丁左勇　李海麗

摘 要：液晶面板中有很多薄膜，其中非常重要的一種就是彩色濾光片（Color Filter；CF），其負責供給顯示器提供顏色之用，上面有RGB三色區(qū)域，也就是三原色紅、綠、藍三種顏色組成的區(qū)域，光線透過這些區(qū)域就會形成有色彩的畫面。本文主要針對彩色濾光片在生產過程中產生的不良品進行原因調查，根據不同的不良狀況來歸納不同的調查方法及產線良率偏低時的排查方法。

關鍵詞：PCM（異物檢查機）；Mapping（繪圖）；直通率

中圖分類號：TN873.93 文獻標識碼：A 文章編號：1004-7344（2018）32-0306-01

1 前 言

彩色濾光片占據面板材料的20%，是非常重要的部件，是顯示器實現色彩的關鍵技術，在制作過程中需要經過六道主要制程，每道工序中都會存在產出不良基板的風險，因此查找到真因是至關重要的，它可以及時有效的避免在制品中不良品的發(fā)生，為公司及客戶減少不必要的損失及其物料上的浪費。彩色濾光片不良基板調查方法簡要總結如下。

2 針對產線不良NG基板的調查方法

（1）首先確定不良發(fā)生區(qū)間，比如B制程AOI檢出畫素劃傷，第一步確定前制程是否異常，確認哪條產線生產時造成畫素劃傷，然后以MURA、PCM（異物檢查機）、AOI為節(jié)點確認是涂布前后還是顯影前后，有針對性的調查設備異常是否會產生不良缺陷。

（2）確定基板流動是否正常，是否有停留超時或者設備異常報警記錄及當制程當天產線日報記錄設備是否有異常動作等，比如385 ASV產品PS制程HP停留超時會造成膜面異常，清洗機EUV下基板停留超時會造成白缺，基板在Buffer上停留時間過長會有基板表面污染風險，或者設備異常宕機恢復后前幾枚基板等。

（3）對于AOI檢出爆點判定NG基板要確認缺陷分布Mapping是否有規(guī)律，一般TD方向爆點與顯影機有關，要確認顯影機是否有基板停滯現象，MD方向爆點要確認涂布是否有MURA，爆點呈對角線分布時要確認風刀是否異常（清洗機、顯影機），AOI檢出爆點位置固定或某個CCD鏡頭時系AOI誤檢（CCD線松動或信號線電源線干擾致），爆點無規(guī)律時要確認基板停留超時造成基板污染等。

（4）對于異物檢查機檢出基板表明異物判定NG基板首先要確認異物檢查機是否誤檢（Pattern區(qū)沙漏狀mark、小短線、基板邊緣等），若確有異物時要據異物坐標（PCM NG list）確認AOI是否檢出異常（光阻異物或碎片等）。據NG統(tǒng)計PS制程異物檢查機檢出基板表面異物判定NG基本占比較多，要確認異物產生是否在ITO過程產生，比如ITO靶材末期穿靶或Arcing（放電）等。

（5）異?；錗APPING圖與機臺點位的對應關系。當發(fā)現不良基板時首先借助檢測機臺的AOI、macro來確認異常點的坐標，記錄準確位置，利用點位對比工具進行查找問題點產出的機臺對應部件，及時通知相關工程師進行檢修。

3 產線不良直通率異常低的調查方法

（1）對于當制程突發(fā)缺陷首先要根據缺陷Mapping對照各設備基板接觸位置，比如Y坐標是整百倍數背污一般是由顯影機造成，固定位置缺陷要確認涂布機Stage對應點位是否有異物等。

（2）分析設備集中性，根據缺陷ID確認設備（HP ID、VCD ID、OVEN SLOT）是否有集中性，據缺陷ID發(fā)生頻率對相應設備進行檢擦或者清潔，比如PS1線ASV產品集中爆發(fā)的PS光阻殘經調查HP4占比較大，對HP4禁用后良率提升可反正PS殘發(fā)生于HP有關；B1線突發(fā)刮傷發(fā)生頻率接近間隔60枚，檢查確認port口扎帶脫落造成。

（3）對于調查無規(guī)律缺陷可采取局部對比實驗進行依次排除，比如G光阻殘產生確定是顯影機內發(fā)生，但不能確定顯影機哪部分異常導致，可采取此方法進行排除后確認。

（4）如AOI檢出背污，可根據AOI檢出的坐標確認是何機臺產生，通常整數的坐標為顯影機的（顯影機的ROLLER間距為200），單數的為清洗機產生（清洗機的ROLLER間距為115）。

（5）針對AOI檢出光阻殘留，確認光阻殘產生的位置及形狀判斷是何機臺生產，通常集中性的，線狀的光阻殘留為涂布機產生，此時需要清潔涂布機ROLLER及NOZZLE，如光阻殘為離散性的應為顯影不干凈，需要清潔顯影機。

（6）對于AOI檢出白缺，可根據白缺的形狀判斷是何機臺生產，通常整個畫素掉落應為顯影機流量過大造成，調整水洗流量后可解決，如是三角型白缺，通常為涂布機造成，此時需要對涂布機進行重新入液。

4 總 結

產線NG不良發(fā)生與產線不良直通率偏低歸其原因是由設備的異?；蚺K污引起，所以在調查前需要熟悉各機臺單元設備結構，并結合數據統(tǒng)計分析列出初步的懷疑對象，其后進入現場一一排查機臺，找出問題點所在對癥下藥，而不能盲目的大范圍的將機臺進行維護保養(yǎng)，這樣既浪費人力物力也不能找到根本原因，致使不良反復發(fā)生。

2018年以來，通過使用以上的調查方法，與以前對比產線能夠很快地找到缺陷的發(fā)生區(qū)間、發(fā)生的機臺、發(fā)生的原因，從而迅速解決，提升了產品的直通率、提高了機臺的稼動率、提高了產線的產能?？偠灾a線不良NG基板及產線不良直通率異常低的調查方法需要在工作中不斷的累積與總結，不斷革新處理方法，使其調查更加完善，為生產提供更好服務，為公司創(chuàng)造更高的經濟效益。

參考文獻

[1]何 璇，鄧振波，楊久霞，趙吉生，李 琳.彩色濾光片用光阻劑研究[J].現代顯示，2008（83）：75～78.

收稿日期：2018-9-19

作者簡介：丁左勇（1985-），男，江蘇東臺人，制造部工程師，從事TFT-LCD彩色濾光片的生產技術管理工作。