戴玉 張文喜 孔新新 沈楊翊 徐豪 張曉強(qiáng)

1) (中國(guó)科學(xué)院空天信息創(chuàng)新研究院,北京 100094)

2) (中國(guó)科學(xué)院大學(xué)光電學(xué)院,北京 101400)

光纖點(diǎn)衍射環(huán)形器是激光相干多普勒測(cè)振系統(tǒng)中光纖光路和空間光光路耦合的關(guān)鍵器件,其耦合效率等性能參數(shù)對(duì)測(cè)振系統(tǒng)測(cè)量準(zhǔn)確度和測(cè)量距離的提升具有重要意義.常規(guī)環(huán)形器重合度檢測(cè)采用能量監(jiān)測(cè)法和遠(yuǎn)場(chǎng)重合度監(jiān)測(cè)法,不能對(duì)光纖失配因素進(jìn)行定量分析,環(huán)形器耦合效率的一致性無(wú)法保障.針對(duì)上述問(wèn)題,提出了一種基于低頻外差干涉的相位檢測(cè)技術(shù),利用干涉相位信息進(jìn)行光纖相對(duì)姿態(tài)解算,可有效解決光纖環(huán)形器重合度定量檢測(cè)的問(wèn)題.對(duì)不同光纖相對(duì)姿態(tài)形成的干涉波前進(jìn)行了仿真分析和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,給出了光纖相對(duì)橫向位移、縱向位移和光軸偏離角度與干涉相位PV(peak-to-valley)值、Zernike 系數(shù)和環(huán)形器耦合效率間的規(guī)律,實(shí)現(xiàn)了干涉相位到光纖失配因素的分離解算,解算結(jié)果可指導(dǎo)光纖相對(duì)姿態(tài)的調(diào)整.最后通過(guò)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了該技術(shù)的可行性,結(jié)果表明該技術(shù)對(duì)于光纖橫向位移的檢測(cè)精度優(yōu)于1 μm,為提升光纖環(huán)形器重合度提供了新的檢測(cè)途徑.

1 引言

目前激光相干多普勒測(cè)振系統(tǒng)已廣泛應(yīng)用于航空航天部件測(cè)試[1]、微型電子機(jī)械系統(tǒng)(micro electromechanical system,MEMS)檢測(cè)等領(lǐng)域[2]進(jìn)行研究應(yīng)用,并延伸拓展到偽裝目標(biāo)識(shí)別[3]、激光語(yǔ)音偵聽(tīng)[4]、農(nóng)產(chǎn)品檢測(cè)[5]等領(lǐng)域.激光測(cè)振方法按照是否采用光調(diào)制分為零差[6]和外差[7]兩類,按照光束傳輸媒介分為空間光和光纖兩類.商用測(cè)振系統(tǒng)為減小環(huán)境振動(dòng)和溫度變化等因素,大多采用空間光結(jié)構(gòu),由于系統(tǒng)集成時(shí)光學(xué)元件的偏心和傾斜,空間光光路結(jié)構(gòu)的干涉效率較低.采用光纖結(jié)構(gòu)傳輸系統(tǒng)內(nèi)部光束[8,9],具有干涉效率高、體積小、質(zhì)量小等優(yōu)點(diǎn),但所用環(huán)形器中光纖端面相對(duì)空間位置的偏移會(huì)造成空間光與光纖耦合效率下降,是此技術(shù)應(yīng)用中面臨的難題.

