胡 麗,宋文愛(ài)
(中北大學(xué)信息與通信工程學(xué)院,山西太原 030051)
CCD器件按其感光單元的排列方式分為線性CCD和面陣CCD兩類,但無(wú)論是線性CCD還是面陣CCD,由于其固有的物理特性、工作機(jī)理等原因以及芯片結(jié)構(gòu)、制作工藝等的限制,CCD像素精度不能做得很高。影響CCD測(cè)量精度的因素主要有:CCD像元的制造誤差,CCD對(duì)光照度的分辨率,A/D轉(zhuǎn)換的精度,照明系統(tǒng)的不穩(wěn)定性,CCD驅(qū)動(dòng)電路的附加噪聲,成像系統(tǒng)調(diào)焦誤差,成像系統(tǒng)的誤差,外界環(huán)境的影響以及圖像處理水平和軟件算法優(yōu)劣等。
本文以TCD132D為例,根據(jù)線性CCD的基本工作原理及測(cè)量系統(tǒng)工作原理,從分析CCD輸出信號(hào)特征出發(fā),從硬件及軟件兩方面介紹了提高線性CCD測(cè)量精度的方法。
測(cè)量裝置主要由照明系統(tǒng)、CCD傳感器、視頻信號(hào)初級(jí)處理、信號(hào)采集、微處理器、顯示系統(tǒng)以及電源和外圍電路組成,如圖1所示。
圖1 系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
照明系統(tǒng)產(chǎn)生均勻的平行光,將被測(cè)件被照明后成像在CCD光敏面上,由CCD傳感器輸出的原始視頻信號(hào)通過(guò)濾波、放大等初級(jí)處理送入視頻信號(hào)采集系統(tǒng),對(duì)采集后的信號(hào)再送入微處理器進(jìn)行計(jì)算處理。
在實(shí)際運(yùn)用中,當(dāng)確定CCD的型號(hào)后,影響測(cè)量精度的主要因素包括:(1)光源的選擇;(2)測(cè)試過(guò)程中外界環(huán)境的影響;(3)后期的數(shù)據(jù)處理。前兩個(gè)因素是決定CCD能否實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量的前提,而后期的數(shù)據(jù)處理是得到精確數(shù)據(jù)的關(guān)鍵之一。
在硬件方面,影響系統(tǒng)測(cè)量精度的主要是光源成像系統(tǒng),線性CCD傳感器件和AD轉(zhuǎn)換器。
一個(gè)比較理想的照明系統(tǒng)可以提高整個(gè)系統(tǒng)的分辨率,簡(jiǎn)化軟硬件設(shè)計(jì)方案,提高檢測(cè)效率和檢測(cè)精度。但是,照明系統(tǒng)的設(shè)計(jì)是比較復(fù)雜的,要考慮的因素比較多,比如光強(qiáng),光的均勻度、偏振方向和入射方向;光源的大小和形狀、入射方式和背景;另外還有考慮被測(cè)物體的光學(xué)特性、工作距離、物體大小、發(fā)光器件特性、速度匹配和信息載入的方式等。在具體應(yīng)用中還要考慮光源的波長(zhǎng),比如對(duì)感光材料進(jìn)行測(cè)量時(shí),為了不傷害被測(cè)物的表面功能,光源的波長(zhǎng)要大于940 nm[1-2]。所以在具體應(yīng)用中要分析具體情況選擇設(shè)計(jì)較為理想的光源。
CCD器件的噪聲主要有散粒噪聲、暗電流噪聲和KTC噪聲,另外還存在低頻噪聲和寬帶白噪聲[3]。抑制CCD噪聲的一般方法:
(1)對(duì)于散粒噪聲,應(yīng)用傳統(tǒng)的基于傅里葉變換的信號(hào)去噪聲方法,在處理信號(hào)和噪聲的頻帶重疊部分盡可能小時(shí),起到濾除噪聲的作用。但當(dāng)信號(hào)與噪聲頻帶重疊部分很大時(shí),這種方法就無(wú)能為力了。一種更好的方法是利用小波理論構(gòu)造一種既能降低圖像噪聲又能保持圖像細(xì)節(jié)信息的算法。
(2)對(duì)于暗電流噪聲,對(duì)于各像元暗電流平均的CCD來(lái)說(shuō),如果在像元陣列的起始處有少量啞元,則對(duì)其輸出信號(hào)采樣存儲(chǔ),并與后續(xù)有效像元號(hào)的輸出信號(hào)的相減以去除暗電流噪聲。必須保證兩次采樣的積分時(shí)間和溫度相同。對(duì)于含有暗電流尖峰的CCD,由于尖峰總出現(xiàn)在固定像元位置,因此可以預(yù)先記錄其位置及大小,每次采樣到這個(gè)像元時(shí),與其相減即可去除暗電流尖峰。而且暗電流與電荷轉(zhuǎn)移時(shí)間成正比,故需要盡量減小CCD的電荷轉(zhuǎn)移時(shí)間。
