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        Ti-40Nb 合金表面多孔結(jié)構(gòu)的制備與形成機(jī)制

        2021-05-20 08:29:02康彬彬
        有色金屬材料與工程 2021年2期
        關(guān)鍵詞:植入體多孔結(jié)構(gòu)磁控濺射

        康彬彬, 李 偉, 劉 平, 張 柯

        (上海理工大學(xué) 材料科學(xué)與工程學(xué)院,上海 200093)

        在生物醫(yī)用材料領(lǐng)域,純鈦和鈦合金具有優(yōu)異的生物相容性和耐腐蝕性,作為人體硬組織的最佳替代產(chǎn)品已在骨科和牙種植領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用[1-3]。具有高生物相容性和力學(xué)性能的氧化鋯材料也已被應(yīng)用到牙科種植體中[4]。然而,考慮到在表面形態(tài)、設(shè)計(jì)和連接等方面的廣泛用途,鈦及鈦合金仍然是制備骨植入體的首選材料[5-7]。在眾多合金中,Ti-Nb 系列β 鈦合金由于其較高的強(qiáng)度和較低的彈性模量而受到越來(lái)越多的關(guān)注,并成為最具潛力的醫(yī)用骨替代材料之一[8]。但是,β 鈦合金在植入物的臨床轉(zhuǎn)化過(guò)程中會(huì)出現(xiàn)應(yīng)力屏蔽現(xiàn)象,即自然骨和植入體之間彈性模量不匹配,導(dǎo)致其被植入人體后,載荷不能從植入體順暢地傳遞到相鄰的骨組織,致使周?chē)霈F(xiàn)骨吸收。為了解決這一問(wèn)題,可以在純鈦或鈦合金中引入孔隙以改善植入體的性能,從而降低材料的彈性模量。多孔結(jié)構(gòu)的引入能夠使植入體與植入部位骨組織的彈性模量相匹配,從而減輕甚至消除應(yīng)力屏蔽的影響[9-10]。此外多孔結(jié)構(gòu)使植入體具有更大的表面積和更粗糙的表面,這將有利于成骨細(xì)胞的黏附、增殖和分化,利于新生骨組織生長(zhǎng)進(jìn)入孔隙,獲得植入體與骨組織之間的牢固結(jié)合,增強(qiáng)骨整合。

        近年來(lái),鈦植入體的表面改性已成為許多公司和科研機(jī)構(gòu)的主要關(guān)注點(diǎn)[11]。20 世紀(jì)70 年代初,牙科鈦植入體的表面就已被加工成粗糙表面。植入體表面的納米尺度特征以及化學(xué)成分決定了植入體周?chē)缙诘墓切纬蒣12-14]。表面納米尺度特征可以增加蛋白質(zhì)的吸附并刺激成骨細(xì)胞遷移,從而加速骨整合[15-16]。大多數(shù)商用鈦基植入體的粗糙表面都是通過(guò)混合技術(shù)制備的,例如噴砂處理后進(jìn)行酸蝕處理[17]。此外,陽(yáng)極氧化[18]、堿處理[19]、微弧氧化[20]以及各種沉積技術(shù)也被應(yīng)用于鈦合金的表面改性。然而,這些表面改性技術(shù)過(guò)程較為復(fù)雜且難以準(zhǔn)確地控制多孔層的厚度和孔隙參數(shù)。去合金化是一個(gè)選擇性腐蝕過(guò)程,通過(guò)從合金中選擇性地去除一種成分,來(lái)制備連續(xù)多孔的高表面積金屬[21],因其操作簡(jiǎn)便、可控性高和成本低廉等優(yōu)點(diǎn)已引起國(guó)內(nèi)外研究者的廣泛關(guān)注[22];然而,該方法通常用于制備塊狀多孔材料,目前未見(jiàn)有報(bào)道將該方法應(yīng)用于鈦合金的表面改性。在各種鈦合金表面改性的方法中,磁控濺射作為一種有力的方法,可以適應(yīng)各種形狀的植入體。將這兩種技術(shù)相結(jié)合可以更方便地控制多孔結(jié)構(gòu)層的厚度,為調(diào)控多孔結(jié)構(gòu)的孔徑和孔隙率提供更多的可能性和更廣闊的空間。

