張卓先

摘 要：Calibre是業(yè)界流行的驗(yàn)證工具，它提供了各個方面的驗(yàn)證方法來確保芯片能順利流片。Calibre所具有的編程語言不僅僅是其規(guī)則文件的重要組成部分，更能提供很多優(yōu)化驗(yàn)證流程和效率的解決方案。該文以對Calibre編程語言的簡介開始，討論了一些能有效提高后端工作效率的語句編寫。

關(guān)鍵詞：Calibre 編程語言 后端

中圖分類號：TP391 文獻(xiàn)標(biāo)識碼：A 文章編號：1674-098X（2017）03（b）-0120-02

Calibre是美國mentor公司開發(fā)的一款深亞微米集成電路驗(yàn)證工具，它分為DRC（design rule check，用于檢測版圖圖形是否符合代工廠的工藝要求），LVS（Layout Versus Schematic，用于對比版圖和電路的一致性），ERC（Electronics Rule Checking，用于提取版圖中的寄生參數(shù)以便進(jìn)行仿真），ANT（Antenna，用于檢查版圖中的天線效應(yīng)），DFM（Design for Manufacturer，可制造性設(shè)計(jì)）等若干模塊，Calibre工具的驗(yàn)證文件使用其獨(dú)有的編程語言編寫而成，這是一種具有高度函數(shù)化功能的語言，該文將從DRC和LVS規(guī)則驗(yàn)證文件入手，介紹它們的一般框架結(jié)構(gòu)以及對于驗(yàn)證很有用處的一些語句的編寫。

1 Calibre驗(yàn)證文件的基本框架結(jié)構(gòu)

通常情況下，DRC與LVS的驗(yàn)證文件是各自獨(dú)立編寫的，但也有極少數(shù)的工藝廠從方便角度考慮會將這兩種驗(yàn)證功能集中于同一個文件之上。

在驗(yàn)證文件的開頭，一般是開關(guān)定義語句，格式為：#DEDINE與#IFDEFINE。

如：#DEFINE mimcap_1p0，這個開關(guān)定義了是否使用某種電容，而如果后面將使用這種電容，則由#IFDEFINE mimcap_1p0語句來完成這項(xiàng)功能。

接下來是環(huán)境參數(shù)設(shè)置語句和DRC，LVS的一些特有設(shè)置，前者定義了參與驗(yàn)證的文件類型、路徑，電容電阻度量單位等，而后者則規(guī)定了驗(yàn)證過程中需要遵守的一些基本運(yùn)行法則，如版圖是否檢查格點(diǎn)大小與銳角圖層，是否保證端口名稱與大小寫的精確匹配，是否濾去版圖中的DUMMY器件等。這之后，是定義版圖原生層次與產(chǎn)生衍生層次的語句。

整個驗(yàn)證規(guī)則文件中最重要的檢查版圖繪制規(guī)則（DRC）和進(jìn)行版圖與電路比較（LVS）的主體程序則在此之后編寫。

規(guī)則文件的最后是檢查版圖電氣連接的語句。

2 Calibre編程語言的命令簡介

Calibre具有一些高度函數(shù)化功能的命令，它的編程命令大致可以分為3類：命令型語句，如LVS FILTER，這條語句定義了在驗(yàn)證過程中可以濾去的器件類型；邏輯運(yùn)算語句，AND，OR，XOR，NOT，它們利用邏輯運(yùn)算來生成圖形；圖形描述性語句，如length layer，它選定了長度符合要求的相應(yīng)圖形的邊緣。Calibre利用后兩種命令語句的組合來產(chǎn)生衍生圖層或是進(jìn)行復(fù)雜的圖形運(yùn)算，這其中最常見的命令定義如下：

INT，EXT，ENC。

3 若干Calibre DRC和LVS驗(yàn)證語句的編寫

大部分工藝廠提供的規(guī)則文件只有最基本的驗(yàn)證命令，但很多對于提高電路流片成功率非常重要的的語句卻并不包含在內(nèi)，接下來該文就將介紹一些能提高驗(yàn)證效率和流片可靠性的語句編寫方法。

3.1 檢查懸浮線的語句

懸浮線指的是芯片上沒有與電源或地形成直流通路的懸空部分，一般分為兩種，金屬懸浮線以及多晶硅懸浮線，但不論是哪種懸浮線，在進(jìn)行離子刻蝕的過程中，它們都可能吸引大量的電荷積聚其上，這樣就會產(chǎn)生很多危害，比如改變周邊器件的電學(xué)特性甚至擊穿柵氧結(jié)構(gòu)。因此，在LVS文件中添加檢查懸浮線的驗(yàn)證語句就顯得十分重要了，它既可以查找所有的懸浮線，又可以分門別類地查找各個圖層，命令如下：