對(duì)于光纖失配造成的耦合效率下降,國(guó)內(nèi)外已有較多研究[10-12],研究主要圍繞光纖端面的傾斜、錯(cuò)位等失配因素對(duì)耦合效率的影響開展分析[13,14],實(shí)際裝調(diào)中以能量法和遠(yuǎn)場(chǎng)重合度監(jiān)測(cè)法為主.能量法是根據(jù)實(shí)際耦合的光功率大小進(jìn)行耦合效率的評(píng)估[15],可以較直接地獲得耦合效率,但無(wú)法檢測(cè)光纖重合度,只能通過(guò)遍歷空間位置獲取最大效率的方式進(jìn)行裝調(diào).遠(yuǎn)場(chǎng)重合度監(jiān)測(cè)法[16,17]可以在視覺(jué)上評(píng)估光纖失配項(xiàng),但無(wú)法定量分析光纖相對(duì)姿態(tài),且由于方法中使用聚焦透鏡,聚焦透鏡與光纖之間的空間位移與旋轉(zhuǎn)又會(huì)引入測(cè)量誤差,造成檢測(cè)精度下降.且遠(yuǎn)場(chǎng)重合度監(jiān)測(cè)法無(wú)法直接分析耦合效率,還需能量法配合驗(yàn)證.

針對(duì)光纖環(huán)形器耦合效率難以升維解算光纖相對(duì)姿態(tài)的難題,提出了一種基于低頻外差干涉波前檢測(cè)技術(shù)的方法,通過(guò)干涉波像差監(jiān)測(cè)光纖端面的失配因素來(lái)源,根據(jù)失配因素及干涉波像差PV(peak-to-valley)值的大小估算耦合效率,根據(jù)波前像差擬合的Zernike 系數(shù)解算光纖相對(duì)姿態(tài).解決了光纖端面之間的相對(duì)橫向位移、縱向位移和光軸角度偏離的檢測(cè)問(wèn)題,為光纖環(huán)形器重合度的提升提供了新的監(jiān)測(cè)手段和裝調(diào)方法.

2 理論模型

2.1 光纖環(huán)形器基本構(gòu)型

光纖干涉結(jié)構(gòu)的激光相干多普勒測(cè)振系統(tǒng)中多采用M-Z (Mach-Zehnder)干涉結(jié)構(gòu),系統(tǒng)中包括激光器、移頻器、光纖耦合器和平衡探測(cè)器等.如圖1(a)所示,光纖中的光經(jīng)準(zhǔn)直聚焦鏡聚焦于被測(cè)的振動(dòng)物體表面,經(jīng)多普勒頻移后的測(cè)量光返回測(cè)振系統(tǒng)中,與參考光干涉,干涉信號(hào)經(jīng)采集解調(diào)處理后得到物體振動(dòng)信息.

圖1 多普勒測(cè)振系統(tǒng)及光纖環(huán)形器示意圖(a)光纖M-Z 式激光相干多普勒測(cè)振系統(tǒng)示意圖;(b) 光纖環(huán)形器示意圖Fig.1.Schematic diagrams of laser Doppler vibration measurement system and fiber circulator: (a)Schematic diagrams of fiber M-Z laser coherent Doppler vibration measurement system;(b) schematic diagram of fiber circulator.

在此系統(tǒng)中,出射至目標(biāo)表面的激光從圖1(b)中的光纖環(huán)形器1 端口出射,經(jīng)光纖環(huán)形器中的反射鏡和偏振分光棱鏡后從2 端口出射,再經(jīng)波片和準(zhǔn)直聚焦鏡到達(dá)目標(biāo)表面,從目標(biāo)表面返回的激光經(jīng)2 端口和偏振分光棱鏡后由3 端口接收,接收的光經(jīng)干涉解調(diào)后得到目標(biāo)表面的振動(dòng)信息.理想情況下1 端口和3 端口的光纖接頭相對(duì)姿態(tài)一致,光學(xué)相對(duì)空間位置重合.但實(shí)際安裝中會(huì)經(jīng)常出現(xiàn)偏移和傾斜等情況.

圖2 分別展示了2 個(gè)光纖相對(duì)姿態(tài)的橫向位移、縱向位移和光軸傾斜情況.針對(duì)不同光纖相對(duì)姿態(tài)采用分離變量法進(jìn)行研究,將橫向位移又細(xì)分為X軸位移和Y軸位移,縱向位移為Z軸位移,光軸傾斜為繞X軸旋轉(zhuǎn)角度.

