申請(專利)號：202011385329.6

公開(公告)日：2020-10-23

申請(專權(quán))人：深圳市博純半導(dǎo)體材料有限公司 博純材料股份有限公司

摘要:本發(fā)明涉及一種砷烷的合成提純方法，包括：步驟一：將鋅粉和砷粉放入石英器皿內(nèi)混合均勻再置于不銹鋼反應(yīng)罐內(nèi)抽真空并充入高純惰性氣體，加壓加熱得到砷化鋅粉末；步驟二，砷化鋅粉末至于反應(yīng)器中，加入稀硫酸反應(yīng)生成粗制砷烷氣體；步驟三，將粗制砷烷氣體通入吸附裝置得到砷烷氣體；步驟四，使用液氮冷阱捕集砷烷氣體，使砷烷氣體冷凝為液態(tài)砷烷，使用真空泵抽去不凝氣體并取下冷肼外的液氮罐，使砷烷揮發(fā)，得到純凈的砷烷氣體；步驟五：將純凈的砷烷氣體通入預(yù)先處理過的潔凈鋼瓶中進行保存，得到成品。能夠有效減少砷烷氣體內(nèi)的雜質(zhì)，提高本發(fā)明所述砷烷的純度，同時，將吸附劑的加入和分子篩的選擇放在一個裝置內(nèi)進行能夠提高反應(yīng)效率。