錢清友, 沈怡東

（捷捷半導(dǎo)體有限公司，江蘇南通 226200）

在半導(dǎo)體制造中有兩種基本的刻蝕工藝,即干法刻蝕和濕法刻蝕，濕法刻蝕是將被刻蝕材料浸泡在腐蝕液內(nèi)進(jìn)行腐蝕的技術(shù)，這是各向同性的刻蝕方法，利用化學(xué)反應(yīng)過程去除待刻蝕區(qū)域的薄膜材料，通常SiO2采用濕法刻蝕技術(shù)，有時(shí)金屬鋁也采用濕法刻蝕技術(shù)，國內(nèi)的蘇州華林科納在濕法這塊做得比較好。 二氧化硅在功率半導(dǎo)體芯片制造過程中，可以作為選擇性雜質(zhì)擴(kuò)散或離子注入的掩蔽層，在功率半導(dǎo)體芯片最終的產(chǎn)品上，又可以作為絕緣材料，用于鈍化層和隔離介質(zhì)[1～3]。故二氧化硅的厚度以及批次間的一致性控制尤為重要[4～6]。 濕法腐蝕由于其設(shè)備及工藝簡單[7～8]，同時(shí)生產(chǎn)效率高、成本低和適應(yīng)性強(qiáng)，故在生產(chǎn)過程中有著較大優(yōu)勢和不可替代的作用。

1 實(shí)驗(yàn)原理

氫氟酸與二氧化硅反應(yīng)， 生成六氟硅酸，并溶于水。

氫氟酸與二氧化硅反應(yīng)方程式為:

在此反應(yīng)過程中， 氫氟酸會(huì)不斷被消耗，為避免這種現(xiàn)象的發(fā)生， 一般會(huì)采取兩種方法，一是添加氫氟酸，保持氫氟酸濃度，二是在腐蝕液中加入一定的氟化氨作為緩沖劑，氟化氨分解反應(yīng)產(chǎn)生氫氟酸[9,10]，從而維持氫氟酸的濃度。

氟化銨分解方程式為:

2 實(shí)驗(yàn)方法

取同一批次采用熱生長工藝制成的二氧化硅膜厚在3000～9000? 之間的硅片， 選用40%含量的氫氟酸與水按體積比進(jìn)行一定比例的配比，達(dá)到試驗(yàn)需要的腐蝕液進(jìn)行工藝實(shí)驗(yàn)。 使用膜厚測量儀測定硅片表面二氧化硅薄膜的原始厚度，將測量后的硅片浸入氫氟酸腐蝕液中，腐蝕過程中采用特制酸液流動(dòng)裝置，使酸液流動(dòng)，以減少表面反應(yīng)物的聚集，從而增加腐蝕的均勻性（也可采用超聲模式）， 采用特制溫度控制裝置控制腐蝕液溫度，使其達(dá)到試驗(yàn)要求溫度（精度控制在±0.2℃）。 待達(dá)到預(yù)定腐蝕時(shí)間后，將硅片轉(zhuǎn)移至去離子水槽中沖洗干凈，使用高速氮?dú)獯祪艄杵砻嫠?，然后再使用膜厚測量儀測定硅片表面二氧化硅薄膜的厚度。

用于化學(xué)腐蝕的試劑很多， 有酸性腐蝕劑，堿性腐蝕劑以及有機(jī)腐蝕劑等。 本人測定了在氫氟酸含量不同的腐蝕液中以及在腐蝕液溫度不同的情況下，二氧化硅腐蝕液對二氧化硅腐蝕速率，探討和研究了其相關(guān)性。 在二氧化硅硅片腐蝕機(jī)中進(jìn)行， 腐蝕液是由HF、NH4F 與H2O 按一定比例配成的緩沖溶液。 腐蝕溫度一定時(shí)，腐蝕速率取決于腐蝕液的配比和SiO2摻雜情況。 摻磷濃度越高，腐蝕越快，摻硼則相反。 SiO2腐蝕速率對溫度最敏感，溫度越高，腐蝕越快。

3 實(shí)驗(yàn)過程

3.1 二氧化硅腐蝕速率與溫度的相關(guān)性研究

通過對比在不同的腐蝕溫度下，二氧化硅腐蝕液對二氧化硅的腐蝕速度進(jìn)行探索，我們選擇工藝上較常用的40%含量的氫氟酸與去離子水的體積比分為1∶5 和1∶10 的兩種腐蝕液在不同腐蝕溫度下對二氧化硅進(jìn)行腐蝕，通過專用測量儀器測量腐蝕前后二氧化硅薄膜膜厚的變化，研究腐蝕溫度對腐蝕速率的關(guān)系，具體如下。

3.1.1 試驗(yàn)一

取HF∶H2O=1∶5（取40%含量的氫氟酸1000mL，去離子水5000mL），由于腐蝕液中氫氟酸含量較高，且二氧化硅的腐蝕量較小，所以對腐蝕過程中損耗的氫氟酸忽略不計(jì)，無需添加氫氟酸和氟化銨。 選取30.5℃、29℃、28℃、27℃、26℃、25℃、23℃、21℃、19℃、17.5℃、15℃共11 個(gè)不同溫度進(jìn)行試驗(yàn)，具體數(shù)據(jù)如表1 所示。

表1 腐蝕溫度與腐蝕速度統(tǒng)計(jì)表

3.1.2 實(shí)驗(yàn)二

取HF∶H2O=1∶10(取40%含量的氫氟酸400mL，去離子水4000mL)， 由于腐蝕液中氫氟酸含量較高，且二氧化硅的腐蝕量較小，所以對腐蝕過程中損耗的氫氟酸忽略不計(jì)，無需添加氫氟酸和氟化銨。 選取30℃、28.5℃、28℃、27℃、26℃、25℃、24℃、23℃、22℃、20.5℃、18℃、16℃共12 個(gè)不同溫度進(jìn)行試驗(yàn)，具體如圖1 所示。

