藉著中國大陸半導(dǎo)體和平板顯示市場近幾年的繁榮之勢，海德漢積極投身開拓中國電子設(shè)備制造和FPD市場。2012年3月20-22日，在上海新國際博覽中心E1館1213展位，海德漢將帶著旗下針對半導(dǎo)體與平板顯示生產(chǎn)設(shè)備行業(yè)的最新產(chǎn)品及先進(jìn)技術(shù)亮相SEMICON/FPD China 2012。

在高產(chǎn)量加工過程中能保持持續(xù)的高質(zhì)量和高精度是高效生產(chǎn)的關(guān)鍵。為此，海德漢提供大量具有高質(zhì)量信號輸出的直線光柵尺和角度編碼器的選擇，確保定位精度準(zhǔn)確。得益于它們面向?qū)嶋H應(yīng)用的機(jī)械結(jié)構(gòu),實(shí)用性的高精度和可定義的溫度特性,使海德漢光柵尺或和角度編碼器能確保滿足不同測量任務(wù)和安裝條件要求。

SEMIECON/FPD 2012 E1館1213展位

敞開式增量直線光柵尺 LIF 400

精度高和安裝簡單

應(yīng)用

●半導(dǎo)體后端生產(chǎn)設(shè)備

●計(jì)量儀器特點(diǎn)

●緊湊型讀數(shù)頭和光柵尺

●PRECIMET背膠固定，安裝簡單

●抗污染能力較強(qiáng)

●限位開關(guān)和回零軌技術(shù)參數(shù)

●玻璃基體或Zerodur玻璃陶瓷基體的SUPRADUR相位光柵

●信號周期 4μm

●精度等級 ± 3μm

●典型位置誤差

單信號周期內(nèi) ±0.04μm

●測量長度 至1020mm

●接口 1VPP或TTL

敞開式增量直線光柵尺 LIDA 400

用于高速運(yùn)動(dòng)和大測量范圍

應(yīng)用

●半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)和檢測設(shè)備

●PCB電路板組裝機(jī)

●測量機(jī)特點(diǎn)

●運(yùn)動(dòng)速度快

●測量長度大

●安裝公差大

●限位開關(guān)

●多種型號可供選擇技術(shù)參數(shù)

●鋼帶，玻璃或玻璃陶瓷基體的METALLUR光柵

●信號周期 20μm

●測量步距 至0.05μm

●精度等級 至±5μm

●典型位置誤差

單信號周期內(nèi)± 0.2μm

●測量長度 至30m

●接口 1VPP或TTL

無內(nèi)置軸承增量式角度編碼器

玻璃圓光柵碼盤/輪轂總成

應(yīng)用

●計(jì)量儀器

●高速旋轉(zhuǎn)軸特點(diǎn)

●尺寸緊湊

●高精度

●信號誤差補(bǔ)償技術(shù)參數(shù)

●玻璃基體的METALLUR光柵尺

●信號周期數(shù) 9000/18000

●系統(tǒng)精度 ±5/±3角秒

●直徑 外徑 71/150mm

內(nèi)徑 25/95mm

●接口 1VPP或TT

系統(tǒng)安全要求日益提高，網(wǎng)絡(luò)滲透日趨深入，因此新機(jī)器和新系統(tǒng)的要求也更加嚴(yán)格。

海德漢公司帶有絕對位置信號輸出的光柵尺和編碼器在提高生產(chǎn)和加工過程的效率和可靠性方面發(fā)揮著重大作用，幫助用戶在保持質(zhì)量穩(wěn)定的同時(shí)提高產(chǎn)量。高分辨率的特點(diǎn)使這些編碼器能準(zhǔn)確控制速度，因此能提高速度穩(wěn)定性和提高定位特性。

敞開式絕對直線光柵尺 LIC 4000

精度高和測量范圍大

應(yīng)用

●半導(dǎo)體工業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備

●PCB電路板組裝機(jī)

●測量機(jī)

●直接驅(qū)動(dòng)特點(diǎn)

●大測量范圍的絕對位置值

●高分辨率

●結(jié)構(gòu)緊湊

●安裝和診斷簡單技術(shù)參數(shù)

●有絕對刻軌的METALLUR鋼帶

●分辨率 最小至 0.001μm（1nm）

●精度等級 達(dá)±5μm

●典型位置誤差

單信號周期內(nèi) ±0.08μm

●測量長度 至27m

●運(yùn)動(dòng)速度 至8m/s

●接口 EnDat 2.2

絕對式模塊旋轉(zhuǎn)編碼器 ECN 1123/EQN 1135

單圈/多圈版

應(yīng)用

●伺服電機(jī)反饋系統(tǒng)

●機(jī)械手應(yīng)用

●一般自動(dòng)化系統(tǒng)特點(diǎn)

●結(jié)構(gòu)緊湊

●安裝簡單

●功能安全技術(shù)參數(shù)

●單圈測量步距數(shù) 8388608(23bits)

●分辨率（EQN 1135）4096(12bits)

●系統(tǒng)精度 ±60''

●接口 EnDat 2.28MHz時(shí)鐘頻率

●安全等級 SIL 2，EN 615083級 PL d，EN ISO 13849-1:2008

●供電電壓 DC 3.6至14V