沈佐銘 劉文婷* 畢毓嘉 李陽平

（1、西安石油大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院，陜西 西安 710065 2、西北工業(yè)大學(xué)材料學(xué)院，陜西 西安 710072）

1 概述

透明導(dǎo)電氧化物（Transparent conductive oxide 簡稱TCO）是一種重要的光電材料，它不僅導(dǎo)電率高，而且在可見光范圍內(nèi)透光度好，在紅外范圍內(nèi)反射率高，在紫外區(qū)域具有截止特性。目前，TCO 薄膜材料己經(jīng)被廣泛應(yīng)用于平板顯示器、太陽能電池、觸摸屏的透明電極、特殊功能窗口涂層和其它薄膜光電器件等領(lǐng)域，而且在微電子、光電子等領(lǐng)域也有著重要的用途[1，2]。

過去若干年內(nèi)，TCO 材料受到人們的廣泛關(guān)注和蓬勃發(fā)展，但是其應(yīng)用仍存在很大的限制。這是因為這些TCO 材料大多都是n 型材料，而p 型材料不僅非常少，其電導(dǎo)率通常比n 型低3-4 個數(shù)量級，無法實現(xiàn)具有良好性能的全透明p-n 結(jié)[3，4]。直到1997 年，Kawazoe 教授的研究小組提出價帶化學(xué)修飾理論，并根據(jù)此理論設(shè)計制備出了本征p 型透明導(dǎo)電氧化物-CuAlO2，開辟了p 型透明導(dǎo)電材料的嶄新研究領(lǐng)域[1]。CuAlO2具有銅鐵礦結(jié)構(gòu)，有沿c 軸方向排列的O-Cu-O啞鈴狀線形結(jié)構(gòu)，垂直c 軸的六角密排Cu 原子層和AlO6共棱八面體3 個特征結(jié)構(gòu)單元。AlO6沿c 軸方向以不同的方式堆垛，會產(chǎn)生不同的結(jié)構(gòu)，最常見的是2H（P63/mmc 空間群，六方）和3R（R-3m 空間群，菱方）結(jié)構(gòu)[3]。

盡管研究者們針對CuAlO2展開了一系列實驗和理論模擬計算的研究，但是CuAlO2薄膜的電導(dǎo)率依然不能滿足使用要求，而摻雜被認(rèn)為是解決這一問題的有效方法[5]。目前，CuAlO2摻雜相關(guān)的實驗研究[6-11]和理論研究[12-18]已經(jīng)開展，但是這些研究中基本都集中在3R 結(jié)構(gòu)的CuAlO2。

因此，本論文開展2H-CuAlO2的摻雜理論模擬計算，研究Ca 和Mg 元素?fù)诫s對2H-CuAlO2的結(jié)構(gòu)與性質(zhì)的影響規(guī)律。

2 計算過程

采用Material Studio 軟件中的CASTEP 模塊進(jìn)行理論模擬計算，采用Materials Studio 軟件中的CASTEP 模塊進(jìn)行計算。交換關(guān)聯(lián)能采用廣義梯度近似（GGA） 中的Perdew-Wang 1991（PW91），平面波截斷能取571.4eV。自洽場運算中，自洽精度設(shè)為每個原子能量收斂至5.0×10-6eV，作用在每個原子上的力不超過0.03eV/?，在模型的結(jié)構(gòu)優(yōu)化中采用了BFGS 算法，布里淵區(qū)積分采用Monkhorst-Pack 進(jìn)行分格。在用超軟贗勢描述價電子與芯態(tài)關(guān)系時，Cu 的價電子取3d104s1，Al 的價電子取Al3s23p1，O 的價電子取2s22p4，Mg 的價電子取2p63s2，Ca 的價電子取3p64s2。2H-CuAlO2晶胞中Cu 原子的坐標(biāo)為（1/3；2/3；1/4），Al 原子的坐標(biāo)為（0；0；0），O 原子的坐標(biāo)為（1/3；2/3；0.0851[19]）。

摻雜計算過程中，通過建立分別包含96、72 和32 個原子的33×2×2、3×3×1 和2×2×1 的2H-CuAlO2超胞，用一個Mg 或者Ca 原子替換一個Al 原子，相應(yīng)的摻雜濃度分別為1.04%、1.39%和3.13%。

3 結(jié)果和討論

3.1 晶體結(jié)構(gòu)

未摻雜2H-CuAlO2的晶體結(jié)構(gòu)優(yōu)化后得到的晶胞參數(shù)a=2.8520?，c=11.43256?，與實驗結(jié)果[19]差別不大，表明所采用的計算方法和結(jié)果合理可靠。結(jié)構(gòu)優(yōu)化后得到的不同濃度Mg 和Ca 摻雜2H-CuAlO2的晶胞參數(shù)a 和c、晶胞體積如圖1 所示。由圖中可以看出，隨著摻雜濃度的升高，Mg 和Ca 摻雜2H-CuAlO2的晶胞參數(shù)a 都逐漸增大，c 都逐漸減小，而且a 的變化比c 更顯著，此外晶胞體積都逐漸增大。這說明Mg 和Ca 摻雜導(dǎo)致2H-CuAlO2的晶胞沿X 和Y 軸方向出現(xiàn)伸長，沿Z 軸方向出現(xiàn)壓縮，沿X 和Y 軸方向的變形大于Z軸，而且變形程度隨著摻雜濃度增加而增加，最終導(dǎo)致晶胞體積不斷增加。此外，在相同摻雜濃度下，Ca 摻雜2H-CuAlO2的晶胞參數(shù)a、c 值均大于Mg 摻雜。這可能是因為Ca 的離子半徑（0.72?）比Mg 的離子半徑（0.99?）大，因此Ca 摻雜引起的晶格畸變比Mg 摻雜更大，導(dǎo)致晶格參數(shù)的變化也更大。

