上海卓晶半導體科技有限有限公司（Shang-Hai Bestity Semiconductor Technology Co.,Ltd以下簡稱BESTITY）位于張江高科技園區(qū)，是一家自主研發(fā)生產(chǎn)高精度高品質(zhì)半導體制造、LED制造設備的高科技企業(yè)，公司已經(jīng)申請多項專利。目標是為客戶提供性價比更好的設備。

BESTITY公司擁有一批在半導體設備制造行業(yè)有多年經(jīng)驗的員工，在自動控制、軟件控制及機械設計方面擁有雄厚科研實力，并能根據(jù)客戶的需求進行非標設備的設計和制造能力。公司首個自主研發(fā)產(chǎn)品——LED基片平整度翹曲度檢測分選機各項技術指標達到國際先進水平，填補國內(nèi)空白。本產(chǎn)品是對襯底片逐片檢測分選的高精度、高效率設備，是為提高最終產(chǎn)品良率、降低成本而開發(fā)的新概念的產(chǎn)品?？梢詭椭鶳SS生產(chǎn)廠提高良率20%以上，對于襯底制造的廠家，本產(chǎn)品亦可幫其高效篩選出合格片里面的高規(guī)格片子(一般為10%)。見圖1。

關鍵技術：

圖1 整機圖

1）使用激光位移傳感器檢測技術，通過無接觸檢測技術，能有效減少對基片的污染，損傷。

2）通過上下位機設計，能夠有效提高生產(chǎn)效率。上位機主要進行數(shù)據(jù)處理，下位機主要進行運動控制和IO處理。

3）采用多片盒結(jié)構(gòu)，根據(jù)檢測結(jié)果定義不同片盒來放置檢測后的基片，方便客戶進行刪選或下道工序。

4）自主研發(fā)基于PC的多線程上位機軟件，可以實時顯示當前檢測結(jié)果并能以3D圖顯示結(jié)果。出現(xiàn)異常情況時，可自動及時提醒操作員。

5）通過嚴謹?shù)臋C械設計和計算機仿真技術保證系統(tǒng)剛性、穩(wěn)定性和可靠性。

產(chǎn)品性能優(yōu)勢：

1）新概念：a、集檢測與分選于一體是本產(chǎn)品一大創(chuàng)新，填補國內(nèi)空白，與國外設備（僅有檢測沒有分選功能）也有很大不同；b、結(jié)合光刻工藝的要求，更加貼近實際生產(chǎn)。

2）高效率：該設備能夠?qū)崿F(xiàn)（4英寸）100片/h的檢測效率，相對國外同類設備效率是60片/h（不含分選功能），客戶的投資回報率更高。

3）方案合理：有效地將光刻機中的技術創(chuàng)造性地借鑒過來，精度高，可靠性好。

4）高精度：廠家對襯底片的檢測精度要求是um級，我們檢測精度為0.1um，和國外廠家基本一致。

5）檢測方式：掃描檢測更加精細化，符合光刻工藝的要求。

6）兼容性好：可測試2～4英寸的襯底片，稍作擴充能達到對6英寸襯底片的測試?？梢耘渲贸?、4、5、6多個片盒裝載系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。

7）準確率高：通過逐片檢測解決了抽檢造成的隨機性誤差，掃描檢測提高了LTV的準確性。

8）功能齊全：除平整度的檢測分選外，本產(chǎn)品還可用于翹曲度的檢測等沉底檢測的常規(guī)功能。