黃小昆 袁玉祥

（南京中電熊貓液晶材料科技有限公司，江蘇南京 210033）

彩色濾光片的主要工藝流程是解包、BM、R、G、B、鍍膜、研磨、最終檢查、捆包、出貨（圖1）。在上述主工藝流程當(dāng)中，在每條線(xiàn)體都設(shè)置有手動(dòng)、自動(dòng)宏觀檢查機(jī)，異物檢查機(jī)，自動(dòng)光學(xué)檢查機(jī)等，掃描經(jīng)過(guò)的玻璃基板，如果有不符合要求的玻璃基板，就通過(guò)裝載輸送系統(tǒng)進(jìn)入修補(bǔ)線(xiàn)體，經(jīng)過(guò)修補(bǔ)之后再進(jìn)入主工藝流程繼續(xù)向產(chǎn)線(xiàn)下游運(yùn)動(dòng)。檢查玻璃基板的規(guī)則如何制定，修補(bǔ)后的玻璃基板如何再次進(jìn)入主工藝流程，這都需要聯(lián)合所有設(shè)備確定生產(chǎn)節(jié)拍。由于玻璃基板只有零點(diǎn)幾毫米的厚度，在裝載輸送的過(guò)程中極易破碎，破碎一片就會(huì)造成上千元的損失，如何減少破片率，能夠?yàn)楣就旎匾淮蠊P損失。下面介紹如何通過(guò)修改一款產(chǎn)品的設(shè)備參數(shù)和邏輯程序進(jìn)行改善。（圖1）

圖1

1 曝光工藝的改善

針對(duì)在制作645 產(chǎn)品時(shí)，由于是12shot 產(chǎn)品，曝光機(jī)生產(chǎn)的Tact Time 過(guò)長(zhǎng)的問(wèn)題，增加曝光機(jī)Gap Skip 功能和啟用Local Alignment 模式。

1.1 曝光機(jī)增加Gap Skip 功能和啟用Local Alignment 模式

我公司使用的曝光機(jī)采用Step 曝光模式，即在完成第一個(gè)shot 曝光后，移動(dòng)到下個(gè)區(qū)域再進(jìn)行曝光。增加的Gap Skip 功能為對(duì)涂布后的基板進(jìn)行曝光時(shí)，只有最開(kāi)始的三枚基板會(huì)在曝光前量測(cè)基板與掩膜板之間的Gap，之后的基板不會(huì)再量測(cè)Gap。

啟用Local Alignment 功能后，先對(duì)掩膜板預(yù)對(duì)位單元進(jìn)行校正，防止掩膜板相對(duì)于基準(zhǔn)位置有所偏移，并提高了曝光時(shí)的精度，在曝光時(shí)，所有shot 的對(duì)位次數(shù)都變?yōu)? 次，原本因?yàn)閷?duì)位精度差而導(dǎo)致對(duì)位次數(shù)增加影響工作時(shí)間也有所改善。

1.2 設(shè)備功能詳細(xì)描述

1.2.1 追加Gap Skip 功能

設(shè)定為100 片校正一次曝光Gap，即開(kāi)始生產(chǎn)的前三枚基板曝光時(shí)每個(gè)shot 會(huì)測(cè)量Gap，之后的97 枚基板只有第一shot 會(huì)測(cè)量Gap，后續(xù)的11 個(gè)shot 直接移動(dòng)到位進(jìn)行曝光，平均每個(gè)shot 可以節(jié)約0.5 秒，每片可以節(jié)約5.5 秒左右。（圖2）

圖2

1.2.2 啟用Local Alignment 功能

打開(kāi)該功能之后，曝光機(jī)工作時(shí)每個(gè)shot 對(duì)位只有一次，補(bǔ)正會(huì)根據(jù)首次測(cè)量的偏移量進(jìn)行小范圍補(bǔ)正，因此為了防止對(duì)位精度的異常，校正了掩膜板預(yù)對(duì)位單元的八個(gè)Clamp 位置，同時(shí)將補(bǔ)正的精度由50um 變更為5um。工作時(shí)，每個(gè)shot 可以節(jié)約0.8 秒，每片產(chǎn)品可以節(jié)約10 秒左右。（圖3）

圖3

1.3 改善后的效果

在追加Gap Skip 功能和啟用Local Alignment 模式后各條產(chǎn)線(xiàn)曝光機(jī)在生產(chǎn)645 產(chǎn)品時(shí)，Tact Time 有所減少，由原來(lái)的80 秒/片縮短為60 秒/片，平均每天可以比原先多生產(chǎn)350 片產(chǎn)品。

2 捆包工藝的優(yōu)化

針對(duì)在捆包150 段時(shí)經(jīng)常基本會(huì)出槽導(dǎo)致破片，增加對(duì)中氣缸固定TRAY 的位置從而確?；逶赥RAY 里的位置不便移。

