王明洋

摘要：晶圓制造工廠中的制造部Delivery的角度，都需要特別注意產(chǎn)品交貨期Forecast Date ，進而判斷是否有delay交期，以往估算在制品的產(chǎn)品交貨期是用“剩下待完成的黃光層數(shù)×預(yù)估的黃光一層生產(chǎn)天數(shù)”求出產(chǎn)品交貨期。但此種方法常常有誤差較大，不符合我們所有的需要，激起我們?nèi)ニ伎几m當(dāng)、更精準(zhǔn)預(yù)測產(chǎn)品交貨期Forecast Date的方法。

關(guān)鍵詞：產(chǎn)品交貨期；晶圓制造；黃光層數(shù)

中圖分類號：F406 文獻標(biāo)識碼：A 文章編號：1009-2374（2013）17-0160-02

1 概述

Delivery on time是制造部的重要職責(zé)，所以一些特別的貨需要知道精準(zhǔn)的產(chǎn)品交貨時間以告知客戶，或 plan pull in schedule或判斷是否提升生產(chǎn)在制品priority，以往估算在制品的產(chǎn)品交貨期是用“剩下待完成的黃光層數(shù)×預(yù)估的黃光一層生產(chǎn)天數(shù)”求出產(chǎn)品交貨期，但是整個生產(chǎn)過程中，黃光一層生產(chǎn)天數(shù)是不相同的，此種方法的誤差較大，不符合我們所有的需要，我們才想用另外的做法來更精準(zhǔn)預(yù)測產(chǎn)品交貨期Forecast Date。我們根據(jù)process time前后段的層次中完成黃光一層的所實際生產(chǎn)天數(shù)不同以及前后段每層的Stage數(shù)不同的特點，我們要采取不同階段用不同的變量Factor進行合理化預(yù)估 ，通過實際data的比較，不同階段采用不同的變量的算法得到的預(yù)估出貨時間更為

精準(zhǔn)。

2 應(yīng)用與說明

估計在制品的出貨時間，我們可以通過下面公式計算：

Forecast out date = 目前時間+∑plan step time

=目前時間 + ∑ （theoretical step run time）×（給定變量值 a ）

這里的“theoretical step run time”我們直接用MES table中給定的每個part的值，忽略片數(shù)不同對run time 的影響。

在“給定變量值a”選取用何種方法的問題上，我們有三種不同的變量可以選擇，分別是：cycle time per layer（C/T，即生產(chǎn)每兩道黃光制程之間的所用天數(shù)） ；TR（每一片產(chǎn)品每天通過的stage數(shù)，即以stage為單位的速度）；X_Ratio（主機臺生產(chǎn)時間與所有R/Q/H時間的比值），這里首先我們要改變一個以往的錯誤觀念，并且要根據(jù)實際的data來做選擇，如下表1所示。

這是某工廠2011/9～2011/11的數(shù)據(jù)，從表中我們可以看到，并不是像以往認(rèn)為的那樣，后段制程的C/T就比較短，雖然后段基本沒有run time較長的Diffusion制程，相對theoretical step run time較短，但后段每個layer包含的stage數(shù)相對更多，這樣精算到C/T就差異很大了。另外，從data中

可以看到，G4這段的不同part的每個layer的stage數(shù)差異不大，所以建議處于G4的在制品用給定的T/R值作forecast當(dāng)在制品到G5以后，這時需要對Out forecast date的精確度的要求就更高了，因為這時僅有2～3層黃光要過，不同的產(chǎn)品往往后段差異很大，例如有無BG制程，有無PD制程等，這時相差1～2 Stage的制程卻會相差20%～30%的process time，所以此時應(yīng)該用X_Ratio作為“定變量值a”更為合適，X_Ratio會考慮到每個step的不同run time另外，在產(chǎn)品投片時作的wafer out plan，是針對制造部整體的生產(chǎn)情況而言的，而通常是以C/T target為基礎(chǔ)的，C/T是整體性較強的指標(biāo)，比較概括，而SA、PC等接單和Commit交期都沒有必要考慮精細到process step的差異，以一般通用C/T為參考。

總之，G1 & G2 & G3∶（給定變量值 a ） = C/T

G4∶（給定變量值 a ） = TR

G5∶給定變量值 a ） = X_Ratio

產(chǎn)品離交期越近時，做預(yù)估所用的變量需要越細致。

3 實例結(jié)果與討論

用來計算的報表畫面如圖1所示：

圖1

該系統(tǒng)也可預(yù)計在制品到達每個step的時間，除了預(yù)估出貨時間外，另外可以預(yù)估各站何時會到站，當(dāng)有PE設(shè)future hold待處理時，可以參考此報表預(yù)估的時間，提前告知PE何時會到站，便于提前安排時間。

以這種方式算出的產(chǎn)品交貨期forecast date比舊有方式只用C/T計算求出的出貨時間更為可靠、精確。舉例來說ABCDEF.1用舊的方式，剩下2層，預(yù)估C/T=1.0，算出應(yīng)該是2/17 13∶20出，新的方法算預(yù)估X_Ratio=2.4算出2/18 05∶28出貨，而實際出貨時間是2/18 07∶30。舊的方法誤差13 hrs，新方法誤差2hrs，更為精確。

4 結(jié)語

此方法代替以往的算法求出的時間更為精準(zhǔn)，我們能更有信心地告訴客戶預(yù)估出貨時間。經(jīng)多次實際應(yīng)用和驗證后，我們預(yù)估的結(jié)果與實際的結(jié)果誤差在一天以內(nèi)，比以往多達三天的誤差精確更多，進一步證明了我們的結(jié)論：產(chǎn)品離交期越近時，做預(yù)估所用的變量需要越細致。即由CT → TR → X-ratio 遞進的Factor選擇方法，這一方法將是更為精準(zhǔn)地預(yù)測產(chǎn)品交貨期 Forecast Date的方法。

作者簡介：王明舉，上海交通大學(xué)機械與運力工程學(xué)院工程碩士生。