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        一種砷烷的合成提純方法

        2021-04-04 19:52:56
        低溫與特氣 2021年2期

        申請(專利)號:202011385329.6

        公開(公告)日:2020-10-23

        申請(專權(quán))人:深圳市博純半導(dǎo)體材料有限公司 博純材料股份有限公司

        摘要:本發(fā)明涉及一種砷烷的合成提純方法,包括:步驟一:將鋅粉和砷粉放入石英器皿內(nèi)混合均勻再置于不銹鋼反應(yīng)罐內(nèi)抽真空并充入高純惰性氣體,加壓加熱得到砷化鋅粉末;步驟二,砷化鋅粉末至于反應(yīng)器中,加入稀硫酸反應(yīng)生成粗制砷烷氣體;步驟三,將粗制砷烷氣體通入吸附裝置得到砷烷氣體;步驟四,使用液氮冷阱捕集砷烷氣體,使砷烷氣體冷凝為液態(tài)砷烷,使用真空泵抽去不凝氣體并取下冷肼外的液氮罐,使砷烷揮發(fā),得到純凈的砷烷氣體;步驟五:將純凈的砷烷氣體通入預(yù)先處理過的潔凈鋼瓶中進行保存,得到成品。能夠有效減少砷烷氣體內(nèi)的雜質(zhì),提高本發(fā)明所述砷烷的純度,同時,將吸附劑的加入和分子篩的選擇放在一個裝置內(nèi)進行能夠提高反應(yīng)效率。

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