楊月 蘭精靈 馮宇

［摘? ? ? ? ? ?要］? 課程依托機(jī)械工程相關(guān)專業(yè)的專業(yè)選修課——“集成電路制造工藝與裝備”的教學(xué)課堂，探索和實(shí)踐課程教學(xué)的新模式。針對機(jī)械工程專業(yè)，了解并掌握半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)的基本原理、方法和流程等相關(guān)知識，對提高學(xué)生的專業(yè)素養(yǎng)十分重要。在教學(xué)過程中，既重視專業(yè)素養(yǎng)以及基礎(chǔ)知識的教授，又提出在課堂中采用啟發(fā)式教學(xué)方法彌補(bǔ)傳統(tǒng)教學(xué)模式的不足，尊重學(xué)生的主體地位，探索多元化的教學(xué)手段在課程中的具體應(yīng)用。此外，還將課程與思政教學(xué)融合，培養(yǎng)學(xué)生的匠心精神以及樹立正確的價(jià)值導(dǎo)向，旨在有效提升該課程的教學(xué)質(zhì)量。課程的改革和實(shí)踐卓有成效，最終促進(jìn)學(xué)生達(dá)到知識傳授和價(jià)值引領(lǐng)相統(tǒng)一、教書與育人相統(tǒng)一的課程思政目標(biāo)。

［關(guān)? ? 鍵? ?詞］? “集成電路制造工藝與裝備”；網(wǎng)絡(luò)平臺；啟發(fā)式教學(xué)；思政融合

［中圖分類號］? G641? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ［文獻(xiàn)標(biāo)志碼］? A? ? ? ? ? ? ? ? ? ［文章編號］? 2096-0603（2023）02-0161-04

由于電子設(shè)備在生活中的使用日益普遍，電子元件的集成化程度也愈來愈高，作為機(jī)械工程相關(guān)專業(yè)的學(xué)生，理應(yīng)對課程中涉及的半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)[1]的基本原理、方法和流程等相關(guān)知識有所了解并掌握。所以，“集成電路制造工藝與裝備”這門課程作為機(jī)械工程相關(guān)專業(yè)的選修課，教學(xué)定位是講授半導(dǎo)體及集成電路制造方面的相應(yīng)專業(yè)知識，為機(jī)械專業(yè)的教學(xué)打下十分重要的理論知識基礎(chǔ)，并為學(xué)生今后從事半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)、制造和設(shè)計(jì)奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

“集成電路制造工藝與裝備”這門課程主要是講授制造技術(shù)與裝備的專業(yè)課程，其中既涉及制備工藝的原理和流程等基礎(chǔ)知識，又與日常生活息息相關(guān)，具有很強(qiáng)的工程應(yīng)用背景。在本科教育階段，學(xué)生不但需要掌握半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)的基本原理、技術(shù)和流程等基礎(chǔ)知識，而且需要掌握一些技術(shù)研究與創(chuàng)新以及處理技術(shù)難題與改善產(chǎn)品的技能。因此，在課程中著重結(jié)合制備工藝基礎(chǔ)知識與實(shí)際工程應(yīng)用案例，重點(diǎn)講解制備工藝中各個(gè)參數(shù)選擇對制備出樣品質(zhì)量的影響，同時(shí)分析不同制備工藝之間的優(yōu)缺點(diǎn)和聯(lián)系，使學(xué)生在工藝選擇時(shí)做出最優(yōu)的判斷，真正提高其工藝設(shè)計(jì)、分析、改進(jìn)工藝的能力。

在課程教學(xué)中強(qiáng)調(diào)理論知識和實(shí)際的緊密結(jié)合，通過由淺入深的方式逐漸介紹主要課程。通過具體場景的應(yīng)用研究，深入淺出，從而主動(dòng)探究學(xué)習(xí)[2]；通過問題導(dǎo)向，結(jié)合學(xué)生關(guān)注的熱點(diǎn)問題，引出相應(yīng)的知識點(diǎn)，并以具體案例進(jìn)行詳細(xì)推導(dǎo)。在課程教學(xué)中，突出重點(diǎn)，設(shè)計(jì)開放式問題，引導(dǎo)學(xué)生討論，在討論中鞏固所學(xué)知識。