圖1 腐蝕溫度與腐蝕速度的趨勢與相關(guān)性曲線圖

3.1.3 試驗(yàn)數(shù)據(jù)結(jié)果分析

由表1 和圖1 可知： 當(dāng)腐蝕液中氫氟酸含量固定的情況下，腐蝕溫度與腐蝕速率的線形關(guān)系成強(qiáng)相關(guān)性，腐蝕溫度對腐蝕速率起著較大的作用。

在硅腐蝕表面各處， 腐蝕速率常常不相等，造成腐蝕表面出現(xiàn)起伏等，腐蝕尺寸比較大時(shí)表現(xiàn)尤為明顯。 這與腐蝕液濃度有關(guān)，反應(yīng)槽中腐蝕液的濃度一直在變， 并且各處濃度難保持一致性。 本文腐蝕過程一直伴隨著均勻攪拌，這將較有效地保持腐蝕液濃度的均勻性。

3.2 二氧化硅腐蝕速率與腐蝕液中氫氟酸含量的相關(guān)性研究

本實(shí)驗(yàn)我們選擇在恒定溫度條件下進(jìn)行，通過配置40%含量的氫氟酸與去離子水的不同體積比的二氧化硅腐蝕液對二氧化硅進(jìn)行腐蝕，通過專用測量儀器測量腐蝕前后二氧化硅薄膜膜厚的變化，研究在恒定溫度下，腐蝕液中氫氟酸含量的不同對腐蝕速率的關(guān)系。

3.2.1 試驗(yàn)

這種形式的應(yīng)用條件為，在實(shí)際工程設(shè)計(jì)與通用造價(jià)方案在回路數(shù)量、主要設(shè)備參數(shù)、規(guī)模方面不一致時(shí)，可應(yīng)用相似的造價(jià)方案，經(jīng)由增減子模塊對基礎(chǔ)方案進(jìn)行適當(dāng)改進(jìn)。結(jié)合基礎(chǔ)方案造價(jià)與子模塊造價(jià)的整合，形成與實(shí)際方案相似的工程概算，并對實(shí)際工程造價(jià)的可行性做出綜合分析。

選取HF∶H2O(取40%含量的氫氟酸和去離子水) 的體積比為1∶18、1∶16、1∶14、1∶12、1∶10、1∶8、1∶7、1∶6、1∶5、1∶4、1∶3、1∶2 共12 組不同比例的腐蝕液進(jìn)行試驗(yàn)，腐蝕溫度恒定為24±0.2℃。由于腐蝕液中氫氟酸含量較高， 且二氧化硅的腐蝕量較小，所以對腐蝕過程中損耗的氫氟酸忽略不計(jì)，無需添加氫氟酸和氟化銨。 數(shù)據(jù)具體如表2、圖2 所示。

表2 腐蝕液中氫氟酸含量的不同與腐蝕速率的統(tǒng)計(jì)表

圖2 腐蝕液中氫氟酸含量的不同與腐蝕速率的趨勢圖

3.2.2 試驗(yàn)數(shù)據(jù)結(jié)果分析

由表2 和圖2 可以看出：隨著氫氟酸濃度的不斷增大，腐蝕速率不斷加快，并呈現(xiàn)指數(shù)分布狀況。

我們通過換算成相同水含量3000mL 狀況下的氫氟酸含量，氫氟酸含量與腐蝕速率的關(guān)系如表3 所示。

由表3 可以看出：氫氟酸含量的增大與腐蝕速率有著強(qiáng)相關(guān)性，相同體積下的腐蝕液，每降低1mL 的氫氟酸(40%含量的氫氟酸)，其腐蝕速率降低1～2?/min。

表3 氫氟酸含量的不同與腐蝕速率的統(tǒng)計(jì)表

3.3 其他

3.3.1 二氧化硅腐蝕液配置放熱

在實(shí)驗(yàn)的過程中我們還發(fā)現(xiàn)：二氧化硅腐蝕液在配置過程中存在放熱過程，如表4 所示。

表4 酸液配置溫度變化

3.3.2 二氧化硅腐蝕液的腐蝕量的測算

以二氧化硅的密度2.32g/cm3進(jìn)行計(jì)算，得到腐蝕75 片三英寸雙面氧化膜厚均約為8600? 的硅片，所消耗氫氟酸量：

將其轉(zhuǎn)換為40%含量的氫氟酸：

4 結(jié)論

SiO2的濕法腐蝕是硅片微機(jī)械加工的重要技術(shù)之一，它被廣泛地應(yīng)用于在硅襯底上加工各種各樣的微結(jié)構(gòu)，如膜結(jié)構(gòu)、凹槽結(jié)構(gòu)、懸臂梁等，近年來也被用于很多納米結(jié)構(gòu)的制造。 氫氟酸的稀釋過程是個(gè)放熱過程，溫度的升高增加了其腐蝕氧化層的速度，同時(shí)溫度的升高與腐蝕速率成線性強(qiáng)相關(guān)。 隨著氫氟酸濃度的增大，腐蝕速率呈現(xiàn)指數(shù)分布狀態(tài)，但是從固定水體積，增加氫氟酸量的角度來分析，我們發(fā)現(xiàn)，其呈現(xiàn)的腐蝕速率狀態(tài)為線性分布狀態(tài)，大約40%含量的氫氟酸每減少1mL，腐蝕速率減慢大約為1～2?/min。