潦酶蓛?。處理完后利用高壓電弧?duì)光纖末端進(jìn)行放電處理,放電時(shí)間大約為1 s,進(jìn)行多次放電后光纖端受熱熔融,在表面張力的作用下形成微球狀。然后,再取一根單模光纖剝?nèi)ネ扛矊?,用光纖切割刀將末端切平,移動(dòng)光纖一端與之前制備成的微球腔在水平位置上對(duì)齊貼住。最后對(duì)兩者緊貼的區(qū)域多次放電,在光纖的表面壓力和兩端的擠壓作用力下形成為微瓶腔。這里需要注意的是,放電次數(shù)越多,微球的尺寸越大,用來制備成微瓶腔的尺寸也越大。圖2(b)所示是制備得到尺寸為Ds=125 μm、Db=206 μm和Lb=530 μm的SiO2微瓶腔。圖2(c)展示了SiO2微瓶腔在橫截面上的模式電場分布,可以看出,在微瓶腔的z方向上存在明顯的軸向模式。

        圖2 氧化硅微瓶腔的制備過程及電場分布Fig.2 The fabrication process and electrical field distribution of SiO2 microbottle resonator

        2.2 UCA微瓶腔的制備

        UCA微瓶腔完整制備過程如圖3所示。本次制作微瓶腔選用的UCA材料為紫外固化膠NOA61,NOA61為紫外光固化膠常用材料,是一種無色透明液體,能在紫外光照射下呈現(xiàn)固化狀態(tài),并且NOA61紫外膠可以很好的潤濕在玻璃光纖表面上,并在表面張力的作用下形成扁長形結(jié)構(gòu)。首先,取一根單模光纖(SMF-28)剝?nèi)ネ扛矊?,放在光纖熔融拉錐機(jī)上,通過火焰加熱法拉制出錐形光纖,設(shè)置不同的火焰強(qiáng)度、拉錐機(jī)電動(dòng)平移臺(tái)移動(dòng)的速度和距離可以制作出不同錐腰直徑的錐形光纖,把制備好的錐形光纖豎直放置并固定好。其次,取一支注射器蘸取適量的NOA61液滴,把液滴轉(zhuǎn)移到拉制好的錐形光纖錐腰上面的錐形過渡區(qū)。然后,NOA61液滴利用自身重力將沿著光纖錐滑落到錐腰下方過渡區(qū),由于NOA61液滴具有一定的粘度,會(huì)有一部分液滴在滑落的過程中吸附到光纖錐上。附著在光纖錐上的NOA61液滴和光纖錐之間存在一個(gè)粘附力,這個(gè)作用力會(huì)使NOA61液滴在光纖錐表面鋪展開;另外,NOA61液滴自身的表面張力會(huì)使它收縮,這樣就會(huì)有多個(gè)相互分開的粘合劑片段形成。在NOA61液滴和光纖錐之間的界面張力作用下,粘附力和表面張力達(dá)到一個(gè)平衡狀態(tài),使瓶形微諧振腔在光纖錐上自組裝的形成。因?yàn)镹OA61對(duì)波長350~380 nm紫外光較為敏感,故使用中心波長為365 nm的紫外燈照射NOA61液滴十分鐘左右使其固化。NOA61粘合劑有著高硬度和低收縮的特性,在適當(dāng)?shù)淖贤夤庹丈湎律晒虘B(tài)的微瓶時(shí),形態(tài)幾乎不發(fā)生改變。待UCA微瓶腔固化后將其放進(jìn)溫度箱中經(jīng)50℃烘干12 h后,即完成所有的制備過程。圖3(b)展示的是制備得到級(jí)聯(lián)UCA微瓶腔,圖3(c)表示了級(jí)聯(lián)UCA微瓶腔在橫截面上的模式電場分布,可以看出,每個(gè)UCA微瓶腔都存在各自的軸向模式。

        圖3 級(jí)聯(lián)UCA微瓶腔的制備過程及電場分布Fig.3 The fabrication process and electrical field distribution of cascade UCA microbottle resonator