一、教學(xué)內(nèi)容和思路

（一）教學(xué)內(nèi)容的背景以及意義

本課教學(xué)的課程為“集成電路制造工藝與裝備”，本課程講述集成電路對國家的發(fā)展以及社會的進(jìn)步有重要作用，微電子產(chǎn)品中集成電路是最主要的產(chǎn)品，占比90%以上。本課程主要講述了集成電路的制造過程以及各種工藝。當(dāng)今世界，集成電路是具有先進(jìn)性以及戰(zhàn)略性的技術(shù)產(chǎn)業(yè)。當(dāng)前的全球局勢是各國之間互相博弈，這更加要求集成電路進(jìn)一步發(fā)展。首先，當(dāng)前我們?nèi)孕枧Φ牟糠质菍?shí)現(xiàn)技術(shù)自主化，攻克被卡脖子的關(guān)鍵技術(shù)難題，努力培養(yǎng)人才，這就說明本課程對與工程領(lǐng)域的專業(yè)學(xué)生培養(yǎng)具有時(shí)代意義以及國家意義，可以為國家培養(yǎng)人才打好基礎(chǔ)。其次，集成電路技術(shù)的發(fā)展還需要大力打磨制造業(yè)的工藝以及零部件的穩(wěn)定供應(yīng)發(fā)展。

（二）教學(xué)目標(biāo)

該課程的教學(xué)目標(biāo)是：（1）掌握工程知識，這需要能夠?qū)?shù)學(xué)、自然科學(xué)、工程基礎(chǔ)和專業(yè)知識用于解決復(fù)雜工程問題。（2）培養(yǎng)學(xué)生對問題的分析能力，能夠應(yīng)用數(shù)學(xué)、自然科學(xué)和工程科學(xué)的基本原理識別、表達(dá)，并通過文獻(xiàn)研究分析復(fù)雜工程問題，以獲得有效結(jié)論。（3）培養(yǎng)學(xué)生設(shè)計(jì)以及開發(fā)并提出解決方案的能力，要求學(xué)生能夠設(shè)計(jì)針對復(fù)雜工程問題的解決方案，設(shè)計(jì)滿足特定需求的系統(tǒng)、單元（部件）或工藝流程，并能夠在設(shè)計(jì)環(huán)節(jié)中體現(xiàn)創(chuàng)新意識，考慮社會、健康、安全、法律、文化以及環(huán)境等因素。（4）培養(yǎng)學(xué)生深入研究的能力，能夠基于科學(xué)原理并采用科學(xué)方法對復(fù)雜工程問題進(jìn)行研究，包括設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)、分析與解釋數(shù)據(jù)，并通過信息綜合得到合理有效的結(jié)論。（5）培養(yǎng)學(xué)生使用現(xiàn)代工具的能力，能夠針對復(fù)雜工程問題，開發(fā)、選擇與使用恰當(dāng)?shù)募夹g(shù)、資源、現(xiàn)代工程工具和信息技術(shù)工具，包括對復(fù)雜工程問題的預(yù)測與模擬，并能夠理解其局限性。（6）在教學(xué)過程中培養(yǎng)學(xué)生個(gè)人和團(tuán)隊(duì)的合作能力，讓學(xué)生能夠在多學(xué)科背景下的團(tuán)隊(duì)中扮演團(tuán)隊(duì)成員或負(fù)責(zé)人的角色。（7）培養(yǎng)學(xué)生的溝通能力，讓學(xué)生能夠就復(fù)雜工程問題與業(yè)界同行及社會公眾進(jìn)行有效溝通和交流，包括撰寫報(bào)告和設(shè)計(jì)文稿、陳述發(fā)言、清晰表達(dá)或回應(yīng)指令，并具備一定的國際視野，能夠在跨文化背景下進(jìn)行溝通和交流。（8）培養(yǎng)學(xué)生終身學(xué)習(xí)的能力，具有自主學(xué)習(xí)和終身學(xué)習(xí)的意識，有不斷學(xué)習(xí)和適應(yīng)發(fā)展的能力。（如圖1所示）