        本文采用磁控濺射和去合金化相結(jié)合的表面改性工藝,在Ti-40Nb 合金表面制備一層微納通透的多孔結(jié)構(gòu)層,以匹配人骨彈性模量,抑制應(yīng)力屏蔽現(xiàn)象并促進(jìn)組織生長(zhǎng)。此外,通過(guò)對(duì)鑄態(tài)合金的去合金化,探索磁控濺射薄膜與其鑄態(tài)下成孔機(jī)制的區(qū)別。

        1 試驗(yàn)方法

        1.1 薄膜的制備

        試驗(yàn)用Ti-40Nb 合金基底采用LG050 型懸浮熔煉爐熔煉而成,對(duì)熔煉獲得的合金進(jìn)行軋制和均勻化處理,然后切片并拋光。Ti-Nb-Cu 合金薄膜采用JGP-450 型多靶磁控濺射儀制備。磁控濺射采用Ti20.5Nb6.1Cu73.4復(fù)合靶材(質(zhì)量分?jǐn)?shù)99.95%),直徑為75 mm,厚度為3 mm。合金薄膜沉積在Si 片和Ti-40Nb 合金基底上。試驗(yàn)前,Si 片和Ti-40Nb合金分別用丙酮和無(wú)水乙醇超聲清洗各20 min 后烘干備用。在沉積之前,將真空腔室的真空度抽至低于3.0×10-4Pa。在沉積過(guò)程中,向?yàn)R射室注入25 cm3/min 流量的Ar,濺射時(shí)的工作氣壓為0.4 Pa。靶材由射頻電源控制,薄膜濺射功率為120 W,沉積時(shí)間為1 h,基底不加熱。試驗(yàn)過(guò)程中通過(guò)控制基底卡盤(pán)的自轉(zhuǎn)獲得均勻生長(zhǎng)的Ti-Nb-Cu 合金薄膜,自轉(zhuǎn)速度為10 r/min。

        將濺射得到的樣品放入0.5%HNO3水溶液中,在室溫下攪拌,去合金化時(shí)間為4 h。去合金化完成后用去離子水沖洗樣品,將剩余的酸洗凈,然后放入1 mol/L 的KOH 水溶液中繼續(xù)去合金化12,24,36 h。通過(guò)兩種腐蝕劑的先后反應(yīng)得到表面多孔結(jié)構(gòu),改變反應(yīng)時(shí)間來(lái)調(diào)制薄膜的表面形貌以獲得最佳的表面多孔結(jié)構(gòu)。去合金化反應(yīng)結(jié)束后,從溶液中取出樣品,并依次用無(wú)水乙醇和去離子水沖洗數(shù)次以去除殘留的腐蝕劑,然后將制備好的樣品放入80 ℃的真空干燥箱中,避免氧化。

        1.2 鑄態(tài)Ti-Nb-Cu 合金的制備與去合金化

        采用德國(guó)Buhler 真空非自耗電弧熔煉鑄造設(shè)備制備Ti-Nb-Cu 合金鑄錠。按20%Ti,10%Nb,70%Cu的配料比進(jìn)行配料(配料比由磁控濺射出的Ti-Nb-Cu 合金薄膜中各元素的質(zhì)量分?jǐn)?shù)確定),將稱(chēng)量好的原材料放置于水冷銅模坩堝中,腔體抽真空至5×10-2Pa,并向腔體內(nèi)通入高純Ar,使腔體內(nèi)氣壓保持在0.06 MPa 左右。使用約為350 mA 電流進(jìn)行合金熔煉。為確保合金樣品熔煉均勻,每個(gè)樣品至少反復(fù)熔煉4 次,每次持續(xù)熔煉4~5 min,最后得到鑄態(tài)Ti-Nb-Cu 合金。合金鑄錠表面泛金屬光澤,無(wú)氧化層。將鑄態(tài)Ti-Nb-Cu 合金打磨拋光后放入30%HNO3水溶液中常溫下去合金化4 h,然后將樣品清洗、干燥。