        3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析

        3.1 微瓶腔的Q值測量

        品質(zhì)因子Q值是光學(xué)微腔最基本的特性參數(shù)之一。首先測試了實(shí)驗(yàn)中制備的尺寸為Ds=125 μm,Db=338 μm和Lb=611 μm的SiO2微瓶腔的諧振光譜特性,采用錐腰直徑約為2 μm大小的錐形光纖對(duì)SiO2微瓶腔的諧振光譜進(jìn)行激發(fā)。激發(fā)光源選擇輸出連續(xù)光的寬帶光源,寬帶光源的中心波長為1 550 nm。寬帶光源輸出激發(fā)光傳輸?shù)藉F形光纖,錐形光纖的輸出端連接到光譜分析儀(Yokogawa, AQ6370D),光譜儀的最小分辨率為0.02 nm。圖4(a)是錐形光纖與SiO2微瓶腔赤道中心處耦合得到的光譜圖??梢钥闯?,SiO2微瓶腔的諧振模式可以明顯被激發(fā),譜線整齊且有規(guī)則,說明耦合進(jìn)微瓶腔的光波被限制在瓶狀的三維空間內(nèi),以WGM形式形成了振蕩。圖中標(biāo)記了激發(fā)的諧振模式與理論計(jì)算所得到的對(duì)應(yīng)的模式數(shù),可以看出,除了激發(fā)出幾個(gè)高效率的基模之外,在兩個(gè)基模之間,還存在著少許高階模式。微腔的自由光譜范圍(Free Spectra Range, FSR)理論值通過計(jì)算公式ΔλFSR=λ2/πn1Db計(jì)算得到,其中,λ是諧振波長,n1為有效折射率。實(shí)驗(yàn)中測得SiO2微瓶腔的FSR為1.572 nm,理論公式計(jì)算FSR為1.560 nm,兩者結(jié)果非常接近。在微腔Q值的分析中,使用公式Q=λ/δλ來估算[19],其中,λ為中心諧振波長,δλ是諧振譜線的半高全寬。另外圖4(b)是取圖4(a)諧振譜中諧振峰中心波長為1 545.489 nm處的WGM諧振譜圖,對(duì)其進(jìn)行洛倫茲擬合。其中,該諧振譜的半高全寬為0.033 nm,通過上述Q值計(jì)算公式可得到該諧振模式的Q值為4.683×104。

        圖4 兩種材料微瓶腔的透射譜及諧振峰擬合Fig.4 The transmission spectrum and Lorenz fitted spectral line of two kind of microbottle resonators

        圖4(c)所示是尺寸為Ds=125 μm,Db=380 μm和Lb=764 μm的UCA微瓶腔激發(fā)的諧振譜,紫外固化膠NOA61在波長1 550 nm處的折射率為1.542,錐形光纖在波長1 550 nm處的折射率約為1.444,兩者折射率比較接近,可以很好地滿足相位匹配關(guān)系。通過觀察UCA微瓶腔在赤道面耦合得到的諧振譜,可以發(fā)現(xiàn),UCA微瓶腔的諧振譜十分密集,在同一個(gè)FSR內(nèi)高效率激發(fā)的諧振模式比Silica微瓶腔相對(duì)較多,一方面原因是測試的UCA微瓶腔本身具有很低的光損耗;另一方面原因是經(jīng)過固化處理后具有很光滑的表面和對(duì)稱的輪廓結(jié)構(gòu)。此外,通過理論公式計(jì)算的FSR為1.305 nm,實(shí)驗(yàn)中測得的FSR為1.324 μm,與理論值非常接近。圖4(d)是對(duì)諧振峰中心波長為1 542.194 nm處的WGM諧振譜進(jìn)行洛倫茲擬合的結(jié)果。該諧振模式的半高全寬為0.046 nm,那么計(jì)算得到的Q值為3.353×104,與Silica微瓶腔得到的Q值非常接近。

        3.2 微瓶腔溫度傳感實(shí)驗(yàn)研究

        微瓶腔溫度傳感特性的實(shí)驗(yàn)測試裝置如圖5所示。寬帶光源作為激發(fā)光接入耦合系統(tǒng),耦合系統(tǒng)輸出光連接到光譜分析儀。耦合系統(tǒng)由微瓶腔與錐形光纖組成,錐形光纖用紫外膠固定在U型玻璃片上,再使用光纖夾具夾住玻璃片,微瓶腔與錐形光纖的耦合位置由高精度三維平移臺(tái)進(jìn)行調(diào)整控制。在光譜儀觀察到透射譜線后對(duì)耦合系統(tǒng)進(jìn)行封裝,使用一塊玻璃片同時(shí)接觸U型玻璃片和裝載著微瓶腔的石英玻璃管,對(duì)接觸的地方點(diǎn)涂紫外膠后用紫外燈照射直至紫外膠固化。把封裝好的耦合系統(tǒng)放進(jìn)溫度控制箱,通過改變溫度控制箱的溫度來觀察光譜儀中透射譜線的漂移,可得到微瓶腔諧振波長溫度傳感響應(yīng)。