（三）教學(xué)思路

在實(shí)際的教學(xué)過程中需要注重理論與實(shí)際并重，采用由淺入深的方法逐步引入主要的教學(xué)內(nèi)容；結(jié)合生活中實(shí)際案例的應(yīng)用去分析，從而激發(fā)學(xué)生的學(xué)習(xí)興趣；通過問題導(dǎo)向，結(jié)合當(dāng)下的熱點(diǎn)問題，引出相應(yīng)的知識點(diǎn)，并以具體案例進(jìn)行詳細(xì)推導(dǎo)。在課程教學(xué)中，突出重點(diǎn)，設(shè)計(jì)開放式問題，引導(dǎo)學(xué)生進(jìn)行討論，在討論中鞏固所學(xué)知識。

總體的教學(xué)思路是以一套完整的集成電路制造工藝為主線，以每步工藝的基本原理和制備流程為主，重點(diǎn)論述制備工藝中參數(shù)的選擇對制備樣品質(zhì)量的影響。在教學(xué)過程中將各章節(jié)的知識點(diǎn)深入研究，并通過主線將知識點(diǎn)串起來，這樣可以規(guī)避講解過程中孤立知識點(diǎn)的問題。

二、啟發(fā)式教學(xué)設(shè)計(jì)與實(shí)踐探索

（一）啟發(fā)式教學(xué)方法的意義

“集成電路制造工藝與裝備”是一門需要學(xué)生具有探索本質(zhì)、獨(dú)立思考能力的課程。啟發(fā)式教學(xué)[3]方法可以形成一個(gè)公平、輕松、開放的教學(xué)環(huán)境。啟發(fā)式教學(xué)是以學(xué)生為重點(diǎn)[1]的教學(xué)方式，在教學(xué)過程中教師主要起引導(dǎo)和輔助作用。教師可以通過引導(dǎo)學(xué)生提出各種建議和問題，促使學(xué)生參與課堂，沉浸課堂，思考課程內(nèi)容。根據(jù)課堂中出現(xiàn)的問題，教師需和學(xué)生積極探討分析，通過這種互動(dòng)性的交流[4]，讓學(xué)生找到問題的本質(zhì)所在，從而在了解知識點(diǎn)的基礎(chǔ)上提高教學(xué)設(shè)計(jì)的創(chuàng)造力，使學(xué)生的思維更具有發(fā)散性和創(chuàng)造性，增強(qiáng)學(xué)生的自主學(xué)習(xí)性、被認(rèn)同感和自我成就感。這也實(shí)現(xiàn)了良性的、活潑的、積極向上的教學(xué)狀態(tài)，進(jìn)而提高課堂的知識轉(zhuǎn)化率。

（二）啟發(fā)式教學(xué)設(shè)計(jì)的實(shí)際探索

課題利用教學(xué)模型、CAI課件、網(wǎng)絡(luò)錄像等各種輔助方法增加了教學(xué)的直接性，也擴(kuò)大了學(xué)生在課堂學(xué)習(xí)的知識面，進(jìn)而促進(jìn)學(xué)生對知識的消化和理解。在該課程中，通過對半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)的基本原理、方法和流程等基礎(chǔ)知識的講授，學(xué)生首先對該課程和領(lǐng)域可以建立一個(gè)相對全面和系統(tǒng)的認(rèn)識，同時(shí)基本具備了基礎(chǔ)的工藝分析能力、工程設(shè)計(jì)能力、處理現(xiàn)實(shí)工藝問題和改善產(chǎn)品的能力。在實(shí)際教學(xué)中，教師要發(fā)揚(yáng)和繼承傳統(tǒng)教學(xué)手段的優(yōu)點(diǎn)，做到在講授傳統(tǒng)經(jīng)典的教學(xué)內(nèi)容的基礎(chǔ)上，適宜地引經(jīng)據(jù)典，引入該專業(yè)技術(shù)領(lǐng)域的最新研究成果以及未來發(fā)展趨勢。比如，半導(dǎo)體制備工藝的描述可以通過播放相關(guān)視頻讓學(xué)生有更直觀的了解。具體的啟發(fā)式教學(xué)設(shè)計(jì)的實(shí)際探索如下：