        1.3 表征與測(cè)試

        采用Quanta 450 場(chǎng)發(fā)射環(huán)境掃描電子顯微鏡(scanning electron microscope, SEM)與能譜儀(energy dispersive spectroscopy, EDS)表征去合金化前后樣品的表面和橫截面形貌以及薄膜成分。采用X 射線衍射儀(X-ray diffraction, XRD)對(duì)去合金化前后的樣品進(jìn)行物相分析。樣品的硬度、彈性模量以及載荷-位移曲線采用NANO Indenter G200 型納米壓痕儀進(jìn)行測(cè)量。采用金相顯微鏡觀察鑄態(tài)Ti-Nb-Cu 合金的金相組織。

        2 結(jié)果與分析

        2.1 多孔結(jié)構(gòu)的表征

        通過(guò)磁控濺射制備Ti-Nb-Cu 合金薄膜,將其作為后續(xù)通過(guò)化學(xué)去合金化法制備多孔結(jié)構(gòu)的試驗(yàn)樣品。圖1(a)為沉積在Si 片上的Ti-Nb-Cu 合金薄膜的表面和橫截面SEM 圖。從圖1(a)中可以看出,薄膜表面呈現(xiàn)大顆粒聚集的形態(tài),在此濺射條件下,沉積的薄膜均勻且致密,薄膜的厚度為1.2 μm左右。

        圖1(b)為沉積在Ti-40Nb 合金基底上的Ti-Nb-Cu 合金薄膜的SEM 圖,對(duì)比圖1(a)可以發(fā)現(xiàn),沉積在Si 片和Ti-40Nb 合金基底上的薄膜具有相似的表面形貌,皆為大顆粒聚集在表面的具有一定表面粗糙度的薄膜。這是由于本試驗(yàn)中濺射功率較大,使得Ar 離子和沉積離子具有較高的能量,導(dǎo)致濺射速率較大,使得濺射在基底上的粒子來(lái)不及在表面進(jìn)行遷移就已經(jīng)形核長(zhǎng)大,因此造成表面出現(xiàn)大顆粒聚集的現(xiàn)象;但是也增加了薄膜的表面粗糙度,使薄膜表面積增大,這有利于后續(xù)的去合金化制備多孔結(jié)構(gòu)。對(duì)圖1(b)~(d)中的薄膜進(jìn)行EDS分析,結(jié)果見(jiàn)表1。Ti-Nb-Cu 合金薄膜中Nb 元素和Cu 元素的含量與靶材Ti20.5Nb6.1Cu73.4的成分相比,含量出現(xiàn)偏差,這是由于本試驗(yàn)濺射條件下,兩種元素濺射速率的差異所致。

        圖1(c)為T(mén)i-Nb-Cu 合金薄膜經(jīng)過(guò)0.5%HNO3水溶液去合金化4 h 后的表面形貌。從圖1(c)中可以看出薄膜表面出現(xiàn)了狹長(zhǎng)的孔隙。對(duì)比表1 中的元素含量可知,薄膜中Cu 元素由原來(lái)的68.78%降低為25.09%,其他元素相應(yīng)增加,這表明薄膜中Cu 元素在0.5%HNO3水溶液中被選擇性地去除,其余元素?cái)U(kuò)散重組形成孔隙。繼續(xù)延長(zhǎng)去合金化時(shí)間,Cu 元素和薄膜表面形貌不會(huì)再有變化,這是由于隨著表面Cu 元素被去除使得Ti 元素和Nb 元素暴露在表面,阻止了內(nèi)部Cu 元素與酸的進(jìn)一步反應(yīng)。

