李全城，沈劍云，黃國(guó)欽

(1.廈門理工學(xué)院，現(xiàn)代工程訓(xùn)練中心，福建 廈門 361024)(2.華僑大學(xué) 制造工程研究院，福建 廈門 361021)

氧化鋁陶瓷因其優(yōu)異的性能，在航空航天和電子等很多領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用[1-3]。氧化鋁陶瓷是以氧化鋁為原料，經(jīng)燒結(jié)和成形制成的。但是，在燒結(jié)和成形后，其尺寸精度和表面粗糙度往往都比較差，無法滿足實(shí)際使用的具體要求，需要對(duì)其進(jìn)行再加工。然而，氧化鋁陶瓷的高硬度(莫氏硬度為9)、高脆性、低斷裂韌性、高耐磨性等特點(diǎn)，給加工帶來了極大的困難。目前，采用金剛石磨粒砂輪進(jìn)行磨削加工是氧化鋁陶瓷加工的最主要的方法。

燒結(jié)和電鍍是金剛石砂輪的主要制備方法。近些年，隨著釬焊技術(shù)的進(jìn)步和發(fā)展，相較于燒結(jié)和電鍍等傳統(tǒng)方法制備的金剛石砂輪，釬焊方法制作的金剛石砂輪有著金剛石和基體化學(xué)冶金結(jié)合后強(qiáng)度大、磨粒出刃高度高等特點(diǎn)。因此，釬焊方法逐漸成為一種不可或缺的金剛石砂輪制造方法。在金剛石釬焊砂輪磨削加工氧化鋁陶瓷的磨削機(jī)理方面，學(xué)者們做了很多的研究。陳建毅等[4-6]開展了500～600 μm粒徑的金剛石釬焊砂輪高速磨削氧化鋁陶瓷的磨損特征、摩擦學(xué)特性和磨削比能特性研究；贠自明[7]研究了90～109 μm金剛石釬焊砂輪磨削氧化鋁陶瓷的磨削力和表面粗糙度的變化規(guī)律；賀鑫[8]通過對(duì)比磨削力、聲發(fā)射、SEM形貌、表面粗糙度和殘余應(yīng)力等指標(biāo)，研究了120～150 μm粒徑的金剛石釬焊砂輪高效深磨氧化鋁陶瓷的磨削特性；劉文鋒[9]從磨削力、磨削力比、磨削比能、工件的表面形貌和表面粗糙度等參量入手研究了90～160 μm粒徑的金剛石釬焊砂輪磨削氧化鋁陶瓷的磨削機(jī)理；XIANG等[10-12]研究了金剛石釬焊砂輪磨削氧化鋁陶瓷的溫度特性；WU等[13]研究830～880 μm的微織構(gòu)金剛石釬焊端面砂輪磨削氧化鋁陶瓷的磨削力、工件表面粗糙度和自銳性特征。這些學(xué)者對(duì)金剛石釬焊砂輪磨削氧化鋁陶瓷的磨削機(jī)理的研究主要集中在大粒徑的金剛石釬焊砂輪上，對(duì)小粒徑、微粉級(jí)的金剛石釬焊砂輪的研究較少，特別是對(duì)40 μm及其以下粒徑的微粉金剛石釬焊砂輪磨削氧化鋁陶瓷的磨削機(jī)理的研究鮮見報(bào)道，無法為小粒徑、微粉級(jí)金剛石釬焊砂輪的磨削加工工藝參數(shù)選擇和加工機(jī)理分析提供足夠的借鑒，也無法為氧化鋁陶瓷的高效率自動(dòng)化流水線的精密、半精密磨削加工提供足夠的工藝參考和理論支撐。

然且，小粒徑、微粉級(jí)的金剛石釬焊砂輪在精密和半精密加工中有著很好的應(yīng)用前景。因此，試驗(yàn)采用自制的微粉金剛石釬焊砂輪對(duì)氧化鋁陶瓷進(jìn)行磨削試驗(yàn)，探索磨削深度、砂輪的轉(zhuǎn)速和工件的進(jìn)給速度對(duì)微粉金剛石砂輪受到的磨削力及磨削加工后氧化鋁陶瓷的表面粗糙度的影響。

1 試驗(yàn)條件和方法

氧化鋁陶瓷的磨削加工試驗(yàn)是在HAAS OM-2A數(shù)控機(jī)床上開展的。搭建的磨削試驗(yàn)平臺(tái)如圖1所示，試驗(yàn)在油冷卻液和油石在線修銳的條件下進(jìn)行。

a 試驗(yàn)裝置Experimentinstrument b 砂輪受力方向示意圖Diagramofgrindingwheelforcedirection圖1 磨削試驗(yàn)平臺(tái)Fig.1Grindingexperimentalplatform