1.上好緒論課是重要的一步。緒論課是一個(gè)激發(fā)學(xué)生學(xué)習(xí)興趣的重要起點(diǎn)，課程中需要注意講解集成電路的發(fā)展史、主要研究對象以及集成電路制備技術(shù)在現(xiàn)代工程領(lǐng)域的主要應(yīng)用，使學(xué)生對課程有大致的了解。利用生活化的案例和話題引入課堂，提前準(zhǔn)備好要探討的熱點(diǎn)話題都是緒論課可以采用的啟發(fā)式教學(xué)手段。在學(xué)生興趣盎然的環(huán)境下進(jìn)一步突出知識點(diǎn)之間的串聯(lián)是幫助學(xué)生將碎片化知識集中化的重要方法。集成電路制備技術(shù)不是單一的一部分，而是一個(gè)整體，一塊芯片的完成是需要整套制備工藝的共同作用。通過小組任務(wù)以及合作讓學(xué)生理解課程的知識的完整性和緊湊性，可以使學(xué)生更好地理解樣品制備的最佳設(shè)計(jì)方案。

2.采用啟發(fā)交流式教學(xué)方式[5]。啟發(fā)交流式教學(xué)方式可以使課堂氣氛更加活躍，發(fā)散學(xué)生的思維。啟發(fā)交流式教學(xué)方式注重在教學(xué)過程中采用互動(dòng)式的教學(xué)手段，并在和學(xué)生交流的過程中，及時(shí)指出問題所在，會使學(xué)生更好地理解和消化知識。教師應(yīng)注意引導(dǎo)重點(diǎn)，把握好教學(xué)方法，從而防止錯(cuò)誤轉(zhuǎn)移目標(biāo)，要有的放矢。所以每節(jié)課教師一定要明確課程目的、教學(xué)目標(biāo)、要點(diǎn)與難度，在上課結(jié)束之前還要做簡短的小結(jié)，并留下相應(yīng)的思考題與練習(xí)。

3.采用案例方式進(jìn)行啟發(fā)式教學(xué)。通過對一些工程建設(shè)實(shí)際問題的剖析，使課堂內(nèi)容通俗易懂，學(xué)生能更快地習(xí)得基礎(chǔ)理論。通過和工程建設(shè)實(shí)際問題相結(jié)合，運(yùn)用自然科學(xué)和技術(shù)學(xué)科的基本原則，開展工程建設(shè)機(jī)理探究、實(shí)踐檢驗(yàn)等各類教學(xué)活動(dòng)，從而訓(xùn)練學(xué)生分析與處理本領(lǐng)域內(nèi)有關(guān)技術(shù)問題的思想方式與實(shí)際能力。經(jīng)典的例子是利用日常生活中常見的手機(jī)和電腦芯片為例講述集成電路制備過程。

4.運(yùn)用多媒體技術(shù)進(jìn)行教育。集成電路生產(chǎn)技術(shù)及裝置教學(xué)活動(dòng)中要涉及許多的技術(shù)設(shè)計(jì)原理與過程。這時(shí)運(yùn)用多媒體技術(shù)既能夠省去教師大量的體力勞動(dòng)，又能夠運(yùn)用圖像、文本、視頻動(dòng)畫等元素來充實(shí)內(nèi)容，使課堂變得生動(dòng)、活潑、具體，能引起學(xué)習(xí)者較高的自主學(xué)習(xí)積極性，使其上課時(shí)精力比較集中，提升了教學(xué)效果。

三、課程中思政元素融入的意義及內(nèi)容設(shè)計(jì)