        試驗(yàn)選用KOH 堿性溶液對(duì)Ti-Nb-Cu 合金薄膜進(jìn)行進(jìn)一步去合金化,根據(jù)pH 電勢(shì)圖可知OH-很容易通過(guò)自發(fā)氧化與Cu 原子發(fā)生反應(yīng)[23]。此外,Ti 原子也可以在堿性溶液中被腐蝕,與OH-反應(yīng)形成Ti(OH)2,然后進(jìn)一步分解為T(mén)iO2。圖1(d)為T(mén)i-Nb-Cu 合金薄膜經(jīng)過(guò)0.5%HNO3水溶液去合金化4 h,隨后在1 mol/L KOH 水溶液中去合金化12 h后的表面形貌。從圖1(d)中可以看出,薄膜表面已經(jīng)形成了具有微納通透特征的多孔結(jié)構(gòu),孔隙均勻地分布在薄膜的表面,且表現(xiàn)為分層多級(jí)孔。這種多孔的納米結(jié)構(gòu)可以為成骨細(xì)胞的生長(zhǎng)提供有利的條件,增強(qiáng)蛋白質(zhì)的吸附,加強(qiáng)成骨細(xì)胞的遷移、血管的生成和早期的骨形成[24-25]。Park 等[26-27]研究發(fā)現(xiàn),具有這種納米多孔結(jié)構(gòu)的植入體表面可以縮短骨整合的時(shí)間,使植入體與骨組織之間形成機(jī)械互鎖,并確保骨和植入物界面的長(zhǎng)期機(jī)械穩(wěn)定性。從表1 中的元素組成可以看出,薄膜中的Cu 元素已經(jīng)被完全去除,部分Ti 元素在 KOH 水溶液中形成TiO2,導(dǎo)致Nb 元素含量相對(duì)增加。將在 KOH 水溶液中去合金化的時(shí)間延長(zhǎng)至24 h,多孔結(jié)構(gòu)逐漸消失,形成封閉的孔洞,如圖1(e)所示。將在KOH 水溶液中去合金化的時(shí)間延長(zhǎng)至36 h,孔洞消失,薄膜表面趨于平整,如圖1(f)所示。

        圖 1 去合金化前后Ti-Nb-Cu 合金薄膜的SEM 圖Fig.1 SEM images of the Ti-Nb-Cu alloy films before and after dealloying

        表 1 去合金化前后Ti-Nb-Cu 合金薄膜的元素組成(質(zhì)量分?jǐn)?shù)/%)Tab.1 Compositions of the Ti-Nb-Cu alloy films before and after alloying (mass fraction/%)

        圖2 為T(mén)i-40Nb 合金和不同條件下Ti-Nb-Cu合金薄膜的XRD 譜圖。在圖2(b)和(c)的XRD衍射峰中,在43°附近出現(xiàn)Cu(111)的寬峰,說(shuō)明沉積的Ti-Nb-Cu 合金薄膜中Cu 元素以非晶的形式存在。此外,對(duì)比圖 2(a)Ti-40Nb 合金的衍射峰可知,Ti-Nb-Cu 合金薄膜中Ti 元素以β-Ti 的形式存在。薄膜在0.5 %HNO3水溶液中去合金化4 h 后,大部分Cu 元素被選擇性地去除,對(duì)應(yīng)于圖2(d),Cu 元素的衍射峰消失,但此時(shí)薄膜中仍存在Cu 元素,這是由于在39°附近的NbTi 峰強(qiáng)度增加,少量Cu 元素的峰強(qiáng)度與之相比無(wú)法在衍射譜圖中顯示。在37°附近出現(xiàn)TiO2的衍射峰,這是由于在樣品保存過(guò)程中與空氣接觸,表面的Ti 元素被氧化所致。圖2(e)為經(jīng)過(guò)1 mol/L KOH 水溶液去合金化12 h 后Ti-Nb-Cu 合金薄膜的XRD 譜圖,NbTi(110)特征峰的強(qiáng)度再次加強(qiáng),這是由于薄膜中Cu 元素已被完全去除。綜合分析XRD 譜圖發(fā)現(xiàn),其與SEM圖反映的結(jié)果相一致。

