及取樣方法

申請(qǐng)(專利)號(hào)：202011121741.7

公開(kāi)(公告)日：2020-12-11

申請(qǐng)(專權(quán))人：唐山三孚電子材料有限公司

摘要:本發(fā)明公開(kāi)了一種低沸點(diǎn)電子氣體密閉取樣系統(tǒng)及取樣方法，涉及低沸點(diǎn)氣體取樣技術(shù)領(lǐng)域。低沸點(diǎn)電子氣體密閉取樣系統(tǒng)，包括取樣瓶、吹掃置換系統(tǒng)和冷卻系統(tǒng)；冷卻系統(tǒng)包括冷卻筒，冷卻筒筒壁設(shè)有與外部管線連通的夾層，夾層中裝有冷媒，外部管線上裝有循環(huán)泵，冷卻筒中裝有取樣瓶；取樣瓶?jī)蓚?cè)分別設(shè)有進(jìn)氣管和出氣管，進(jìn)氣管和出氣管分別通過(guò)三通閥門(mén)與吹掃置換系統(tǒng)連接，吹掃置換系統(tǒng)包括高純氣體吹掃系統(tǒng)、樣品氣引入系統(tǒng)、吹掃氣檢測(cè)系統(tǒng)、廢氣排出系統(tǒng)和真空系統(tǒng)。本發(fā)明提出的取樣系統(tǒng)及取樣方法實(shí)現(xiàn)不同種類低沸點(diǎn)電子氣體的密閉取樣，有效防止空氣對(duì)產(chǎn)品造成污染。取樣系統(tǒng)采用冷卻筒對(duì)低沸點(diǎn)電子氣體進(jìn)行冷卻液化富集，增大取樣量。