圖2 光纖相對(duì)姿態(tài)示意圖(a)橫向位移;(b) 縱向位移;(c) 光軸傾斜Fig.2.Schematic diagram of relative position of optical fibers: (a)Transverse displacement;(b) longitudinal displacement;(c) the optical axis tilts around the X-axis.

2.2 基于低頻外差干涉的相位檢測(cè)技術(shù)

檢測(cè)系統(tǒng)原理如圖3 所示,激光器的光經(jīng)1 分2 保偏耦合器后分成2 路,其中一路從光纖輸出后,依次經(jīng)過(guò)光纖環(huán)形器1 端口、反射鏡、PBS(polarizing beam splitting)棱鏡到達(dá)2 端口后,再經(jīng)1 個(gè)線偏振片到達(dá)探測(cè)器;另一路經(jīng)過(guò)低頻外差的聲光移頻器移頻后從光纖環(huán)形器3 端口到達(dá)光纖環(huán)形器中的PBS 棱鏡,再經(jīng)同樣的線偏振片到達(dá)探測(cè)器,兩路光在探測(cè)器靶面上形成干涉圖樣.理想情況下2 個(gè)光纖接頭的相對(duì)姿態(tài)一致時(shí),光纖端面到達(dá)探測(cè)器靶面的光程為L(zhǎng).

圖3 檢測(cè)系統(tǒng)原理圖Fig.3.Schematic diagram of detection system.

考察兩個(gè)光纖端面到達(dá)探測(cè)器面上任意位置P處的場(chǎng)分布,將兩個(gè)光纖端面看成是兩個(gè)發(fā)出基模高斯光束的光源,分析兩個(gè)光源在P處的波動(dòng)情況.

各自到達(dá)P點(diǎn)處的場(chǎng)分布為

其中振幅為

上述公式中可以看出高斯光束的傳輸中振幅、相位都與波矢方向相關(guān),對(duì)于光纖來(lái)說(shuō),端面出射光在空間中分布受到軸向傾斜的影響,給描述此種狀態(tài)下的振幅和相位帶來(lái)不便.采用建立坐標(biāo)系并通過(guò)坐標(biāo)變換的方式,考察兩個(gè)場(chǎng)在探測(cè)器面的分布.以其中一個(gè)光纖端面建立坐標(biāo)系,視為理想光纖端面,該光纖端面的空間位置確定為(0,0,0),波矢方向?yàn)閦軸正向,在此坐標(biāo)系下探測(cè)器靶面中心的空間位置為(0,0,L);另一光纖端面相對(duì)于理想光源存在空間位移和傾斜,空間位置在理想光纖的坐標(biāo)系下為(δx,δy,δz),波矢方向與z軸正向夾角為θ.考察兩個(gè)光源在探測(cè)器像面上的干涉情況,引入齊次坐標(biāo)進(jìn)行空間位置變換,在理想狀態(tài)的坐標(biāo)軸中,探測(cè)器上任意一點(diǎn)在另一光源的坐標(biāo)軸中位置為P2,則在理想光源坐標(biāo)軸中的位置P1為

其中T為平移變換矩陣,M為旋轉(zhuǎn)矩陣,由于2 個(gè)光纖為同一種光纖,且只考察主光線角度、橫向位移、縱向位移各自對(duì)干涉的影響,矩陣縮放比例為1.通過(guò)坐標(biāo)系變化,得到有角度和位移偏離的光源在探測(cè)器面上的光場(chǎng)分布E2(P(x1,y1,z1),t).

得到E1(P(x1,y1,z1),t)和E2(P(x1,y1,z1),t),即可在同一坐標(biāo)系下的探測(cè)器靶面處得到兩束光的干涉情況,由于采用低頻外差干涉,P點(diǎn)的光強(qiáng)不僅與空間分布相關(guān),還與時(shí)間因子相關(guān).探測(cè)器靶面P點(diǎn)處光強(qiáng)為

與時(shí)間相關(guān)的項(xiàng)為Δωt,Δω 為外差頻率,采用低頻外差5 Hz,探測(cè)器幀頻是外差頻率的5 倍,通過(guò)五步移相法[18]可解調(diào)得到兩束光干涉的相位差信息.

