車用微機電傳感器的應用及發(fā)展趨勢

微機電系統傳感器在車輛系統扮演著越來越重要的角色，其能夠使車輛根據駕駛員的意圖做出相應的反應，并且更智能、更精確、更快速。一款成功的傳感器的基本條件是尺寸、功能性、能量消耗和成本等元素實現最優(yōu)配合。精密制造業(yè)的崛起和專用集成芯片技術的迅速發(fā)展為微機電傳感器的大規(guī)模應用奠定了基礎。

2010年車用微機電傳感器有著17億美元的市場并保持10%的增長率（2009～2014年）。微機電傳感器包括加速度傳感器（用于安全氣囊和ESP系統）、角速度傳感器（用于車身穩(wěn)定性控制、導航和側翻感測）和壓力傳感器（用于發(fā)動機管理系統）。

微機電傳感器市場的驅動力主要是愈發(fā)完善的汽車法規(guī)要求和對汽車舒適性的不斷追求。其市場主要被幾家大型公司壟斷，博世公司為其中規(guī)模最大的公司，2010年博世公司生產了4000萬個控制單元。

本文指出微機電傳感器市場的發(fā)展趨勢：①傳感器融合，如有多個系統需要車輛運動的參數，設計人員可利用已有的ESP系統采集的信號輸出給其它系統，以節(jié)省成本。②將其它系統集成到ECU，如現有的ESP系統有獨立的控制單元，隨著傳感器和芯片等體積的大幅減小，ESP控制單元可以集成到整車ECU中。③系統融合，如ESP系統可以集成到主動懸架控制系統，以更好地保證車輛動力學特性。④微機電傳感器在汽車產業(yè)以外的行業(yè)迅速發(fā)展，如智能手機。

Dr.Jiri Marek. International Symposium on VLSI Technology, Systems and Applications（VLSI-TSA），2011.

編譯：劉超