（一）思政元素融入的意義

課程思政要以課堂為抓手，在教授知識的同時(shí)，可以實(shí)現(xiàn)學(xué)生的價(jià)值導(dǎo)向[6]，這既能做到知識傳授與價(jià)值導(dǎo)向相統(tǒng)一，又能做到教學(xué)與育人目標(biāo)相統(tǒng)一。在“集成電路制造工藝與裝備”這門課程專業(yè)知識的講授過程中進(jìn)行教學(xué)設(shè)計(jì)、方法、模式、理念的改進(jìn)，積極引導(dǎo)學(xué)生發(fā)現(xiàn)問題、主動(dòng)思考并辯證分析問題，使其能夠充分理解馬克思主義原理與我國社會主義制度的巨大優(yōu)勢，可以培養(yǎng)學(xué)生的愛國情懷和民族自信心。同時(shí)，面對國際形勢，培養(yǎng)學(xué)生的危機(jī)意識和追趕精神，以及作為一名工程人應(yīng)具備的工匠精神，將祖國的需求與自己的使命緊密結(jié)合在一起。

（二）思政元素融入教學(xué)設(shè)計(jì)的實(shí)際探索

在教學(xué)設(shè)計(jì)方面需要強(qiáng)調(diào)專業(yè)理論知識與思想政治教育的結(jié)合[7]，最終實(shí)現(xiàn)個(gè)人理想與國家需求的高度統(tǒng)一。在課程教學(xué)中，通過分析知識內(nèi)部邏輯的方式提煉總結(jié)出知識背后的思想內(nèi)涵，達(dá)到課程思政的目的。

在教學(xué)中安排學(xué)生研究我國工藝的發(fā)展歷程與現(xiàn)狀，比較中外技術(shù)的發(fā)展，并組織學(xué)生團(tuán)體合作，鼓勵(lì)學(xué)生關(guān)注當(dāng)下與國外相關(guān)領(lǐng)域的差距，調(diào)研相關(guān)文獻(xiàn)，了解最新的前沿動(dòng)態(tài)，這可以使學(xué)生具有危機(jī)與機(jī)遇并存的思想覺悟。從而使學(xué)生樹立與民族偉大復(fù)興目標(biāo)相結(jié)合的遠(yuǎn)大理想。如學(xué)習(xí)光刻工藝時(shí)，將學(xué)生分成多個(gè)調(diào)研小組，用一周時(shí)間調(diào)研國內(nèi)外光刻技術(shù)的差距和我國近年來奮起直追的發(fā)展勢頭。

利用區(qū)域優(yōu)勢，組織學(xué)生參觀大型企業(yè)芯片研發(fā)中心，讓學(xué)生為國家科技的發(fā)展感到自豪和驕傲，提高自身標(biāo)準(zhǔn)，向優(yōu)秀人才看齊，培養(yǎng)民族自信。如利用深圳在半導(dǎo)體制備領(lǐng)域的區(qū)域優(yōu)勢，帶領(lǐng)學(xué)生參觀大型企業(yè)芯片研發(fā)中心，讓學(xué)生切身體驗(yàn)芯片制造過程，聯(lián)系課堂所學(xué)理論知識，感悟?qū)嵺`。

組織學(xué)生觀看相關(guān)紀(jì)錄片，可以激發(fā)學(xué)生的愛國熱忱，領(lǐng)悟創(chuàng)新精神以及吃苦耐勞精神的可貴。影片作為一種現(xiàn)代化媒介對文化的傳播起著重要作用。同時(shí)對青年一代來說，相較口頭傳授，他們更容易從生動(dòng)的影片中獲得知識體會。因此，在課程中加入觀看紀(jì)錄片的環(huán)節(jié)能更好地完成隱性思政元素融入課堂的目標(biāo)。紀(jì)錄片內(nèi)容的選取應(yīng)當(dāng)緊扣主題，與課程相關(guān)，能激發(fā)學(xué)生對集成電路學(xué)習(xí)的興趣且引起情感共鳴。將祖國在發(fā)展初遇到的困難和多年來的心血沉積以及改革開放后的蓬勃發(fā)展用現(xiàn)代化、具體化的方式呈現(xiàn)給學(xué)生，激發(fā)學(xué)生對人生理想的思考以及對創(chuàng)新精神、吃苦耐勞精神、愛國精神的領(lǐng)悟。由于紀(jì)錄片的觀看具備引導(dǎo)作用，應(yīng)將其穿插在整個(gè)課程的授課中，這樣能提高學(xué)生上課集中注意力的時(shí)間，有利于整個(gè)課程教學(xué)任務(wù)以及思政元素融入課堂舉措的開展[7]。

