孟 雪, 李和勝

(1.河北普興電子科技股份有限公司, 石家莊 052100;2.富世華(河北)金剛石工具有限公司, 石家莊 052165)

1 引言

自2013年以來，我國的太陽能光伏行業(yè)取得了突飛猛進的發(fā)展，年新增裝機容量均保持30%以上的增長。截至2017年，光伏裝機總量已經(jīng)接近130GW，與之相呼應的是對上游硅片的需求量也呈爆發(fā)式增長，2017年的硅片總產(chǎn)量已經(jīng)高達188億片[1]。在硅片生產(chǎn)過程中，無論是單晶硅片還是多晶硅片，硅片切割工序(開方+切片)是必不可少的工藝環(huán)節(jié)。

光伏硅材料傳統(tǒng)的切割方式為砂漿切割，該工藝是以鋼線為基體，莫氏硬度9.5的碳化硅作為切割刃料，鋼線在高速運動中帶動切割液和碳化硅混合的砂漿進行摩擦，利用碳化硅的研磨作用達成切割效果[2]。近年來，隨著硅片減薄化，以及硅片制造企業(yè)進一步降低生產(chǎn)成本的需求日益緊迫，金剛線切割技術應運而生，并逐步在全行業(yè)得到推廣。所謂金剛線切割技術是將莫氏硬度為10的金剛石顆粒固著于鋼線基體上，鋼線的高速運動帶動金剛石以同樣的速度運動，直接產(chǎn)生切割能力[2, 3]。它與傳統(tǒng)砂漿切割的最大不同有兩個方面，一是使用的磨料不同；二是切割作業(yè)中磨料形態(tài)不同，傳統(tǒng)砂漿切割為自由磨料；而金剛線切割使用固結(jié)磨料。砂漿切割和金剛線切的工作原理如圖1所示。

圖1 傳統(tǒng)的砂漿切割和金剛線切割工作原理示意圖(來源：Nakamura網(wǎng)站)Fig.1 Mechanism schematic drawing of slurry and diamond wire sawing(Source:Nakamura website)

本文從行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀，制備工藝以及性能評測三個方面對太陽能硅片切割用金剛線的發(fā)展現(xiàn)狀及未來的可能發(fā)展趨勢進行評述。

2 現(xiàn)狀評述

2.1 產(chǎn)業(yè)應用

金剛線最早是由日本廠商率先進行研發(fā)并生產(chǎn)的新型切割工具。日本的旭金剛石2007年6月就推出了成熟的金剛線產(chǎn)品[4]。最早金剛線應用于傳統(tǒng)的玻璃、陶瓷等傳統(tǒng)硬脆材料的切割加工，進而被引入到單晶、寶石以及光學玻璃等貴重硬脆材料加工上，規(guī)模應用于藍寶石切割是在2007年，而規(guī)模應用于光伏硅，尤其是單晶硅切割始于2010年[4, 5]。

在光伏硅材料切割，尤其是單晶硅切割領域，金剛線甫一應用即展現(xiàn)出了相比于傳統(tǒng)砂漿切割壓倒性的優(yōu)勢，主要表現(xiàn)為三大方面[6]：

(1)高效率，高質(zhì)量：金剛線的切割速度是砂漿切割的2～3倍；對于改善硅片的翹曲度，控制硅片的總厚度偏差以及提高表面切割質(zhì)量和切割精度等都有很大的幫助；

(2)低成本：高投資回報，在不增加投資的情況下提升產(chǎn)能；生產(chǎn)過程中電和水的耗費更低;

(3)高效清潔生產(chǎn)：徹底淘汰砂漿混合，無需建設砂漿回收系統(tǒng)； 無PEG和 SiC 的危險廢物產(chǎn)生;

如果非要量化兩種切割工藝之間的差異，表1中的數(shù)據(jù)可以作為一般性的參考依據(jù)。

而岱勒新材則給出了更為具體的應用對比數(shù)據(jù)，如表2所示。

表1 砂漿切割與金剛線切割主要技術參數(shù)對比[7]

表2 砂漿切割與金鋼線切割實際應用數(shù)據(jù)對比[8]

眾所周知，光伏硅材料分為單晶硅和多晶硅以及非晶硅等多種，行業(yè)應用中以單晶硅和多晶硅為主。在切割單晶硅時，一般沿著(111)晶面進行，單晶硅材料容易發(fā)生塑性變形，對后續(xù)的太陽能電池表面減反層的制備并無太大影響，所以金剛線在單晶硅切割方面實現(xiàn)了較為簡單的切入和較為廣泛的應用[9]。傳統(tǒng)砂漿切割和金剛線切單晶硅片的表面形貌對比如圖2所示。

