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劉宏文，沈陽和研科技股份有限公司機(jī)械工程師，沈陽五一勞動獎?wù)芦@得者

與微觀世界打交道，在頭發(fā)絲上開槽“畫畫”，劉宏文所從事的職業(yè)，每天都在跟精度較勁，0.002毫米是他所能容忍的最大定位偏差。

劉宏文是沈陽和研科技股份有限公司（以下簡稱“和研科技”）的一名機(jī)械工程師，提高劃片機(jī)的精度是他的主要工作之一。作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的重要一環(huán)，劃片機(jī)的高端機(jī)型曾長期被國外壟斷，其中最重要的一點，就是國產(chǎn)與進(jìn)口在精準(zhǔn)度上存在0.003毫米的差距。這么微小的差距肉眼是看不出來的，但在芯片制造領(lǐng)域，失之毫厘，便會差之千里，“所以我們每天都在與精度較勁，讓誤差降至最低。”劉宏文口中的誤差，是以微米為單位的，將上百個芯片精準(zhǔn)從晶圓上剝離，定位誤差需控制在2微米以內(nèi)。2微米是多少？劉宏文舉了個形象的例子：“1 根頭發(fā)的粗細(xì)是70微米?！?/p>

“早年國產(chǎn)的劃片機(jī)發(fā)展不起來，除技術(shù)問題外，還有一個原因就是沒有客戶愿意給我們試錯的機(jī)會?！眲⒑晡恼f，一張晶圓上擁有幾十個甚至上百個芯片，而芯片的價格從幾十元到上百萬元不等，客戶出于各種考慮，更傾向于購買外國的劃片機(jī)。直至2018年，和研科技成功研制出第一臺12英寸半自動雙軸劃片機(jī)，這一困境才有所變化。

提高劃片機(jī)的切割精度是一個較為前沿的領(lǐng)域。作為機(jī)械工程師的劉宏文不僅要畫圖紙，研究出工藝工序，還要經(jīng)常去實驗室試錯，和工人在一起裝配機(jī)器。為的就是能在千萬個步驟中找到突破口，使定位偏差再下降幾微米。

2020年，劉宏文提出了一個大膽設(shè)想：對劃片機(jī)的噴水罩進(jìn)行提升改進(jìn)。這樣不僅能提高綜合精度，延長刀片壽命，降低刀片工作時的熱度，還能減少芯片的崩邊率，一舉多得。很快，這一想法得到了公司領(lǐng)導(dǎo)的支持，公司為該項目建了研發(fā)團(tuán)隊，拿出大量的晶圓、芯片不惜成本地讓他試錯。

就這樣，劉宏文帶領(lǐng)團(tuán)隊進(jìn)行了兩年多的“噴水罩研究”重點攻關(guān)，由他主導(dǎo)研發(fā)的氣缸噴水罩有了重大突破，劃片機(jī)切割品質(zhì)得到大幅提高。該項目所涉及的DS9系列劃片機(jī)入選遼寧省首臺（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄，實現(xiàn)了對進(jìn)口設(shè)備的國產(chǎn)化替代。那段時間，他和團(tuán)隊幾乎天天泡在實驗室里，做了幾千次的實驗，每做完一次實驗，都會興奮地跑到電子顯微鏡前去驗證。“只要能繼續(xù)嘗試，就還有成功的可能?！庇趧⒑晡亩裕≡缫咽羌页１泔?，但只要還有機(jī)會，一切就有可能。