四、課改教學(xué)效果

通過在課程中進(jìn)行啟發(fā)式的教學(xué)以及思政融合和教學(xué)改革探索，在教學(xué)中利用多元化的手段進(jìn)行教學(xué)，實(shí)現(xiàn)知識傳授和價(jià)值引領(lǐng)相統(tǒng)一、教書與育人相統(tǒng)一的課程思政目標(biāo)，產(chǎn)生了以下教學(xué)效果。

通過多元化的教學(xué)方法和模式，學(xué)生首先對課程的專業(yè)知識有更立體、更全面的理解。思政元素融入課堂，極大地培養(yǎng)了學(xué)生主動(dòng)思考更深層思想內(nèi)涵的能力，從而使學(xué)生對專業(yè)知識有更深的理解。多元化的教學(xué)方法能夠更加立體地展示知識點(diǎn)本身。同時(shí)，理論聯(lián)系實(shí)際，結(jié)合馬克思主義基本原理和社會主義制度分析知識點(diǎn)背后的內(nèi)在邏輯，對學(xué)生的學(xué)習(xí)熱情是一次極大的鼓舞，使學(xué)生的個(gè)人能力更加完善。改進(jìn)教學(xué)設(shè)計(jì)，除了能提高專業(yè)知識技能之外，還能促進(jìn)自身主動(dòng)思考，獲得團(tuán)隊(duì)協(xié)作、辯證分析問題以及搜索辨別有用信息的能力。此外，通過觀看影片等活動(dòng)，讓學(xué)生關(guān)注我國高端科技的發(fā)展現(xiàn)狀以及快速發(fā)展的前景，提升學(xué)生的民族自信心。

為激發(fā)學(xué)生的學(xué)習(xí)興趣，使其上課注意力更加集中，進(jìn)而提升教學(xué)效果，本課程授課形式準(zhǔn)備由傳統(tǒng)的線下板書或PPT講解的方式，改為線下授課與線上微視頻結(jié)合的方式，目前已經(jīng)針對該課程內(nèi)容錄制了全部28個(gè)總時(shí)長超過400分鐘的微視頻，每個(gè)視頻15～20分鐘，講解專門的知識點(diǎn)。

為加深自身對課程思政的理解，順利完成了2020年11月由學(xué)堂在線舉辦的第二期高校專業(yè)課課程思政設(shè)計(jì)與實(shí)踐專題研修班，獲益匪淺，并將相關(guān)理念融入該思政項(xiàng)目，從與課程緊密相關(guān)的知識點(diǎn)或案例中挖掘思政元素，以及注重課后效果調(diào)研和學(xué)生反饋等重要理念。

完成部分教案修改，加入更多思政育人元素。如在緒論中強(qiáng)調(diào)目前我國在集成電路制造技術(shù)上面臨被國外“卡脖子”的情況，急需機(jī)械專業(yè)人才攻堅(jiān)克難，突破技術(shù)壁壘，增強(qiáng)專業(yè)認(rèn)同感的同時(shí)，培養(yǎng)學(xué)生牢記國家使命，樹立遠(yuǎn)大理想的價(jià)值觀。同時(shí)以微納加工工藝中對精度要求很高為契機(jī)，強(qiáng)調(diào)一絲不茍的工匠精神，促使學(xué)生始終以高標(biāo)準(zhǔn)要求自己。