在單晶硅切割上應用金剛石線的先驅(qū)是天津中環(huán)，但是最早真正實現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)業(yè)化的卻是隆基股份。早在2012年隆基股份就在全行業(yè)率先完成了直徑為130μm金剛線切割硅片的試驗，并通過不斷地技術創(chuàng)新和設備改造于2013年率先實現(xiàn)了單晶硅片的金剛線切割的產(chǎn)業(yè)化。2018年6月15日，為了應對531光伏新政，隆基又率先宣布180μm厚度單晶硅片的價格由現(xiàn)有的4.25元每片調(diào)整為3.65元每片，降幅14.1%，并于6月25日再次調(diào)整為3.35元每片[10]。按照目前同規(guī)格多晶硅片2.38元每片的國內(nèi)均價計算，隆基調(diào)價之后的單晶硅片與多晶硅片的價差僅僅維持在1元/每片，這絕對得益于該公司依托強勁的技術創(chuàng)新所帶來的大幅領先行業(yè)的成本優(yōu)勢，其中金剛線切割硅片技術居功至偉。

圖2 傳統(tǒng)砂漿切割(a)和金剛線切(b)單晶硅片表面形貌[3]Fig.2 Surface morphology of monocrystalline Si wafers by slurry (a) and diamond wire (b) sawing

但是金剛線在多晶硅片上的應用并非一帆風順。金剛線的固結(jié)切割方式會導致切割后的硅片表面損傷程度較淺、表面劃痕密，從而導致了更高的反射率，如圖3所示[11]。多晶硅片采用酸制絨，所以金剛線切割的多晶硅片在制成電池后效率比砂漿切割硅片低了將近0.4%。這也成為阻礙金剛線切割技術在多晶領域推廣的的最重要原因[12]。當然，配合金剛線切割的應用，更多的研究者也在從事各種多晶硅表面制絨的技術研究[13]。

圖3 傳統(tǒng)砂漿切割(a)及金剛線切(b)多晶硅片的表面形貌Fig.3 Surface morphology of multicrystalline Si wafers by slurry (a) and diamond wire (b) sawing

在多晶硅片應用金剛線切割的產(chǎn)業(yè)化應用方面，保利協(xié)鑫做出了巨大的努力，推動了整體多晶硅行業(yè)的金剛線切的推廣和應用。針對金剛線切后多晶硅片表面反射率高的缺陷，保利協(xié)鑫推出了黑硅技術，即集成了金剛線切多晶技術和“鑫絨面”亞微米級多孔制絨技術，這可以有效地實現(xiàn)在金剛線切多晶硅片表面穩(wěn)定制絨，并于2017年2月率先在揚州協(xié)鑫光伏順利實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，并于同年5月承諾向光伏合作伙伴無償提供黑硅技術，使得金剛線切多晶硅產(chǎn)業(yè)化進入了全面加速階段[14]。

據(jù)太陽能光伏網(wǎng)OFWEEK的預計，2017年全行業(yè)多晶金剛線的使用比例可能將超過60%，2018年有望達到100%。未來金剛線將更加“細線化”，砂漿切硅片的成本劣勢將被進一步拉大，很快將面臨被淘汰的命運。如果目前全國70%的多晶硅片產(chǎn)能全部應用金剛線切割，將帶來每年超過3萬噸的多晶硅需求減少，影響多晶硅需求超過10%。在下游沒有大量新增產(chǎn)能的情況下，多晶硅的價格將進一步下跌[15]。

總之，在太陽能硅片領域單晶硅和多晶硅已經(jīng)先后全面鋪開金剛線切割技術，有望完全取代傳統(tǒng)的砂漿切割，太陽能硅行業(yè)將全面迎來金剛線切時代。

2.2 規(guī)模制造

在實際的金剛線產(chǎn)業(yè)化規(guī)模制造方面，日本企業(yè)憑借先發(fā)優(yōu)勢以及長期以來在工具制造行業(yè)積累的技術優(yōu)勢，在高端市場占據(jù)較大的份額，在2015年之前基本處于壟斷地位，代表企業(yè)為旭金剛石(AsahiDiamond)和中村超硬(Nakamura)。據(jù)旭金剛石2018年5月的最新財務決算數(shù)據(jù)顯示，2017年旭金剛石在金剛線業(yè)務板塊的銷售額約為1.7億美元，占公司總營收的42.4%，牢牢占據(jù)業(yè)務版圖的一半[16]。中村超硬2017年接近一半的運營收入也是來自金剛線的銷售。