2.3 耦合效率計(jì)算模型

耦合效率η 可以在任意平面之間對(duì)光場(chǎng)進(jìn)行適當(dāng)?shù)淖儞Q[19,20],2 個(gè)光纖端面間的耦合效率可以等效于探測(cè)器靶面處的耦合效率,

根據(jù)光場(chǎng)分布情況,不僅可以得到探測(cè)器靶面上的干涉分布,還可以對(duì)耦合效率進(jìn)行計(jì)算,分析不同光纖失配原因?qū)ο到y(tǒng)耦合效率下降的影響.

3 仿真分析及討論

3.1 橫向位移、縱向位移和光軸夾角對(duì)干涉相位的影響

系統(tǒng)仿真中,采用1550 nm 保偏光纖,光纖模場(chǎng)直徑MFD 為10.5 μm,探測(cè)器靶面距離光纖端面的光程L為80 mm,探測(cè)器靶面尺寸為5.1 mm×5.1 mm,像元大小30 μm.光纖端面的光到達(dá)探測(cè)器靶面位置時(shí),光斑直徑為14.35 mm,可以充滿探測(cè)器靶面.

圖4—圖6 分別為光纖相對(duì)姿態(tài)只含橫向位移(X方向、Y方向)、縱向位移(Z方向)和光軸夾角(繞X軸旋轉(zhuǎn)θ)時(shí),對(duì)耦合效率和干涉波前PV 值的影響.

圖4 橫向位移與耦合效率和波前PV 值關(guān)系曲線(a)X方向橫向位移;(b) Y 方向橫向位移Fig.4.The curves of coupling efficiency and wavefront PV value versus transverse displacement: (a)X-direction transverse displacement;(b) Y-direction transverse displacement.

圖5 縱向位移(Z 方向)與耦合效率和波前PV 值關(guān)系曲線Fig.5.The curves of coupling efficiency and wavefront PV value versus longitudinal displacement (Z-direction).

圖6 光軸夾角(繞X 軸旋轉(zhuǎn))與耦合效率和波前PV 值關(guān)系曲線Fig.6.The curves of coupling efficiency and wavefront PV value versus optical axis angle (rotation about X-axis).

存在位移或是旋轉(zhuǎn)的情況,都會(huì)造成干涉波前PV 值的增大,耦合效率隨干涉波前PV 值的升高而下降,但二者并非為線性反比關(guān)系;耦合效率的下降受到各光纖相對(duì)姿態(tài)因素的影響也不同.各因素對(duì)耦合效率下降的敏感度影響從小到大依次為縱向位移、光軸夾角、橫向位移,其中X方向和Y方向的橫向位移對(duì)耦合效率下降的影響一致.

無(wú)論是X方向還是Y方向,橫向位移與干涉波前PV 值均呈線性增大關(guān)系,且10 μm 的橫向位移導(dǎo)致耦合效率下降至0.5744,波前PV 值為0.411λ.相比而言,縱向位移10 μm 時(shí),耦合效率為0.999,波前PV 值為0.007λ.同樣的偏移量級(jí),縱向位移對(duì)耦合效率的影響可以忽略.兩光纖端面光軸夾角為1°時(shí),耦合效率為0.988,波前PV 值為0.067λ.

圖7 為光纖相對(duì)姿態(tài)包括橫向位移(X=2 μm,Y=3 μm)、縱向位移(Z=5 μm)、光軸夾角(θ=0.5°)同時(shí)存在情況下的干涉圖和相位圖.由于各因素共同影響干涉波前PV,且由于不同相對(duì)姿態(tài)對(duì)耦合效率的影響不一致,只通過(guò)波前PV 值的大小無(wú)法直接判斷光纖相對(duì)姿態(tài),也無(wú)法直接估算耦合效率.

圖7 光纖相對(duì)姿態(tài)不同因素同時(shí)存在時(shí)干涉圖和相位圖(a)干涉圖;(b)相位圖Fig.7.Interferogram and phase diagram of optical fibers with different kinds of alignment errors co-existing: (a)Interferogram;(b) phase diagram.