完成大量教學(xué)素材的收集用于后續(xù)思政育人，如哈工大八百壯士故事精神、硅谷的由來和歷代創(chuàng)業(yè)勵(lì)人事跡、國內(nèi)自主高端制造技術(shù)的奮力追趕等。這些素材的闡述上應(yīng)避免簡單、空洞的說教，落入俗套，需要與課程內(nèi)容緊密結(jié)合，讓學(xué)生產(chǎn)生共鳴。

在后續(xù)授課過程中，筆者準(zhǔn)備組織一次與企業(yè)的互動(dòng)活動(dòng)，通過讓學(xué)生現(xiàn)場觀看制造流程和親身感受企業(yè)文化，達(dá)到加深知識理解和思政育人目的。筆者已與華為公司相關(guān)人員進(jìn)行接觸，對方表示在條件允許的情況下，愿意幫忙促成這次活動(dòng)。計(jì)劃在現(xiàn)場觀摩過程中，講述華為公司的發(fā)展歷程、目前面臨的技術(shù)封鎖以及學(xué)生在公司甚至國家面臨困境時(shí)所應(yīng)承擔(dān)的責(zé)任。

完成教學(xué)大綱中對考核方式的修改，將傳統(tǒng)的閉卷考試改為大作業(yè)考核，根據(jù)人數(shù)多少?zèng)Q定是否分組，讓學(xué)生根據(jù)當(dāng)前形勢和集成電路制造技術(shù)的難點(diǎn)，進(jìn)行深入調(diào)研、分析，并提出如何突破技術(shù)壁壘的見解。在完成大作業(yè)考核過程中，可以鍛煉學(xué)生的合作能力、了解當(dāng)前的國內(nèi)國際形勢以及獨(dú)立解決問題的邏輯思考能力，達(dá)到思政的目的。

筆者在該課程中加入思政元素，并代表深圳校區(qū)參加了哈工大一校三區(qū)青年教師教學(xué)基本功競賽，獲得了優(yōu)秀獎(jiǎng)。在競賽過程中，除了磨煉自身的教學(xué)技巧和完善教學(xué)內(nèi)容之外，教學(xué)名師的點(diǎn)評和他們一絲不茍的嚴(yán)謹(jǐn)態(tài)度也給了筆者非常大的感觸，讓我感受到了榜樣的力量。同時(shí)，筆者也意識到課程思政不僅僅是教學(xué)方法和內(nèi)容的改進(jìn)，教學(xué)態(tài)度的嚴(yán)謹(jǐn)同樣能夠影響學(xué)生的學(xué)習(xí)興趣，讓他們受到好的榜樣的鼓舞。

五、結(jié)語

在“集成電路制造工藝與裝備”這一課程的教學(xué)過程中，教師力求讓學(xué)生對該領(lǐng)域有相對全面和系統(tǒng)的認(rèn)識，同時(shí)具有一定工藝分析方法和工程設(shè)計(jì)能力以及處理實(shí)際工藝問題和改善產(chǎn)品的能力。因?yàn)閭鹘y(tǒng)的講課式教學(xué)手段比較枯燥、乏味，很難調(diào)動(dòng)學(xué)生的積極性，所以課程改革的探索在原來的傳統(tǒng)教學(xué)模式下加以創(chuàng)新，在實(shí)際教學(xué)中與前沿科技以及最新研究成果結(jié)合教學(xué)。通過優(yōu)化學(xué)科與教學(xué)形式，更有效地調(diào)動(dòng)學(xué)生學(xué)習(xí)的主觀積極性，讓學(xué)生的學(xué)習(xí)興趣能夠在學(xué)校創(chuàng)新型教育的推動(dòng)下得到提升。同時(shí)，教師應(yīng)真正履行“把思維教育體現(xiàn)于課堂教學(xué)整個(gè)過程”的指導(dǎo)，本課程教材將把思政元素滲入課堂教學(xué)的整個(gè)過程，以培養(yǎng)符合需要的、具有創(chuàng)新性的現(xiàn)代教育人才。

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◎編輯 鄭曉燕