云南大學(xué)材料與能源學(xué)院

以陳秀華教授為骨干的云南大學(xué)能源材料技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊(duì)，主要從事新能源環(huán)境材料、新型太陽能電池材料、半導(dǎo)體超大規(guī)模集成電路布線材料的研究。圍繞信息產(chǎn)業(yè)半導(dǎo)體ULSI硅基布線及互連薄膜材料、光伏產(chǎn)業(yè)太陽能硅基材料及器件、納米多孔硅制備及在重金屬環(huán)境治理方面的應(yīng)用開展相關(guān)研究工作。

主要研究方向

1 光伏產(chǎn)業(yè)：太陽能硅基材料及器件的研究

利用納米金屬輔助刻蝕開展新型硅基太陽電池材料及器件相關(guān)研究工作，通過有效調(diào)控，制備不同結(jié)構(gòu)的硅基電池，實(shí)現(xiàn)硅片表面的高效減反效果和發(fā)光效率的提升。

圖1 所制備的新型硅基太陽電池的I-V曲線

2 光電子信息領(lǐng)域超大規(guī)模集成電路硅基布線及互連薄膜材料

利用PVD、CVD、sputtering等多種薄膜制備技術(shù)開展半導(dǎo)體ULSI集成電路銅布線及互連層的研究。

圖2 所制備的薄膜的方塊電阻-溫度曲線

圖3 所制備的有機(jī)官能團(tuán)多孔硅吸附Cd的機(jī)理圖

3 新能源環(huán)境領(lǐng)域：材料納米多孔硅制備及在重金屬環(huán)境治理方面的應(yīng)用

利用在納米多孔硅上嫁接有機(jī)官能團(tuán)實(shí)現(xiàn)對工業(yè)廢水凈化和吸附重金屬離子的研究。

本研究團(tuán)隊(duì)的研發(fā)工作獲得了國家自然科學(xué)基金、教育部留學(xué)回國人員基金、云南省科技廳重大科技專項(xiàng)、云南省科技廳重點(diǎn)項(xiàng)目、云南省省部共建復(fù)雜有色金屬資源清潔利用國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開放基金等項(xiàng)目的資助和支 持。課 題 組已在ACS、ASS、SPT、JMST、JHM、Coatings、MP、Waste management、Power Technology、Fuel cell、材料導(dǎo)報(bào)等期刊上發(fā)表SCI和EI論文多篇，已培養(yǎng)碩士畢業(yè)生30余人，畢業(yè)研究生在光電子信息領(lǐng)域、光伏太陽能領(lǐng)域知名國企和民企擔(dān)任高管、技術(shù)總監(jiān)和技術(shù)骨干。