2.1 追加對(duì)中氣缸后的工作方式

PAK 在捆包150 段的時(shí)候，基板經(jīng)常容易出槽導(dǎo)致破片，本裝置固定TRAY 與基板的位置，保證基板在TRAY 中間。

PAK 四軸機(jī)器人往CV10 上送片后對(duì)中氣缸會(huì)夾持基板確?；逦恢貌蛔?，確?；逶赥RAY 盤(pán)里不出槽。

工作方式：在PAK CV10 處X 和Y 方向分別添加4 個(gè)氣缸，共8 個(gè)氣缸，在四軸機(jī)器人送片后，對(duì)中氣缸會(huì)規(guī)正基板，同時(shí)把原來(lái)10 個(gè)頂Pin 更換為萬(wàn)向球Pin，減少摩擦力，讓氣缸能夠推動(dòng)基板起到夾持基板的作用，固定基板位置，減少出槽的機(jī)會(huì)，從而保證少破片。

2.2 基板旋轉(zhuǎn)功能追加部件明細(xì)（表1）

表1

2.3 追加設(shè)備規(guī)格詳細(xì)描述

2.3.1 追加部分采用8 組氣缸對(duì)中基板，規(guī)正基板位置的作用。

2.3.2 對(duì)中機(jī)構(gòu)下頂Pin 由于氣缸夾持基板摩擦力過(guò)大后更換了10 組帶萬(wàn)向球的頂Pin，高度和原來(lái)頂Pin 位置一樣，使基板在頂Pin 上能夠被推動(dòng)。

2.3.3 關(guān)于追部分的控制：追加控制氣缸的電磁閥2 個(gè)，在捆包150 段時(shí)可以手動(dòng)控制夾持基板，在氣缸上安裝傳感器和氣管控制氣缸前進(jìn)后退。

2.3.4 PLC 程序說(shuō)明

在程序上增加的功能（圖4）。

圖4

2.4 改善效果

PAK 在CV10 上追加8 組氣缸后，基板能夠推動(dòng)基板，達(dá)到預(yù)期目標(biāo)，基板位置固定，保證基板在TRAY 里位置不變。

PAK 在追加4 組共8 個(gè)氣缸后，氣缸推動(dòng)基板，保證基板在TRAY 中間，對(duì)破片有很大的改善，破片率由原來(lái)70%降到現(xiàn)在20%，確保稼動(dòng)率，也控制了破片的發(fā)生。

3 捆包尾料的處理

因生產(chǎn)需要PK1&PK2 線(xiàn)打包出貨給客戶(hù)要全滿(mǎn)Tray，經(jīng)常會(huì)有尾料流入線(xiàn)體，而尾料需等待新做出同型號(hào)玻璃基板二次打包，嚴(yán)重影響了產(chǎn)能?，F(xiàn)相關(guān)業(yè)務(wù)科室經(jīng)過(guò)多次開(kāi)會(huì)討論，歷經(jīng)2個(gè)多月。終于修改好了PK2 線(xiàn)的PLC 程序，以滿(mǎn)足尾料的合理打包。

3.1 利用Parameter 功能，設(shè)定基板片數(shù)，尾料流入線(xiàn)體的情況出現(xiàn)，提高線(xiàn)體產(chǎn)能。執(zhí)行內(nèi)容：

3.1.1 點(diǎn)擊Touch Panel 上【自動(dòng)運(yùn)用Parameter】，圖5。

圖5

3.1.2 看到【計(jì)劃投入基板數(shù)量設(shè)定】，在【設(shè)定出片數(shù)】寫(xiě)入當(dāng)前卡匣需要流出的玻璃枚數(shù)，最后按【使用中（3S）】亮起，圖6。

圖6

3.1.3 此功能是當(dāng)【當(dāng)前已經(jīng)出片數(shù)】等于【設(shè)定出片數(shù)】時(shí)，Touch Panel 會(huì)自動(dòng)切為【基板投入禁止】，需手動(dòng)解除后才可正常放片。

3.2 改善后的效果

Parameter 功能的使用，將打包出貨的基板片數(shù)固定，避免了尾料流入，從而不會(huì)到影響其他型號(hào)產(chǎn)品的正常生產(chǎn)，保證了線(xiàn)體的產(chǎn)能。

4 結(jié)論

通過(guò)對(duì)一款產(chǎn)品流程的優(yōu)化，使主流程的節(jié)拍更加有效率，破片的減少和尾料的處理，不僅減少了破片帶來(lái)的損失，還提高了產(chǎn)能。通過(guò)日常的運(yùn)行維護(hù)不斷發(fā)現(xiàn)問(wèn)題、積累經(jīng)驗(yàn)，經(jīng)過(guò)多方面的驗(yàn)證，最后實(shí)施。這只是整個(gè)液晶面板生產(chǎn)流程當(dāng)中的一小部分，在今后的生產(chǎn)當(dāng)中，還需要解決其他線(xiàn)體發(fā)現(xiàn)的問(wèn)題。只有這樣不斷的優(yōu)化，才能最大限度提高公司的生產(chǎn)效能。