為了打破日本企業(yè)的技術壟斷，在光伏巨頭(主要是隆基股份)的戰(zhàn)略扶持下，國內(nèi)有多家金剛線企業(yè)加大研發(fā)投入力度，力爭在產(chǎn)品性能達到日本進口產(chǎn)品的同時，通過自主設計研發(fā)的生產(chǎn)線，大幅提高生產(chǎn)效率并降低生產(chǎn)成本，如今中國金剛線企業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)技術和工藝已可以完全替代日本產(chǎn)品。在這方面代表性的公司主要有：三超新材，楊凌美暢，岱勒新材，易成新能，瑞翌新材等。

通過對比國內(nèi)幾家上市公司的年報，可以簡單估算，2017年全行業(yè)約實現(xiàn)3000萬千米的產(chǎn)能，行業(yè)平均的毛利率基本都在40%以上；沿著各家公司產(chǎn)能擴張的路線圖，2018年全行業(yè)產(chǎn)能將達到6000萬千米，年增長率超過100%。而根據(jù)EnergyTrend研判，預計疊加藍寶石需求，預計2017年～2019年間，全球金剛線總需求會達到150億米、261億米、345億米。產(chǎn)能缺口依然很大，金剛線行業(yè)將迎來不折不扣的爆發(fā)式增長。

2.3 主流產(chǎn)品

按照金剛石磨料在基線上固結(jié)方式及材料的不同，金剛線大致分為電鍍金剛線和樹脂金剛線兩大類，實質(zhì)對應了兩種類型的金剛石磨料粘結(jié)劑。兩種類型金剛線結(jié)構(gòu)示意圖以及微觀形貌如圖4所示。兩種類型金剛線的主要性能對比見表3[17,18]。當然在現(xiàn)有市場需求及產(chǎn)業(yè)化制造方面，電鍍金剛線仍然是行業(yè)發(fā)展主流。

電鍍金剛線的線徑一般不大于1 mm，常用線徑為0.1～0.44 mm，其分類方法目前還不統(tǒng)一。一般根據(jù)基線是否為環(huán)形可分為電鍍長切割線和環(huán)形電鍍切割線; 根據(jù)基線種類可分為以單根鋼絲、雙股鋼絲、多股鋼絲絞合線為基線的金剛線; 根據(jù)所用金剛石磨料是否改性可分為普通金剛石切割線和磨料帶金屬衣的金剛石切割線，其分類如圖5[19]。

圖4 電鍍金剛線及樹脂金剛線結(jié)構(gòu)示意圖及微觀形貌(來源：MDWEC網(wǎng)站)Fig.4 Structure schematic drawing of electroplated and resin bonded diamond wire and their

項目電鍍金剛線樹脂金剛線單價相比樹脂線單價較高單價相對較低耗線量單片耗線量低,約為1.5m/pcs單片耗線量約為4m/pcs單片切割線成本線耗低,綜合成本低線耗高,綜合成本高磨料結(jié)合力金剛石磨料固結(jié)更為牢固金剛石磨料固結(jié)不夠牢固環(huán)保易清洗相對不易清洗切割效率切割時間較同等規(guī)格樹脂短,切割效率高同等規(guī)格下切割耗時較長線徑規(guī)格min. 0.007mmmin. 0.009mm

圖5 電鍍金剛線的分類Fig.5 Classification of electroplated diamond wire

目前人們研究和應用較多的是截面為圓形的單根鋼絲的金剛石長切割線，這種切割線使用時長度一般為幾百米到幾公里，主要用于硅晶體和藍寶石以及其他貴重硬脆材料的切割和加工。

一般電鍍金剛石鋸絲制造工藝流程如圖6所示。

圖6 電鍍金剛線一般制造流程Fig.6 Normal manufacture process routing of electroplated diamond wire

在上述電鍍金剛石切割線制造工藝流程中，上砂工序?qū)饎偸懈罹€的制造起著決定性的作用。所謂上砂指的是金剛石顆粒與金屬離子通過共沉積而將金剛石磨料黏結(jié)在芯線基體上。上砂方法主要有埋砂法、落砂法和刷鍍法，能否又快又好地完成上砂，是規(guī)?；?、成批量生產(chǎn)的關鍵[20]。

2.4 性能評測

硬脆材料切割行業(yè)，尤其是金剛石線行業(yè)是典型的技術密集型行業(yè)。金剛石線生產(chǎn)的高品質(zhì)和高效率對電鍍工藝、設備、流程控制等方面的綜合技術要求很高，其研發(fā)、設計、制造涉及高品質(zhì)鋼鐵冶煉、微米級鋼絲拉制、金剛石微粉、貴重金屬化學鍍、電鍍、圖形采集、高精密切割設備、機械自動化等多個領域的相關技術。上述技術壁壘主要體現(xiàn)在金剛石微粉和基線預處理、上砂、加厚、整形等生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，對各個生產(chǎn)環(huán)節(jié)的技術掌握程度，直接影響產(chǎn)品質(zhì)量。