3.2 光纖重合度與干涉圖Zernike 系數(shù)的關(guān)系

為了解決波前PV 值的大小無(wú)法直接判斷光纖相對(duì)姿態(tài)和估算耦合效率的問(wèn)題,對(duì)干涉相位圖的分析引入Zernike 系數(shù).光纖相對(duì)姿態(tài)不重合引起耦合效率下降的根本原因在于光纖模場(chǎng)不匹配,前述分析中表征光纖模場(chǎng)的幾何分布的光纖性能參數(shù)為模場(chǎng)直徑MFD.因此選用具有正交性和描述圓孔徑特性方面具有對(duì)應(yīng)性的Zernike 多項(xiàng)式進(jìn)行系數(shù)擬合,對(duì)干涉波前相位信息進(jìn)行定量分析.根據(jù)得到的干涉波前相位信息進(jìn)行9 項(xiàng)Zernike多項(xiàng)式擬合,重點(diǎn)分析了Z2—Z5 項(xiàng)系數(shù),得到如圖8—圖11 所示的不同相對(duì)姿態(tài)因素與Zernike 系數(shù)的關(guān)系.

圖8 橫向位移(X 方向)與Zernike 系數(shù)關(guān)系曲線Fig.8.The curves of Zernike coefficiencts versus transverse displacement (X-direction).

圖9 橫向位移(Y 方向)與Zernike 系數(shù)關(guān)系曲線Fig.9.The curves of Zernike coefficiencts versus transverse displacement (Y-direction).

圖10 縱向位移(Z 方向)與Zernike 系數(shù)關(guān)系曲線(a)Z2 和Z3 曲線;(b) Z4 和Z5 曲線Fig.10.The curves of Zernike coefficiencts versus longitudinal displacement (Z-direction): (a)Z2 and Z3 vs.Z displacement;(b) Z4 and Z5 vs.Z displacement.

圖11 光軸夾角(繞X 軸旋轉(zhuǎn))與Zernike 系數(shù)關(guān)系曲線(a)Z2 曲線;(b) Z3 曲線;(c) Z4 曲線;(d) Z5 曲線Fig.11.The curves of Zernike coefficiencts versus optical axis angle (rotation about X-axis): (a)Z2 vs.angle;(b) Z3 vs.angle;(c) Z4 vs.angle;(d) Z5 vs.angle.

從擬合的Zernike 系數(shù)可以看出,X方向的橫向位移量與Z3 項(xiàng)呈線性變化關(guān)系,Y方向的橫向位移量與Z2 項(xiàng)呈線性變化關(guān)系,橫向位移1 μm,Z2 或Z3 系數(shù)變化量為-5.51×10-6,而Z4 和Z5 的變化則在10-19及更小的量級(jí),因而可以根據(jù)Z2 或Z3 的具體數(shù)值定量得到橫向位移距離和方向.

Z方向的縱向位移主要引起Z2,Z3 和Z4 項(xiàng)的變化.如圖10(a)所示,Z方向的縱向位移引起的Z2 和Z3 系數(shù)變化值一致,但是縱向位移變化10 μm 引起的Z2 和Z3 系數(shù)變化量在10-8量級(jí),因而當(dāng)光纖相對(duì)姿態(tài)存在橫向位移時(shí),縱向位移帶來(lái)的系數(shù)變化會(huì)被湮沒(méi).如圖10(b)所示,縱向位移引起的Z4 項(xiàng)的變化量級(jí)為10-11,Z5 項(xiàng)的變化量級(jí)為10-24,Z4 和Z5 可以作為區(qū)分與其他相對(duì)姿態(tài)因素的判斷依據(jù).

光軸θ 會(huì)引起Z2—Z5 項(xiàng)集體變化,當(dāng)光軸夾角變化0.5°時(shí)引起的Z2 和Z3 的系數(shù)變化量級(jí)小于1 μm 橫向位移引起的系數(shù)變化量級(jí),Z4 項(xiàng)又與縱向位移帶來(lái)的變化在同一量級(jí),但Z5 項(xiàng)的變化量級(jí)為10-11,因此,Z5 項(xiàng)可作為是否存在光軸旋轉(zhuǎn)的判斷依據(jù).

