離子注入屬于物理氣相沉積范圍，是將所需物質(zhì)的離子在電場(chǎng)中加速后高速轟擊工件表面，并使之注入工件表面一定深度的真空處理工藝。離子注入將引起材料表層成分和結(jié)構(gòu)發(fā)生變化，以及原子環(huán)境和電子組態(tài)等微觀狀態(tài)的擾動(dòng)，因而導(dǎo)致了材料的各種物理、化學(xué)和力學(xué)性能的變化。離子注入表面改性特征如下:1)采用離子注入法可能獲得不同于平衡結(jié)構(gòu)的特殊物質(zhì)，是開發(fā)新型材料的非常獨(dú)特的方法。2)離子注入溫度和注入后的溫度可以任意控制，且在真空中進(jìn)行，不發(fā)生氧化，不變形，不產(chǎn)生退火軟化現(xiàn)象，表面粗糙度一般無變化，可作為最終處理工藝。3)可控性和重復(fù)性好。4)可獲得兩層或兩層以上性能不同的復(fù)合材料，復(fù)合層不易脫落，注入層薄，工件尺寸基本不變。目前離子注入工藝已應(yīng)用于許多工業(yè)部門，尤其是在工具模具制造業(yè)效益突出。