        圖 2 Ti-40Nb 合金和不同條件下Ti-Nb-Cu合金薄膜的XRD 譜圖Fig.2 XRD patterns of the Ti-40Nb alloy and Ti-Nb-Cu alloy films under different conditions

        2.2 多孔結(jié)構(gòu)的力學(xué)性能分析

        2.2.1 彈性模量和硬度

        圖 3 Ti-40Nb 合金(S1),Ti-Nb-Cu 合金薄膜(S2),HNO3 去合金化4 h(S3),HNO3 去合金化4 h+KOH 去合金化12 h(S4)的彈性模量與硬度Fig.3 Elastic modulus and hardness of Ti-40Nb alloy (S1),Ti-Nb-Cu thin alloy film (S2), dealloying in HNO3 for 4 h(S3) and dealloying in HNO3 for 4 h+KOH for 12 h(S4)

        試驗(yàn)采用納米壓痕儀來(lái)測(cè)量多孔結(jié)構(gòu)的彈性模量和硬度。圖3 為T(mén)i-40Nb 合金以及Ti-Nb-Cu合金薄膜去合金化前后彈性模量和硬度的變化圖。從圖3 中可以看出,隨著多孔結(jié)構(gòu)的形成,薄膜的彈性模量逐漸降低,但硬度也在降低。其中Ti-40Nb合金基底的彈性模量約90 GPa;沉積一層Ti-Nb-Cu合金薄膜后表面彈性模量降低到71 GPa;在0.5%HNO3水溶液中去合金化后,表面彈性模量降低到56 GPa;在1 mol/L KOH 水溶液中繼續(xù)對(duì)其去合金化,形成了多孔結(jié)構(gòu),表面彈性模量降低到37 GPa,接近人體骨骼和皮質(zhì)的彈性模量,達(dá)到了種植體所需的彈性模量。隨著薄膜的沉積和多孔結(jié)構(gòu)的形成,Ti-40Nb 合金的表面硬度也由原來(lái)的3.0 GPa降低到0.8 GPa,但是表面硬度的降低并不會(huì)影響合金的整體強(qiáng)度。

        2.2.2 超彈性

        采用納米壓痕儀測(cè)出Ti-40Nb 合金和去合金化前后Ti-Nb-Cu合金薄膜的載荷-位移曲線,見(jiàn)圖4。比較圖4 中的4 條載荷-位移曲線可以發(fā)現(xiàn),隨著多孔結(jié)構(gòu)的形成,壓頭的壓入深度逐漸增加,殘余壓痕深度也顯著增加,而且在去合金化后出現(xiàn)壓入深度突然增加的現(xiàn)象。這說(shuō)明多孔結(jié)構(gòu)的形成降低了合金的表面彈性模量,同時(shí)也大幅降低了合金的表面強(qiáng)度和硬度。但是從多孔結(jié)構(gòu)的載荷-位移曲線可以看出,其仍然具有超彈性。

        圖 4 Ti-40Nb 合金以及去合金化前后薄膜的載荷-位移曲線Fig.4 Load-displacement curves of the Ti-40Nb alloy and thin films before and after dealloying