為確保金剛線質(zhì)量，在金剛線生產(chǎn)加工過程中對其顆粒數(shù)、線徑、顆粒分布等實行在線實時監(jiān)控顯得尤為重要。然而金剛石線精細，顆粒微小，肉眼無法直接進行觀測，生產(chǎn)員工也無法在在線連續(xù)生產(chǎn)時對金剛線顆粒數(shù)、線徑、顆粒分布等做出有效判斷，也就無法對金剛線的質(zhì)量進行科學有效的把控。

機器視覺技術檢測系統(tǒng)采用高速工業(yè)相機、高倍鏡頭、智能算法，能對金剛線線徑、顆粒數(shù)、分布情況等做出科學、快速、有效地分析和判斷。由于其統(tǒng)一的設定標準，不受人工產(chǎn)生疲勞/情緒/誤判等因素的影響，可極大提高生產(chǎn)效率及成品率，更可以降低人力成本和返貨返工成本。視覺檢測成為金剛石線質(zhì)量控制有效、安全、快速、便捷的必要手段已日益為廣大金剛石線生產(chǎn)及使用企業(yè)所認同和推崇。

常規(guī)金剛線性能評測的主要技術參數(shù)如圖7所示[21]。

圖7 金剛線性能評測主要技術指標Fig.7 Main technical KPI of diamond wire for quality inspection

基于上述性能指標，結(jié)合已有的數(shù)據(jù)庫經(jīng)驗積累即可對金剛線的主要性能進行較為全面的分析和評測，這也是確保金剛線性能的關鍵要素。

3 結(jié)論與展望

綜上所述，太陽能硅片切割已經(jīng)全面步入金剛線切時代，對應爆發(fā)式增長的光伏行業(yè)，金剛線的市場需求也在呈現(xiàn)快速增長態(tài)勢，一時難以完全滿足市場需求。

國內(nèi)眾多的金剛線制造企業(yè)已經(jīng)打破了國外企業(yè)在這一行業(yè)的壟斷地位，無論是產(chǎn)能規(guī)模，技術水平還是產(chǎn)品質(zhì)量正在逐步領跑整個行業(yè)，而且均保持了較高的毛利率。

國內(nèi)外針對金剛線用基礎材料(基線+金剛石磨料)，制備工藝(主要是電鍍工藝及裝置)以及性能評測等方面的研究方興未艾，蓬勃發(fā)展，極大地推動了行業(yè)整體技術水平的進步和產(chǎn)品質(zhì)量的提升。

展望未來的發(fā)展趨勢需要先從下游用戶的實際需求來考量。光伏硅生產(chǎn)企業(yè)需要進一步降低生產(chǎn)過程中的非硅成本，追求光伏發(fā)電的平價上網(wǎng)，這就需要硅片不斷減薄，降低切割損耗，更多出片，更少線損。提升光伏硅片行業(yè)的產(chǎn)能，降低總的切割成本，改進總的厚度偏差，減少翹曲度，確保切割表面更加平整以及良好的切割精度，環(huán)境友善等都是金剛石線鋸行業(yè)需要解決的重大技術問題。

對應到金剛線行業(yè)，則可能會朝向“四化”方向發(fā)展：細線化，快切化，省線化和低TTV化[22]。

(1)細線化。電鍍金鋼線線徑不斷細化，有利于減小切割硅縫，降低硅料損耗，提高出片率。預計會從目前占主導地位Φ80μm、Φ70μm兩種電鍍金剛線向Φ65μm乃至Φ60μm金剛線快速過渡。

(2)快切化。主要針對正在轉(zhuǎn)型的多晶硅片生產(chǎn)企業(yè)，需要大幅提升切片機的產(chǎn)能，降低設備投資，盡最大可能改造現(xiàn)有切片機去契合金剛線切。單刀切割的耗時將會從現(xiàn)在的2～3小時快速降低至1小時，甚至更低。

(3)省線化。是指在切割加工過程中減少電鍍金剛線的損耗，從而降低耗材成本。預計會從現(xiàn)有1.2m/pcs～1.5m/pcs常規(guī)損耗快速降低至0.5m/pcs。當然這需要以進一步提升金剛線的性能作為前提。

(4)低TTV化(TotalThicknessVariation)。TTV是指硅片厚度變化量，是衡量硅片品質(zhì)的一個很重要的指標，通過改善電鍍金剛線性能特征是實現(xiàn)低TTV化的關鍵途徑。