        圖5 溫度傳感實(shí)驗(yàn)裝置Fig.5 The experimental device of temperature sensing

        接著通過升高或降低溫度控制箱的溫度,觀察Silica微瓶腔的WGM諧振譜線產(chǎn)生相應(yīng)的紅移或藍(lán)移現(xiàn)象。對(duì)SiO2材料來說,它的熱光系數(shù)和熱膨脹系數(shù)都是正的,因此當(dāng)腔體內(nèi)溫度上升或降低時(shí),其WGM諧振譜會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的紅移或藍(lán)移。圖6所示是SiO2微瓶腔WGM諧振譜隨溫度變化的情況,分別采集溫度上升和下降時(shí)的WGM諧振譜。測試過程中,采集多個(gè)溫度下的諧振光譜,再在光譜中取一個(gè)明顯的諧振模式觀察諧振波長的漂移情況。圖6(a)為當(dāng)氧化硅微瓶腔系統(tǒng)溫度從25.7℃升高到46.0℃時(shí),WGM諧振波長向長波方向移動(dòng),紅移了0.226 nm,通過圖6(b)線性擬合得到溫度靈敏度為11.13 pm/℃;圖6(c)展示了SiO2微瓶腔系統(tǒng)溫度從47.8℃下降到28.1℃時(shí),WGM諧振波長向短波方向移動(dòng),藍(lán)移了0.202 nm,圖6(d)的線性擬合得到溫度靈敏度為10.25 pm/℃。溫度上升和溫度降低過程中的得到溫度靈敏度非常接近,表現(xiàn)出很好的一致性和可重復(fù)性。結(jié)果與文獻(xiàn)[20]SiO2微球腔溫度傳感系統(tǒng)中測量得到的溫度靈敏度結(jié)果7.38 pm/℃非常接近,與文獻(xiàn)[21]中SiO2微瓶腔溫度傳感系統(tǒng)中測量得到的溫度靈敏度結(jié)果10.5 pm/℃也是非常吻合,驗(yàn)證了本次實(shí)驗(yàn)的可靠性。

        圖6 silica微瓶腔的溫度傳感特性及線性擬合Fig.6 Temperature sensing characteristic and Linear fitting of the SiO2 microbottle resonator

        采用相同的封裝方法測試了UCA微瓶腔溫度傳感特性。在室溫狀態(tài)下,紫外固化膠NOA61具有正的熱膨脹系數(shù)和負(fù)的熱光系數(shù),并且熱光系數(shù)的絕對(duì)值大于熱膨脹系數(shù)。因此,當(dāng)UCA微瓶腔腔體內(nèi)溫度升高或降低時(shí),其凈效應(yīng)是負(fù)的,WGM譜線產(chǎn)生相應(yīng)的藍(lán)移或紅移,與SiO2微瓶腔恰好相反。圖8所示是UCA微瓶腔WGM諧振譜隨溫度變化的情況。分別采集了溫度上升和下降時(shí)的WGM諧振譜,并通過溫度檢測儀紀(jì)錄每個(gè)諧振譜對(duì)應(yīng)微瓶腔系統(tǒng)的溫度。圖7(a)展示了當(dāng)UCA微瓶腔系統(tǒng)溫度從25.4℃升高到48.1℃時(shí),WGM諧振波長向短波方向移動(dòng),藍(lán)移了2.54 nm,通過圖7(b)諧振波長隨溫度上升的線性擬合可得到溫度靈敏度為?111.89 pm/℃;圖7(c)展示了當(dāng)紫外固化膠微瓶腔系統(tǒng)溫度從42.3℃下降到29.4℃時(shí),WGM諧振波長向長波方向移動(dòng),紅移了1.316 nm,通過圖7(d)諧振波長隨溫度下降的線性擬合可得到溫度靈敏度為?102.02 pm/℃。溫度上升和溫度降低過程中的得到溫度靈敏度非常接近,平均表現(xiàn)溫度靈敏度為?106.96 pm/℃,是SiO2微瓶腔的溫度靈敏度的十倍,在溫度傳感器中有著潛在的應(yīng)用。

        圖7 UCA微瓶腔的溫度傳感特性及線性擬合Fig.7 Temperature sensing characteristic and Linear fitting of the UCA microbottle resonator