(3)對(duì)于KTC噪聲,采用相關(guān)雙采樣CDS技術(shù),不僅可以較好地濾除KTC噪聲,而且對(duì)低頻噪聲(1/f噪聲)也有一定的濾除作用,此外在CDS理論基礎(chǔ)上還發(fā)展了微分采樣法、反射延遲法和相關(guān)四采樣法等。
模數(shù)轉(zhuǎn)換電路是系統(tǒng)設(shè)計(jì)的核心部分之一,它決定采樣的精度和速度。AD轉(zhuǎn)換器是測(cè)量系統(tǒng)的一個(gè)重要器件。為了識(shí)別AD轉(zhuǎn)換器采集的數(shù)據(jù)和CCD像元的數(shù)據(jù),AD的轉(zhuǎn)換時(shí)鐘必需與線性CCD掃描結(jié)束時(shí)的時(shí)鐘同步,因此在選擇AD轉(zhuǎn)換器的時(shí)候必須以線性CCD的參數(shù)為參考。AD轉(zhuǎn)換器的性能是決定采樣的速度和精度的關(guān)鍵,位數(shù)越高,采樣頻率越高,得到的數(shù)據(jù)精度越大,數(shù)據(jù)量也越大。
線性CCD的驅(qū)動(dòng)電路與線性CCD工作的穩(wěn)定性直接相關(guān),也與采集信息的信號(hào)直接相關(guān),所以必需要設(shè)計(jì)一個(gè)優(yōu)良的驅(qū)動(dòng)電路以保證線性CCD的光電轉(zhuǎn)換達(dá)到最佳效果。目前來(lái)說(shuō),CPLD驅(qū)動(dòng)方法是比較好且發(fā)展前景比較廣的驅(qū)動(dòng)方法。
圖2 軟件處理流程圖
驅(qū)動(dòng)電路的設(shè)計(jì)使線性CCD產(chǎn)生圖像信號(hào)。信息采集的準(zhǔn)確度直接影響著系統(tǒng)的測(cè)量精度。目前采用較多的是相關(guān)雙采樣法[4-6]。下面給出三種典型的相關(guān)雙采樣電路。
(1)雙相關(guān)采樣法:原理如圖3,在復(fù)位期間,對(duì)復(fù)位電平進(jìn)行第一次采樣,使S2短時(shí)間閉合,C2電容保持的電壓為復(fù)位電平(KTC噪聲、復(fù)位噪聲)。在信號(hào)輸出期間,進(jìn)行第二次采樣,使S1短時(shí)間閉合,C1電容上的電壓為KTC噪聲、復(fù)位噪聲和有用視頻信號(hào)的疊加。兩次采樣間隔為Tg。兩次采樣值相減后得到的信號(hào)電平為輸出信號(hào)。在本信號(hào)輸出周期結(jié)束前,輸出有效信號(hào)。雙相關(guān)采樣電路的RC常數(shù)較小,采樣點(diǎn)應(yīng)盡可能選取復(fù)位電平或信號(hào)電平的穩(wěn)定點(diǎn)。其本身不具有低通濾波特性,應(yīng)在它之前加低通濾波器限制帶寬。
圖3 雙相關(guān)采樣電路原理
(2)雙斜積分法:雙斜積分法的電路原理如圖4所示,在輸出信號(hào)周期的開(kāi)始S3關(guān)閉,積分電容C放電清零;在復(fù)位期間S1閉合,S2斷開(kāi),復(fù)位電平(KTC噪聲、復(fù)位噪聲)經(jīng)過(guò)一反向器后對(duì)其進(jìn)行積分;在信號(hào)輸出期間,S2閉合,對(duì)疊加有KTC噪聲、復(fù)位噪聲的有用信號(hào)電平進(jìn)行正向積分。在輸出周期結(jié)束前積分結(jié)束,系統(tǒng)輸出電壓為有用視頻信號(hào)。
圖4 雙斜積分法電路原理
(3)鉗位采樣法:鉗位采樣法原理如圖5所示。當(dāng)CCD器件處于復(fù)位狀態(tài)時(shí),鉗位電平Clamp為高電平,將T2柵極鉗位到高電平Vr。當(dāng)CCD器件進(jìn)入信號(hào)采樣狀態(tài)后,延遲一段時(shí)間,使CCD輸出達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài),此時(shí)將鉗位信號(hào)Clamp置為低電平。CCD輸出信號(hào)通過(guò)電容C1、Cs耦合到輸入端。將采樣電平Sample置為高電平T3導(dǎo)通,并保持足夠長(zhǎng)時(shí)間,CCD信號(hào)到達(dá)CH,并對(duì)CH進(jìn)行充電至CCD信號(hào)電平。