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摘 要：本文采用二次離子質(zhì)譜儀檢測(cè)氮化鎵材料中離子注入Cr的濃度，使用相對(duì)靈敏度因子法對(duì)氮化鎵中Cr含量定量分析，為相關(guān)生產(chǎn)工藝和實(shí)驗(yàn)研究提供參考。

關(guān)鍵詞：氮化鎵;二次離子質(zhì)譜;離子注入;相對(duì)靈敏度因子

氮化鎵材料禁帶寬度較大，是寬禁帶半導(dǎo)體之一，被廣泛用作微波功率晶體管和藍(lán)色光發(fā)光器件的生產(chǎn)制造原材料。氮化鎵材料的探究與使用是目前全世界半導(dǎo)體領(lǐng)域的創(chuàng)新和重點(diǎn)，是制造微電子器件和光電子器件的新一代半導(dǎo)體材料，并與碳化硅等半導(dǎo)體材料一并被稱為是繼第一代硅、鍺半導(dǎo)體材料、第二代砷化鎵、磷化銦化合物半導(dǎo)體材料之后的第三代半導(dǎo)體材料。氮化鎵材料的直接帶隙較寬、原子鍵強(qiáng)、熱導(dǎo)率較高、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定（不易被任何酸腐蝕）、抗輻照能力較強(qiáng)，在光電子器件、高溫大功率器件和高頻微波器件生產(chǎn)制造中有著很高的應(yīng)用價(jià)值。

二次離子質(zhì)譜是利用質(zhì)譜法分辨一次離子入射到測(cè)試樣品表面濺射生成的二次離子而得到材料表面元素含量及分布的一種方法。二次離子質(zhì)譜儀可以進(jìn)行包括氫在內(nèi)的全元素分析，并分辨出同位素、化合物組分和部分分子結(jié)構(gòu)的信息。二次離子質(zhì)譜儀具有ppm量級(jí)的靈敏度，最高甚至達(dá)到ppb的量級(jí)，還具有進(jìn)行微區(qū)成分成像和深度剖析的功能。

本文使用二次離子質(zhì)譜儀分析了氮化鎵材料中注入的鉻元素的分布。

1 實(shí)驗(yàn)部分

1.1 實(shí)驗(yàn)原理

在儀器達(dá)到高真空的情況下，對(duì)氧離子源生成的一次離子進(jìn)行加速、純化、聚焦，轟擊氮化鎵待測(cè)樣品表面，引出濺射出的二次離子，利用質(zhì)譜原理將不同荷質(zhì)比的離子分開，由電子倍增器或法拉第杯記錄并讀取樣品的測(cè)試元素與參考元素計(jì)數(shù)率，采用相對(duì)靈敏度因子法進(jìn)行定量分析[1]。

1.2 實(shí)驗(yàn)儀器和條件設(shè)定

實(shí)驗(yàn)使用法國CAMECA公司生產(chǎn)的IMS-4F型動(dòng)態(tài)雙聚焦二次離子質(zhì)譜儀，該型儀器靈敏度高，深度分辨率高。

根據(jù)離子的化學(xué)性質(zhì)，氧離子源比銫源使Cr離子產(chǎn)額更高，使得測(cè)試的靈敏度更高，檢測(cè)限更低。使用氧離子源產(chǎn)生一次離子束，一次離子能量為15kV。

束流減小至400nA，獲得更高的深度分辨率，使得相同的深度可以得到更多組數(shù)據(jù)。

將襯度減小至2號(hào)，以獲得更高的質(zhì)量分辨率，減少對(duì)Cr離子的干擾。選擇足夠小的視場(chǎng)，使得測(cè)試范圍不包含坑沿信號(hào)，從而不受表面沾污等干擾，保證較低的檢測(cè)限，降低坑沿效應(yīng)。

通過以上條件得到約50μm的束斑，為了使被測(cè)表面足夠平整，掃描面積需大于束斑尺寸的3倍，因此掃描面積選用250μm×250μm。

1.3 樣品選取

將待測(cè)樣品切割成邊長(zhǎng)為6-8mm正方形，選擇經(jīng)過拋光的平坦光滑面作為測(cè)試面。以已知Cr注入劑量的氮化鎵樣品i0作為標(biāo)樣（以計(jì)算相對(duì)靈敏度因子），對(duì)i1，i2樣品進(jìn)行測(cè)試。

2 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與討論

3 結(jié)論

二次離子質(zhì)譜分析可以有效檢測(cè)氮化鎵材料中Cr濃度，檢測(cè)限優(yōu)于1e15atoms/cm3，為生產(chǎn)工藝與實(shí)驗(yàn)研究提供一定參考。

參考文獻(xiàn)：

[1]季桐鼎，林卓然，王理，汪國良，等.二次離子質(zhì)譜與離子探針[M].北京：科學(xué)出版社，1989.