閆思齊 姜藶峰

摘 要：微靜電斥力致動(dòng)器[1]由固定指端和移動(dòng)指端組成，可以利用表面微機(jī)械加工技術(shù)制造而成。該致動(dòng)器能夠產(chǎn)生一個(gè)靜電斥力，使移動(dòng)指端離開基板向上移動(dòng)。由于兩層指端的邊界結(jié)構(gòu)復(fù)雜，很難建立分析模型。沒有特別適用的分析模型，只能用數(shù)值模擬致動(dòng)器的設(shè)計(jì)，這就使得優(yōu)化系統(tǒng)和執(zhí)行機(jī)構(gòu)的性能調(diào)優(yōu)變得非常困難。本文將靜電斥力致動(dòng)器單元化，建立MEMS反射鏡靜電斥力致動(dòng)單元模型，該模型給出了致動(dòng)器中產(chǎn)生的排斥力的估計(jì)值。

關(guān)鍵詞：MEMS；單元化建模

由于移動(dòng)指端和上部分固定指端受到相同電位，移動(dòng)指端和上部分固定指端之間區(qū)域內(nèi)的電場(chǎng)從指端末端向右側(cè)迅速下降，尤其是當(dāng)移動(dòng)指端和上部分固定指端之間的垂直距離小的時(shí)候。對(duì)該部分進(jìn)行數(shù)值模擬后得出，移動(dòng)指端的底部表面和上部分固定指端的頂表面的這兩個(gè)表面可以擴(kuò)展，即C3可擴(kuò)展，而C1和C2的影響并不顯著。

參考文獻(xiàn)：

[1]S.He and R.Ben Mrad，“Large.stroke microelectrostatic actuators for vertical translation of micromirrors used in adaptive optics，”IEEE Trans.Ind.Electron.，vol.52，no.4，pp.974.983，Aug.2005.

[2]C.R.Paul，K.W.Whites，and S.A.Nasar，Introduction to Electromagnetic Fields，3rd ed.Boston，MA：McGraw.Hill，1998，p.172.

作者簡(jiǎn)介：閆思齊（1993.），男，漢族，吉林吉林人，碩士，航空宇航科學(xué)與技術(shù)，飛行器仿真。