PATHCHK ！LABELED //查找一切懸浮線（包括為補(bǔ)充金屬密度而添加的DUMMY金屬）。

PATHCHK ！LABELED poly //查找懸浮的多晶硅。

PATHCHK ！LABELED m1 //查找懸浮的第一層金屬。

PATHCHK ！LABELED m2 //查找懸浮的第二層金屬。

PATHCHK ！LABELED NOFLOAT //查找不包含DUMMY金屬在內(nèi)的其他一切懸浮線。

3.2 檢查金屬線寬度的語句

寬金屬線在各個工藝廠定義不盡相同，但一般認(rèn)為寬度超過10 μm的金屬線就可以被視作寬線，這些線需要在沿著電流流動的方向上開槽，這些槽也被稱為SLOT。過寬的線一般存在幾個危害，一是增大了局部金屬的密度，容易造成刻蝕不干凈；二是寬線在進(jìn)行平整化工藝時會比其他地方更易形成凹陷的區(qū)域，這樣就會改變線路寄生電容和電阻參數(shù)，影響芯片性能；三是電流具有趨膚效應(yīng)，SLOT所形成的槽更容易分散電流，這樣也在某種程度上減小了電遷移發(fā)生的可能性。檢查寬金屬線的語句示例如下：

X = Metal WITH WIDTH > 10 //這條語句用于找出一切寬度大于10 μm的金屬線。

3.3 添加金屬DUMMY的語句

需要添加金屬DUMMY的場合一般發(fā)生在芯片中金屬密度不足的情況下。金屬密度不足是可能造成平整化工藝后芯片表面不平坦的原因之一，這種問題帶來的直接后果就是電路寄生電容和電阻電學(xué)參數(shù)的漂移。一般情況下，添加金屬DUMMY的工作是在提交了版圖數(shù)據(jù)之后由工藝廠代為完成的，不過，如果設(shè)計(jì)公司從電路性能考慮，對于芯片金屬密度有著更為特殊的要求，那么由自己完成金屬DUMMY的填充將是非常理想的。該文將以金屬層為例，介紹添加金屬DUMMY的語句。

Layer map layer1 [datatype] type1 layer2 // 映射語句layer map用來給gds或者database文件中的圖層號在驗(yàn)證文件中分配一個新的層號，以方便后續(xù)的圖層運(yùn)算，其中，layer1和type1分別是gds或database中的圖層號與數(shù)據(jù)類型號，layer2則是驗(yàn)證文件中新生成的圖層號，比如：

Layer map 42 datatype 0 6163 //在驗(yàn)證文件中給金屬層分配新的層。

Layer metal 6163 //號。

Layer map 64 datatype 0 8357 //給生成層分配層號，在此層次覆蓋Layer area 8357 //的區(qū)域內(nèi)，DUMMY陣列將會產(chǎn)生。

//Variable命令用于定義變量，其格式為variable name value，該文用它來規(guī)定DUMMY金屬矩形的大小和間距。

Variable metaldummyW width //用于定義DUMMY矩形的寬度。

Variable metaldummyL length //用于定義DUMMY矩形的高度。

Variable offdummyX x //用于定義偏移量，以此來調(diào)整。

Variable offdummyY y // DUMMY陣列的松散度。

//最終芯片中生成的DUMMY將是依照上述各變量定義而成的金屬矩形所組成的陣列。陣列的定義由shift和rectangle命令共同完成。

//shift命令用來產(chǎn)生相對原圖層具有特定偏移量的新圖層，其格式如下：

Shift layer by x y //x y即為規(guī)定的偏移量。

//rectangles語句用于生成矩形陣列，它的定義如下所示：

Regtangles width length widthspace lengthspace inside of layer area_name

//width和length分別是生成的矩形的寬度和高度，widthspace和lengthspace則分別定義了陣列中矩形與矩形之間的橫向及縱向間距。利用之前variable命令所定義的各個變量和圖層映射命令定義的生成層，最終產(chǎn)生DUMMY陣列的語句如下：

Dummy = shift（Rectangles metaldummyW metaldummyL metaldummyW+ offdummyX metaldummyL+ offdummyY inside of area） by metaldummyW metaldummyL

//最后，利用copy和drc check map命令將之前生成的矩形陣列轉(zhuǎn)變?yōu)間ds格式的數(shù)據(jù)并最終輸出。

Dummy{copy dummy}drc check map dummy 42 0 aref metaldummy metaldummyW metaldummyL

//copy命令的作用是把計(jì)算后的圖型轉(zhuǎn)變?yōu)間ds格式，drc check map則規(guī)定了gds數(shù)據(jù)的輸出結(jié)構(gòu)。上述命令中，42 0再次表明了金屬層在gds格式中的圖層號和數(shù)據(jù)類型號，aref是一種能有效減少數(shù)據(jù)占用空間的輸出格式，metaldummy則是最終輸出gds的文件名稱。

//利用DRC驗(yàn)證的運(yùn)行方式，將上文所述語句作為規(guī)則輸入，就能得到最終包含DUMMY金屬陣列的gds文件。

4 結(jié)語

該文介紹了mentor公司驗(yàn)證工具Calibre所使用規(guī)則文件的組成結(jié)構(gòu)和語言特點(diǎn)，提供了若干能有效提高后端工作效率和流片成功率的驗(yàn)證語言的編寫方法，希望能對廣大后端工程師有所幫助。

參考文獻(xiàn)

[1] （美）黑斯廷斯.模擬電路版圖的藝術(shù)[M].2版.張為，譯.電子工業(yè)出版社，2007.

[2] Standard Verification Rule Format[Z].Mentor Graphics，2009.