        2.3 鑄態(tài)合金的成孔機(jī)制

        為了研究磁控濺射制備的Ti-Nb-Cu 合金薄膜與鑄態(tài)Ti-Nb-Cu 合金成孔機(jī)制的區(qū)別,在相同的酸中對(duì)鑄態(tài)合金進(jìn)行去合金化。本文選擇30%HNO3水溶液對(duì)鑄態(tài)Ti-Nb-Cu 合金進(jìn)行去合金化,與腐蝕Ti-Nb-Cu 合金薄膜所用的0.5% HNO3水溶液相比,在濃度上做出了調(diào)整,這是因?yàn)殍T態(tài)合金厚度較大,為了能直觀快速地觀察多孔結(jié)構(gòu)的形成,使用了濃度更高的30%HNO3水溶液。圖5(a)和(b)為鑄態(tài)Ti-Nb-Cu 合金的金相圖。從圖5 中可以看出,鑄態(tài)Ti-Nb-Cu 合金主要由兩種組織組成,從其XRD 譜圖(圖6a)分析得出,兩種組織分別為CuNbTi 相和CuTi 相。經(jīng)過(guò)30%HNO3水溶液去合金化4 h 后,出現(xiàn)不連續(xù)的細(xì)長(zhǎng)孔(圖5c)。對(duì)比分析圖6 中鑄態(tài)Ti-Nb-Cu 合金去合金化前后的XRD譜圖可知,去合金化后39°,56°,69°附近TiNb 相的衍射峰消失,同時(shí)部分CuTi 相也在去合金化后從衍射譜圖中消失。由此可以得出:在30%HNO3水溶液中去合金化4 h 后,CuTiNb 相被選擇性地腐蝕掉,腐蝕掉的CuTiNb 相則由TiNb 的先析出相和部分CuTi 的固溶體組成。圖5(d)為鑄態(tài)Ti-Nb-Cu 合金去合金化后的表面形貌,此時(shí)由剩余的CuTi 相構(gòu)成的多孔結(jié)構(gòu)已經(jīng)形成,為孔徑5 μm 左右的大孔,且孔隙之間互不連通。

        圖 5 鑄態(tài)Ti-Nb-Cu 合金去合金化前后的金相圖和SEM 圖Fig.5 Metallography and SEM images of the as-cast Ti-Nb-Cu alloys before and after dealloying

        Ti-Cu 合金已在體外和體內(nèi)試驗(yàn)中被證實(shí)具有出色的抗菌性能[28]。Liu 等[29-30]證明了由Ti-Cu 合

        圖 6 鑄態(tài)Ti-Nb-Cu 合金去合金化前后的XRD 譜圖Fig.6 XRD patterns of the as-cast Ti-Nb-Cu alloys before and after dealloying

        金制成的牙科植入物在體內(nèi)具有明顯的抗菌活性,與純鈦植入物相比,抑制了細(xì)菌感染導(dǎo)致的骨吸收。但是,由于鈦和鈦合金的生物惰性,作為植入物難以與軟組織形成生物整合,因此,需要在不降低抗菌活性的情況下改善其生物相容性。表面改性可以改變植入物的表面結(jié)構(gòu)、形態(tài)和化學(xué)組成,從而提高材料的生物相容性[31]。本試驗(yàn)所制備的表面Ti-Cu 多孔結(jié)構(gòu)有望解決這一問(wèn)題,值得后續(xù)對(duì)其進(jìn)行深入研究。

        3 結(jié) 論

        (1)本文通過(guò)磁控濺射在Ti-40Nb 合金基體上沉積了一層均勻且致密的Ti-Nb-Cu 合金薄膜,并以此薄膜作為制備納米多孔結(jié)構(gòu)的前驅(qū)體薄膜。在0.5%HNO3水溶液中去合金化4 h,隨后繼續(xù)在1 mol/L KOH 水溶液中去合金化12 h,可以得到微納通透的分層多級(jí)孔。

        (2)多孔結(jié)構(gòu)的形成使合金的表面彈性模量達(dá)到37 GPa,接近人骨彈性模量,達(dá)到種植體所需的彈性模量,有效降低了應(yīng)力屏蔽帶來(lái)的影響。

        (3)對(duì)比分析鑄態(tài)Ti-Nb-Cu 合金和磁控濺射Ti-Nb-Cu 合金薄膜成孔的過(guò)程可以得出,Ti-Nb-Cu合金薄膜去合金化后,薄膜中的Cu 元素被選擇性地去除,留下TiNb 相形成多孔結(jié)構(gòu),且為微納通透的分層多級(jí)孔;而鑄態(tài)Ti-Nb-Cu 合金則是選擇性地將CuNbTi 相去除,留下CuTi 相形成多孔結(jié)構(gòu),孔徑較大且互不連通。

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