圖1 未摻雜及不同濃度Mg、Ca 摻雜2H-CuAlO2 的晶胞參數(shù)a、c 及晶胞體積

3.2 電子特性

未摻雜2H-CuAlO2的能帶結(jié)構(gòu)圖如圖2 所示，由圖中可以看出，2H-CuAlO2的價帶的最高點位于H 點，而導(dǎo)帶的最低點位于A 點，最高點和最低點不在同一位置，故它為間接帶隙半導(dǎo)體，計算得到的間接帶隙值約為1.817eV，與相關(guān)文獻(xiàn)的計算值[20，21]基本相符。

圖2 未摻雜2H-CuAlO2 的能帶結(jié)構(gòu)

Mg 和Ca 摻雜后，2H-CuAlO2的帶隙仍然是間接帶隙，不同摻雜濃度下2H-CuAlO2的帶隙值變化如圖3 所示。由圖中可以看出，當(dāng)摻雜濃度分別為1.04%、1.39%和3.13%時，Mg 摻雜2H-CuAlO2的帶隙分別為1.845eV、1.957eV 和2.203eV，Ca 摻雜2H-CuAlO2的帶隙分別為1.827eV、1.932eV 和2.016eV。隨著摻雜濃度的增加，Mg 和Ca 摻雜2H-CuAlO2的帶隙值逐漸增加，而且相同摻雜濃度下，Mg 摻雜對帶隙值的增大作用略高于Ca 摻雜。

圖3 未摻雜和不同濃度Mg、Ca 摻雜2H-CuAlO2 的帶隙

圖4 是未摻雜和不同濃度Mg、Ca 摻雜2H-CuAlO2的總態(tài)密度圖。由圖中可以看出，摻雜后2H-CuAlO2的總態(tài)密度呈現(xiàn)增加的趨勢，隨著摻雜濃度的升高總態(tài)密度逐漸減小。從圖中還可以發(fā)現(xiàn)，相同濃度Mg、Ca 摻雜2H-CuAlO2的總態(tài)密度差別非常小，說明總態(tài)密度與受到摻雜元素Mg、Ca的影響不大，而與摻雜濃度的大小有關(guān)。

圖4 未摻雜和不同濃度Mg、Ca 摻雜2H-CuAlO2 的總態(tài)密度圖

圖5 是未摻雜2H-CuAlO2的分態(tài)密度圖。從圖中可以看出，未摻雜2H-CuAlO2在費米能級附近的價帶主要由Cu-3d 態(tài)、O-2p 態(tài)和少量Al-3p 態(tài)組成，導(dǎo)帶主要由Cu-3p態(tài)、O-2p 態(tài)組成。

圖5 未摻雜2H-CuAlO2 的分態(tài)密度

圖6 是不同濃度Mg 摻雜2H-CuAlO2的分態(tài)密度圖。由圖中可以看出，Mg 摻雜2H-CuAlO2在費米能級附近的價帶主要由Cu-3d 態(tài)、O-2p 態(tài)和少量Al-3p 態(tài)組成，導(dǎo)帶主要由Cu-3p 態(tài)、O-2p 態(tài)組成。Mg 摻雜對2H-CuAlO2在費米能級附近的價帶、導(dǎo)帶影響很小，Mg 主要影響了2H-CuAlO2在-72eV 和-40eV 附近的價帶，對10eV～20eV 范圍的導(dǎo)帶也有一定的影響。另外，摻雜濃度的變化對Mg 摻雜2H-CuAlO2分態(tài)密度的影響整體不大。

圖6 不同濃度Mg 摻雜2H-CuAlO2 的分態(tài)密度

圖7 是不同濃度Ca 摻雜2H-CuAlO2的分態(tài)密度圖。由圖中可以看出，Ca 摻雜2H-CuAlO2在費米能級附近的導(dǎo)帶也主要由Cu-3d 態(tài)、O-2p 態(tài)和少量Al-3p 態(tài)組成，導(dǎo)帶主要由Cu-3p 態(tài)、O-2p 態(tài)組成。與Mg 摻雜類似，不同濃度的Ca摻雜對費米能級附近的導(dǎo)帶和價帶影響都不大，主要影響了在-37eV 附近和和-21eV～-15eV 之間的價帶和5eV～12eV之間的導(dǎo)帶。

圖7 不同濃度Ca 摻雜2H-CuAlO2 的分態(tài)密度

4 結(jié)論

通過第一性原理的方法研究了Mg、Ca 摻雜對2H-CuAlO2晶體結(jié)構(gòu)和電子特性的影響規(guī)律。Mg、Ca 摻雜元素的引入都導(dǎo)致2H-CuAlO2的晶格參數(shù)出現(xiàn)變化，隨著摻雜濃度的增加，a 逐漸增加而c 逐漸減小，晶胞體積逐漸增加；Ca 元素對晶格參數(shù)的影響大于Mg 元素。Mg、Ca 摻雜沒有改變2H-CuAlO2的間接帶隙屬性，但是都使2H-CuAlO2的帶隙增大，而且Mg 元素增大的程度大于Ca 元素；Mg、Ca元素?fù)诫s對2H-CuAlO2態(tài)密度的作用相似，對費米能級附近的導(dǎo)帶和價帶影響都不大。