所用的工具為真空釬焊制作的金剛石砂輪，其加工表面均勻分布著出刃高度為10～15 μm的微粉金剛石磨粒(基本顆粒尺寸小于40 μm)，如圖2所示。所用試件為30.0 mm×2.5 mm×8.0 mm(磨削面為30.0 mm×2.5 mm)的99%氧化鋁陶瓷塊，其主要性能參數(shù)如表1所示。

圖2 微粉金剛石釬焊砂輪

表 1 氧化鋁陶瓷主要性能參數(shù)

磨削力和工件表面粗糙度試驗(yàn)的試驗(yàn)參數(shù)分別如表2、表3所示。磨削力試驗(yàn)使用kistler 9272測(cè)力儀測(cè)量金剛石砂輪在切向X方向和軸向Z方向的磨削力(試驗(yàn)時(shí)設(shè)定工件的進(jìn)給方向與Y方向垂直，F(xiàn)X、FZ分別為進(jìn)給方向的力與切深方向的力)。測(cè)量時(shí)，同一組磨削參數(shù)測(cè)量3次，取3次測(cè)量結(jié)果的平均值作為最后的磨削力數(shù)值。關(guān)于粗糙度試驗(yàn)，同一組參數(shù)加工3次后，使用Mahr Perthometer PGK 120粗糙度儀對(duì)陶瓷試樣的被加工表面隨機(jī)測(cè)量10次，求其平均值作為最終的表面粗糙度值。

表 2 磨削力試驗(yàn)的試驗(yàn)參數(shù)

表 3 表面粗糙度試驗(yàn)的試驗(yàn)參數(shù)

2 試驗(yàn)結(jié)果及分析

2.1 磨削力與磨削用量的關(guān)系

2.1.1 磨削力與磨削深度的關(guān)系

圖3和圖4分別為磨削深度對(duì)微粉金剛石砂輪X方向和Z方向磨削力的影響。參數(shù)分別為vw=12 mm/min,n=6 000 r/min；vw=120 mm/min ,n=12 000 r/min；vw=240 mm/min,n=18 000 r/min(分別命名為組1、組2、組3)。如圖3和圖4所示：隨著磨削深度的增大，微粉金剛石砂輪受到的FX和FZ都不斷增大。在X方向上，當(dāng)磨削深度為2.0 μm時(shí)，組2和組3的金剛石砂輪受到的力大致相同，且大于組1的，3組力的大小順序?yàn)椋航M3>組2>組1，如圖3所示。砂輪在Z方向受到的力的大小順序與X方向的相同，且在磨削深度ap=1.0 μm時(shí)，組2和組3的力相當(dāng)，如圖4。通過對(duì)比X和Z方向的力的大小可知：相同條件下，Z方向的力明顯大于X方向的。與此同時(shí)，組1的FX和FZ均為最小值，分別為0.21 N和1.62 N。

圖3 磨削深度對(duì)微粉金剛石砂輪X方向的磨削力的影響

圖4 磨削深度對(duì)微粉金剛石砂輪Z方向的磨削力的影響

2.1.2 磨削力與砂輪轉(zhuǎn)速的關(guān)系

圖5和圖6分別為砂輪轉(zhuǎn)速對(duì)微粉金剛石砂輪X方向和Z方向磨削力的影響。試驗(yàn)參數(shù)分別為ap=1.0 μm，vw=12 mm/min；ap=2.0 μm，vw=60 mm/min；ap=3.0 μm，vw=120 mm/min(分別命名為組4、組5、組6)。

圖5 砂輪轉(zhuǎn)速對(duì)微粉金剛石砂輪X方向的磨削力的影響

如圖5和圖6所示：微粉金剛石砂輪在方向X和方向Z受到的力均隨著轉(zhuǎn)速的增大而減小，且除了組6在Z方向的力隨著轉(zhuǎn)速增大而急劇減小外，其他條件下的力的減小趨勢(shì)均比較緩慢。3組條件下的FZ和FX的大小順序均為：組6>組5>組4，且FZ明顯大于FX。同時(shí)，組4的FX和FZ均為最小值，分別為0.15 N和0.72 N。

圖6 砂輪轉(zhuǎn)速對(duì)微粉金剛石砂輪Z方向的磨削力的影響

2.1.3 磨削力與工件進(jìn)給速度的關(guān)系

圖7和圖8分別為工件進(jìn)給速度對(duì)微粉金剛石砂輪X方向和Z方向磨削力的影響，其中：vw=12、60、120、240 mm/min。試驗(yàn)參數(shù)為：ap=1.0 μm，n=6 000 r/min；ap=2.0 μm，n=12 000 r/min；ap=4.0 μm，n=18 000 r/min(分別命名為組7、組8、組9)。