圖7(b)的波前相位經(jīng)Zernike 多項(xiàng)式擬合后,與光纖相對(duì)姿態(tài)分別獨(dú)立存在橫向位移(X=2 μm,Y=3 μm)、縱向位移(Z=5 μm)和光軸夾角(θ=0.5°)的情況相對(duì)比,Zernike 第2 至第5 項(xiàng)系數(shù)的數(shù)據(jù)如表1 所示.

表1 不同光纖相對(duì)姿態(tài)對(duì)應(yīng)Zernike 系數(shù)比較Table 1.Comparison of Zernike coefficients corresponding to different kinds of alignment errors.

根據(jù)多重影響因素與單一因素影響對(duì)Zernike系數(shù)的2—5 項(xiàng)對(duì)比可以發(fā)現(xiàn),多重影響因素Z2—Z5 項(xiàng)的系數(shù)近似為各單一因素引起的Z2—Z5 項(xiàng)的系數(shù)之和,在Z2—Z5 項(xiàng)系數(shù)量級(jí)上的偏差不超過(guò)0.01,可以作為光纖相對(duì)姿態(tài)定性和定量分析的依據(jù).

如表2 所示將多重影響因素與單一因素影響對(duì)耦合效率和波前PV 值的對(duì)比,單一因素影響對(duì)波前PV 值影響的累加值為0.2392λ,與多重影響因素的波前PV 值0.2359λ 對(duì)比,偏差在0.0033λ;單一因素影響的耦合效率累計(jì)相乘值為0.9316,與多重影響因素的耦合效率0.9215 相比,偏差在0.01.光纖相對(duì)姿態(tài)耦合效率可以根據(jù)光纖相對(duì)姿態(tài)各單一因素的影響進(jìn)行整體耦合效率的估算.

表2 不同光纖相對(duì)姿態(tài)對(duì)應(yīng)耦合效率和波前PV 值比較Table 2.Comparison of coupling efficiency and wavefront PV value corresponding to different kinds of alignment errors.

4 實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)及測(cè)量結(jié)果

為進(jìn)一步驗(yàn)證理論模型與仿真分析,結(jié)合自研的低頻外差驅(qū)動(dòng)電路和光纖調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)搭建實(shí)驗(yàn)平臺(tái),器材包括1550 nm 激光器、1×2 光纖耦合器、聲光移頻器、環(huán)形器、線偏振片和探測(cè)器,如圖12 所示.

圖12 實(shí)驗(yàn)裝置圖Fig.12.Diagram of the experimental setup.

低頻外差驅(qū)動(dòng)電路的差頻為5 Hz,采用五步移相法解調(diào)相位,探測(cè)器采集頻率為25 Hz.探測(cè)器選用深圳天盈光電IH320 型號(hào)的短波紅外相機(jī),像元尺寸為30 μm,采集圖像區(qū)域大小為5.1 mm×5.1 mm.

光纖調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)具備X,Y,Z方向微米級(jí)調(diào)節(jié)的功能,可以控制光纖的橫向移動(dòng)和縱向移動(dòng).環(huán)形器中的一個(gè)光纖固定在環(huán)形器上,另一光纖由光纖調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)夾持,并經(jīng)其控制移動(dòng),尋找與固定光纖的空間相對(duì)重合位置.根據(jù)干涉條紋調(diào)至波前PV 值小于一個(gè)波長(zhǎng)的范圍內(nèi),得到如圖13(a)所示的干涉相位圖,波前PV 值為0.1338λ.

圖13 實(shí)驗(yàn)獲得的干涉相位圖及仿真圖對(duì)比(a)實(shí)驗(yàn)獲得的干涉相位圖;(b)根據(jù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果擬合Zernike 系數(shù)解算得到的相對(duì)位置信息獲得的仿真干涉相位圖Fig.13.The experimental phase diagram compared with the simulation diagram: (a)Phase diagram obtained by experiment;(b) simulated phase diagram obtained from calculated relative position information based on experimental results fitting Zernike coefficients.