此時(shí)通過(guò)T4,CCD輸出信號(hào)變?yōu)榭捎?,從Out端輸出。當(dāng)CCD器件復(fù)位信號(hào)跳變?yōu)楦唠娖綍r(shí),采樣電平Sample置為低電平,鉗位電平Clamp置為高電平,系統(tǒng)進(jìn)入下一個(gè)采樣周期。其中,電容網(wǎng)C1、Cs將CCD輸出信號(hào)中的直流噪聲及高頻干擾都濾除了,Out端得到的為信號(hào)電平。由于該采樣電路的鉗位電平、采樣電平都與CCD器件的時(shí)鐘周期及復(fù)位信號(hào)有緊密的相關(guān)性,其更適合于作CCD芯片內(nèi)集成的信號(hào)輸出處理電路。
圖5 鉗位采樣法電路原理
邊緣是圖像的基本特征,圖像邊緣的提取一直是CCD圖像處理的一個(gè)經(jīng)典難題,也是CCD細(xì)分研究的重要方向。圖像邊緣的細(xì)分一般是先考察CCD圖像的某個(gè)像元的灰度值,再以鄰近的灰度值函數(shù)的導(dǎo)數(shù)為基礎(chǔ)進(jìn)行細(xì)分,確定邊緣的準(zhǔn)確位置。在CCD邊緣檢測(cè)細(xì)分研究中,對(duì)動(dòng)態(tài)概率法、調(diào)制解調(diào)法、空間擬合函數(shù)法、多項(xiàng)式插值法等方法進(jìn)行了理論上的分析,從數(shù)學(xué)上推導(dǎo)了這些方法的機(jī)理對(duì)新近發(fā)展的模糊成像法等方法也進(jìn)行了原理介紹和實(shí)驗(yàn)檢測(cè)。
目前使用的像點(diǎn)定位細(xì)分方法大多能使測(cè)量精度達(dá)到亞像元級(jí)精度甚至超像元精度,應(yīng)用比較多的有二值化電平切割法、內(nèi)插法、截至電壓法、按比例求中心法、重心法和階梯法。這些方法是利用目標(biāo)像點(diǎn)的灰度分布特性,內(nèi)插細(xì)分確定目標(biāo)像點(diǎn)的準(zhǔn)確位置來(lái)達(dá)到提高系統(tǒng)的測(cè)量精度的。階梯法是最新的細(xì)分方法,結(jié)合了重心法和二值化法的優(yōu)點(diǎn),并克服其缺點(diǎn),在理論上可以進(jìn)行無(wú)限制的細(xì)分。
對(duì)CCD視頻信號(hào)的處理有兩種方法,歸納起來(lái)就是硬件測(cè)量方法和軟件測(cè)量方法。硬件測(cè)量方法在對(duì)CCD視頻信號(hào)進(jìn)行二值化時(shí)應(yīng)用電壓比較器以閾值電平為基準(zhǔn)截取高低電平,信號(hào)邊緣的確定與閾值電平息息相關(guān)。當(dāng)閾值電平不能很好地反映真實(shí)測(cè)量狀態(tài)時(shí),測(cè)量的精度就得不到保證。如果對(duì)測(cè)量精度有更高的要求時(shí),硬件方法就不能滿足測(cè)量的需要了。而對(duì)CCD輸出的視頻信號(hào)進(jìn)行數(shù)據(jù)采集后,在計(jì)算機(jī)終端應(yīng)用軟件方法處理就可以最大程度地提高測(cè)量精度。這兩種方法在對(duì)信號(hào)處理上存在著根本的不同,硬件方法是通過(guò)由硬件組成模擬和數(shù)字電路對(duì)CCD視頻信號(hào)進(jìn)行濾波放大、電平比較從而得到標(biāo)準(zhǔn)二值化信號(hào);軟件方法是通過(guò)數(shù)據(jù)采集設(shè)備對(duì)經(jīng)過(guò)濾波放大的CCD視頻信號(hào)進(jìn)行信號(hào)數(shù)據(jù)采集,再把數(shù)據(jù)傳輸、存儲(chǔ)到計(jì)算機(jī),然后運(yùn)用軟件處理算法對(duì)所采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理。在處理過(guò)程中,對(duì)所采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行函數(shù)擬合,尋找函數(shù)曲線變化率最大值的辦法來(lái)確定CCD視頻信號(hào)的變化邊界。
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