圖7 工件進(jìn)給速度對(duì)微粉金剛石砂輪X方向的磨削力的影響

圖8 工件進(jìn)給速度對(duì)微粉金剛石砂輪Z方向的磨削力的影響

如圖7和圖8所示：微粉金剛石砂輪在切向X方向和軸向Z方向受到的力都是隨著工件進(jìn)給速度的增大而增大，且相同條件下，F(xiàn)X和FZ的大小順序均為組9>組8>組7，Z方向的力明顯大于X方向的。與此同時(shí)，組7的FX和FZ均為最小值，分別為0.21 N和1.52 N。

2.2 表面粗糙度與磨削用量的關(guān)系

2.2.1 表面粗糙度與磨削深度的關(guān)系

圖9為磨削深度對(duì)氧化鋁陶瓷表面粗糙度的影響。如圖9所示：固定n=5 000 r/min和vw=1 mm/min，隨著磨削深度的增加，氧化鋁陶瓷的表面粗糙度值Ra不斷增加。此時(shí)，Ra的最小值為0.864 μm，最大值為0.913 μm。

圖9 磨削深度對(duì)磨削后氧化鋁陶瓷的表面粗糙度的影響

2.2.2 表面粗糙度與砂輪轉(zhuǎn)速的關(guān)系

圖10為砂輪轉(zhuǎn)速對(duì)氧化鋁陶瓷表面粗糙度的影響。如圖10所示：固定ap=1.0 μm，vw=100 mm/min，隨著砂輪轉(zhuǎn)速的不斷變大，Ra不斷變小。此時(shí)，Ra的最小值為0.964 μm，最大值為1.007 μm。

圖10 砂輪轉(zhuǎn)速對(duì)磨削后氧化鋁陶瓷的表面粗糙度的影響

2.2.3 表面粗糙度與工件進(jìn)給速度的關(guān)系

圖11為工件進(jìn)給速度對(duì)氧化鋁陶瓷表面粗糙度的影響。如圖11所示：固定ap=1.0 μm，n=20 000 r/min，隨著進(jìn)給速度的增大，Ra變大。此時(shí)，Ra的最小值為0.438 μm，最大值為0.964 μm。

圖11 工件進(jìn)給速度對(duì)磨削后氧化鋁陶瓷的表面粗糙度的影響

2.3 磨削力和表面粗糙度分析

在磨削過程中，微粉金剛石釬焊砂輪主要受到來自氧化鋁陶瓷的切向磨削力FX、FY和軸向磨削力FZ(本試驗(yàn)中FY為0)。金剛石砂輪磨削加工氧化鋁陶瓷時(shí)，假設(shè)金剛石砂輪單位面積上所受到的磨削力是相同的，即單顆微粉金剛石磨粒所受到的磨削力是一樣的，那么在進(jìn)給速度和砂輪轉(zhuǎn)速固定的情況下，隨著磨削深度的增加，金剛石砂輪與氧化鋁陶瓷試件接觸面積增大，單顆微粉金剛石磨粒加工面積也變大。同時(shí)，單顆微粉金剛石磨粒在軸向方向的加工深度也增大，即單顆微粉金剛石磨粒的實(shí)際加工厚度變大了，如圖12所示，使得金剛石砂輪在切向X方向和軸向Z方向總的磨削力增大。

圖12 不同磨削深度時(shí)的磨削示意圖

在磨削深度與工件進(jìn)給速度不變的情況下，單顆微粉金剛石磨粒雖然沒有明顯變化，但是隨著砂輪轉(zhuǎn)速的增加，單位時(shí)間內(nèi)參與磨削加工的單顆微粉金剛石磨粒加工陶瓷試件的次數(shù)變多，導(dǎo)致單顆磨粒的實(shí)際加工厚度變薄，面積變小，進(jìn)而使砂輪的切向X和軸向Z的磨削力都變小。相反，在磨削深度和砂輪轉(zhuǎn)速不變的條件下，隨著工件進(jìn)給速度的變大，單位時(shí)間內(nèi)單顆微粉金剛石磨粒的實(shí)際加工厚度增加，導(dǎo)致單位時(shí)間內(nèi)氧化鋁試件的材料去除率增加，造成切向X和軸向Z的磨削力上升。此外，進(jìn)給速度的增大也會(huì)加大金剛石砂輪和氧化鋁試件的摩擦力，最終造成磨削力的進(jìn)一步變大。與此同時(shí)，由于磨粒加工是典型的負(fù)前角加工，所以微粉金剛石砂輪在Z方向上的受力明顯大于X方向上的，即FZ明顯大于FX。