        表1是兩種材料的光學(xué)微瓶腔的溫度靈敏度對(duì)比,在尺寸差不多的情況下,由于SiO2和NOA61的熱膨脹系數(shù)基本一致,而NOA61的熱光系數(shù)比SiO2大兩個(gè)數(shù)量級(jí)。為了便于探討周圍環(huán)境溫度對(duì)WGM諧振譜偏移的影響,對(duì)光纖錐與微瓶腔耦合系統(tǒng)進(jìn)行封裝,使用封裝后的耦合系統(tǒng)作為傳感器研究溫度傳感特性,用中心波長為1 550 nm的ASE寬帶光源作為泵浦源,分別測量了Silica及NOA61微瓶腔在周圍環(huán)境溫度變化時(shí)其諧振波長的變化量。得到SiO2微瓶腔在溫度上升時(shí)的靈敏度為11.13 pm/℃,在溫度下降時(shí)的靈敏度為10.25 pm/℃;紫外固化膠微瓶腔在溫度上升時(shí)的靈敏度為111.89 pm/℃,在溫度下降時(shí)的溫度靈敏度為102.02 pm/℃??梢钥闯鯪OA61微瓶腔比SiO2微瓶腔溫度靈敏度大了一個(gè)數(shù)量級(jí),這與它們的熱光系數(shù)與熱膨脹系數(shù)大小相對(duì)應(yīng)。測量結(jié)果對(duì)比發(fā)現(xiàn),實(shí)驗(yàn)測得的溫度靈敏度均在合理的區(qū)間范圍內(nèi),兩者均具有很好的一致性和可重復(fù)性。尤其,實(shí)驗(yàn)所設(shè)計(jì)的UCA微瓶腔不僅具有規(guī)則且高效的諧振模式譜,并且溫度靈敏度相對(duì)目前光纖光柵[22]溫度傳感傳感器(6.43 pm/℃)、法珀微腔[23]溫度傳感傳感器(12 pm/℃)具有大幅度的性能提升,相信未來在合理的封裝技術(shù)[24]下可以得到應(yīng)用。

        表1 兩種不同材料微瓶腔參數(shù)及特性對(duì)比Table 1 Parameter and properties comparison for two kinds of different material microbottle resonators

        4 結(jié)論

        本文理論和實(shí)驗(yàn)研究了SiO2和UCA微瓶腔的制備及溫度傳感特性。分別通過電弧放電法和自主裝法制備了SiO2和UCA聚合物材料微瓶腔,并通過錐形光纖耦合的方式激發(fā)了兩種微瓶腔透射譜。對(duì)比發(fā)現(xiàn),UCA微瓶腔相對(duì)SiO2微瓶腔具有更加密集且規(guī)則的諧振譜。分別表征了兩種不同材料微瓶腔在溫度上升和溫度下降時(shí)的靈敏度,結(jié)果發(fā)現(xiàn)UCA微瓶腔微瓶腔比SiO2微瓶腔溫度靈敏度大了一個(gè)數(shù)量級(jí),且具有較好的一致性、穩(wěn)定性和可重復(fù)性。實(shí)驗(yàn)所設(shè)計(jì)的微瓶腔溫度傳感器制作簡單、成本低、可控性強(qiáng)且靈敏度高,不僅在溫度傳感中具有應(yīng)用價(jià)值,并且在化學(xué)和生物傳感等領(lǐng)域具有潛在應(yīng)用價(jià)值本文中可對(duì)不同材料的溫度傳感器件和耦合系統(tǒng)的穩(wěn)定性等方面的研究提供參考價(jià)值。

        欧美日韩不卡中文字幕在线| 日韩人妻av不卡一区二区三区| 91精品国产综合久久国产| 国产亚洲成人av一区| 性无码免费一区二区三区在线| 精品国产亚洲AⅤ麻豆| 亚洲AV秘 无码一区二区久久| 国产精品亚洲一二三区| 亚洲av无码一区东京热| 国产成人一区二区三区在线观看| 国产资源精品一区二区免费| 蜜桃视频一区二区三区| 2021国产精品视频网站| 少妇无码av无码专区线| 亚洲AV综合A∨一区二区| 日韩男女av中文字幕| 国产区女主播在线观看| 欧美国产精品久久久乱码| 亚洲AV无码永久在线观看| 日本精品av中文字幕| 日韩人妻中文无码一区二区| 99精品免费久久久久久久久日本 | 日本精品一区二区三区试看| 久久久亚洲欧洲日产国码aⅴ| 日产无人区一线二线三线新版 | 久久精品国产亚洲婷婷| 风流少妇一区二区三区91| 99国产精品99久久久久久| 日本无遮挡吸乳呻吟视频| 国语憿情少妇无码av| 男男啪啪激烈高潮无遮挡网站网址| 鲁丝片一区二区三区免费| 亚洲91av| 精品女同av一区二区三区| 欧美乱妇高清无乱码免费| 三级4级全黄60分钟| 午夜亚洲国产精品福利| 国产av一卡二卡日韩av| 久久精品欧美日韩精品| 一本久到久久亚洲综合| 亚洲中文字幕第一页免费|