根據(jù)實(shí)驗(yàn)獲得的相位圖進(jìn)行Zernike 系數(shù)擬合,獲得Z2—Z5 項(xiàng)系數(shù),與仿真數(shù)據(jù)進(jìn)行比對(duì),如表3 所示.

表3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與對(duì)應(yīng)Zernike 系數(shù)比較Table 3.Comparison of experimental results and simulation Zernike coefficients.

將實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)獲得的值與仿真數(shù)據(jù)進(jìn)行插值計(jì)算,得到X方向偏差為0.5 μm,Y方向偏差為-1.4 μm,Z方向偏差為42 μm,光軸夾角(繞X軸旋轉(zhuǎn))為-1.1°,此相對(duì)空間位置偏移時(shí)的仿真相位圖如圖13(b)所示.根據(jù)前述仿真分析,此角度光軸夾角引起的Z4 項(xiàng)系數(shù)變化與Z方向位移偏差引起的Z4 項(xiàng)系數(shù)變化在同一量級(jí),由于光纖調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)只具備X,Y,Z方向的微米級(jí)調(diào)節(jié)功能,不具備光軸夾角的調(diào)節(jié)功能,因此實(shí)驗(yàn)中只針對(duì)X和Y方向進(jìn)行橫向位移調(diào)節(jié),得到調(diào)節(jié)后的相位圖如圖14 所示,波前PV 值為0.0212λ.橫向位移糾正后的實(shí)驗(yàn)測(cè)量結(jié)果與仿真系數(shù)比較如表4 所示.

表4 橫向位移糾正后的實(shí)驗(yàn)結(jié)果與對(duì)應(yīng)Zernike 系數(shù)比較Table 4.Comparison of experimental results after transverse displacement correction and simulation Zernike coefficients.

圖14 調(diào)節(jié)后的實(shí)驗(yàn)干涉相位圖Fig.14.Experimental interference phase diagram after displacement correction adjustment.

前述分析中對(duì)耦合效率影響最大是橫向位移(X方向、Y方向),實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)測(cè)量的橫向位移分辨力優(yōu)于1 μm.受限于目前光纖調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)尚不具備繞X軸旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)功能,與Z4 和Z5 項(xiàng)相關(guān)的角度偏離糾正后,才能進(jìn)行縱向位移偏離的糾正.根據(jù)實(shí)驗(yàn)中橫向位移偏離量,結(jié)合光纖重合度與耦合效率的仿真結(jié)果,實(shí)驗(yàn)中橫向偏移量導(dǎo)致的光纖環(huán)形器耦合效率預(yù)計(jì)優(yōu)于0.9894.

5 結(jié) 論

基于低頻外差干涉技術(shù)通過(guò)相位信息的獲取與解算,實(shí)現(xiàn)光纖環(huán)形器重合度的檢測(cè),本文對(duì)其原理及可行性進(jìn)行了分析與實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證.結(jié)果表明,該方法能夠?qū)崿F(xiàn)橫向位移、縱向位移和光軸傾斜的直接檢測(cè),不僅可以用于定性判斷光纖失配的來(lái)源因素,還可以定量分析該項(xiàng)因素的大小,進(jìn)而得到整體耦合效率的估值.經(jīng)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,橫向位移檢測(cè)精度優(yōu)于1 μm.相比于目前既有的檢測(cè)方法,該方法解決了光纖重合度調(diào)節(jié)的量化問(wèn)題,具有較高的測(cè)量精度,檢測(cè)結(jié)構(gòu)及組成緊湊,檢測(cè)成本較低.該方法可拓展到光纖器件與空間光器件配準(zhǔn)、光學(xué)系統(tǒng)像差檢測(cè)和平面波波前檢測(cè)等領(lǐng)域,具有較大的應(yīng)用潛力.