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        激光代替光刻可降低超表面生產(chǎn)成本

        2023-09-08 12:40:25董映璧
        科學(xué)導(dǎo)報 2023年55期
        關(guān)鍵詞:光刻技術(shù)研究型

        董映璧

        俄羅斯國立研究型大學(xué)莫斯科電子技術(shù)學(xué)院科研人員,使用激光脈沖代替光刻開發(fā)出了一種為信息顯示設(shè)備創(chuàng)建元件的新技術(shù)。這將加速降低下一代顯示器和各種光學(xué)系統(tǒng)超表面的生產(chǎn)成本。研究結(jié)果發(fā)表在新一期《應(yīng)用表面科學(xué)》上。

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