工件的表面形貌和表面粗糙度是評(píng)價(jià)工件表面質(zhì)量的重要指標(biāo)。通過觀察微粉金剛石釬焊砂輪濕磨后的氧化鋁陶瓷的表面微觀形貌發(fā)現(xiàn)，氧化鋁陶瓷試樣的表面只出現(xiàn)破碎現(xiàn)象，而沒有出現(xiàn)明顯的耕犁痕跡，如圖13所示。且隨著加工時(shí)間的變長(zhǎng)，油冷卻液逐漸變白，說明在微粉金剛石釬焊砂輪的磨削過程中，氧化鋁陶瓷主要通過脆性斷裂的方式去除。

圖13 磨削后氧化鋁陶瓷的表面微觀形貌圖

磨削后氧化鋁陶瓷的表面粗糙度的大小決定于單顆微粉金剛石磨粒未變形磨削厚度的大小[14]，而單顆微粉金剛石磨粒未變形磨削厚度又與磨削深度、砂輪轉(zhuǎn)速和進(jìn)給速度有著重要的聯(lián)系。因此，探索氧化鋁陶瓷的表面粗糙度與磨削深度、砂輪轉(zhuǎn)速和進(jìn)給速度的影響規(guī)律，有助于更好地控制磨削加工后氧化鋁陶瓷的表面質(zhì)量。在固定砂輪轉(zhuǎn)速和工件進(jìn)給速度的條件下，隨著磨削深度的增加，陶瓷試件材料去除率變大，單顆磨粒未變形磨削厚度增大，致使試件表面產(chǎn)生微碎裂、微裂紋，造成表面粗糙度變大。當(dāng)磨削深度和進(jìn)給速度固定的情況下，隨著砂輪轉(zhuǎn)速的增大，參與磨削加工的微粉金剛石磨粒增多，使得未變形磨削厚度減小，且金剛石砂輪和氧化鋁陶瓷試件之間的摩擦力變小，進(jìn)而導(dǎo)致表面粗糙度變小。相反，在固定磨削深度和砂輪轉(zhuǎn)速的條件下，隨著氧化鋁陶瓷工件進(jìn)給速度的增大，單位區(qū)域內(nèi)的磨粒數(shù)減少，未變形磨削厚度變大，且金剛石砂輪和氧化鋁陶瓷試件之間的摩擦力升高，進(jìn)而導(dǎo)致表面粗糙度變大。

2.4 低磨削力磨削和低工件表面粗糙度的工藝參數(shù)

結(jié)合磨削力試驗(yàn)和表面粗糙度試驗(yàn)，優(yōu)選出了低磨削力和低工件表面粗糙度的加工工藝參數(shù)并進(jìn)行試驗(yàn)和分析得到：在磨削深度為1.0 μm，進(jìn)給速度為12 mm/min，砂輪轉(zhuǎn)速為24 000 r/min的條件下，測(cè)得的釬焊微粉金剛石砂輪受到的X方向和Z方向的磨削力分別為0.15 N和0.72 N，減少了對(duì)微粉金剛石釬焊砂輪的磨損。在精密加工過程中，采用磨削深度為1.0 μm，進(jìn)給速度為1 mm/min，砂輪轉(zhuǎn)速為20 000 r/min的工藝參數(shù)對(duì)氧化鋁陶瓷進(jìn)行磨削加工，可使加工后的氧化鋁陶瓷的表面粗糙度值達(dá)到0.438 μm。

3 結(jié)論

(1)在磨削深度為1.0 μm，進(jìn)給速度為12 mm/min，砂輪轉(zhuǎn)速為24 000 r/min的情況下，釬焊微粉金剛石砂輪受到的X方向和Z方向的磨削力分別為0.15 N和0.72 N，有效地降低了磨削力，減少了對(duì)金剛石砂輪的磨損。

(2)選用磨削深度為1.0 μm，進(jìn)給速度為1 mm/min，砂輪轉(zhuǎn)速為20 000 r/min的工藝參數(shù)對(duì)氧化鋁陶瓷進(jìn)行精磨，可使加工后的氧化鋁陶瓷的表面粗糙度值達(dá)到0.438 μm。

(3)微粉金剛石釬焊砂輪在磨削加工氧化鋁陶瓷過程中，氧化鋁陶瓷主要通過脆性斷裂的方式去除，砂輪受到的磨削力和工件的表面粗糙度值都受到了磨削參數(shù)的影響。適當(dāng)提高砂輪轉(zhuǎn)速，減小磨削深度，降低進(jìn)給速度均有利于降低磨削力和工件表面粗糙度。