樊暢

技術(shù)門檻高，占據(jù)上游，半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備和材料在整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈中的地位不容小覷。

根據(jù)國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)SEMI的統(tǒng)計(jì)，2016年全球半導(dǎo)體設(shè)備出貨額412億美元，全球半導(dǎo)體材料出貨額443億美元，共計(jì)800多億美元。

受益于中國(guó)市場(chǎng)需求增加猛增，2017年半導(dǎo)體設(shè)備熱度不減，全年出貨金額達(dá)560億美元，同比大幅增長(zhǎng)40%，目前該領(lǐng)域中國(guó)仍然主要依靠進(jìn)口。

差距懸殊

從下表可以看出，全球半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)前十名的營(yíng)收門檻為8.9億美元。前十名企業(yè)均來(lái)自美國(guó)、荷蘭以及日本。

回到國(guó)內(nèi)，中國(guó)2016年?duì)I收最高的半導(dǎo)體設(shè)備公司收入9.08億元（1.37億美元），盡管2017年的具體數(shù)字尚未公布，但可以看出，中國(guó)企業(yè)離世界十強(qiáng)的門檻相去甚遠(yuǎn)。

不過(guò)中國(guó)半導(dǎo)體制造設(shè)備增速很快。前十強(qiáng)的增速快于整體水平，市場(chǎng)集中度在不斷提高。

2017年半導(dǎo)體設(shè)備板塊實(shí)現(xiàn)營(yíng)收52.47億元，同比增長(zhǎng)56.05%，2018年一季度實(shí)現(xiàn)營(yíng)收13.60億元，同比增長(zhǎng)46.08%，繼續(xù)保持高速增長(zhǎng)趨勢(shì)。

從總體規(guī)模來(lái)看，全球市場(chǎng)約為412億美元，中國(guó)設(shè)備廠家全部加起來(lái)才8.63億美元，占比僅為2%左右，可見(jiàn)進(jìn)口替代空間巨大。

哪些企業(yè)最受益？

中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)中最值得關(guān)注的有以下幾家企業(yè)。

北方華創(chuàng)（002371.SZ）

北方華創(chuàng)是我國(guó)最大規(guī)模的專業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)，2017全年實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)總收入22.23億，同比增37.01%，凈利潤(rùn)1.26億元，同比增長(zhǎng)35.21%。

其中，半導(dǎo)體設(shè)備收入占總體營(yíng)收的51.59%，增長(zhǎng)速度超過(guò)40%。北方華創(chuàng)產(chǎn)品涉及氧化爐、刻蝕機(jī)和薄膜沉積三類。

長(zhǎng)江存儲(chǔ)3D NAND FLASH產(chǎn)線的氧化爐設(shè)備就采用北方華創(chuàng)的產(chǎn)品，該款氧化爐在進(jìn)入長(zhǎng)江存儲(chǔ)產(chǎn)線之前，已經(jīng)批量應(yīng)用于中芯國(guó)際、上海華力芯片生產(chǎn)線。長(zhǎng)江存儲(chǔ)還購(gòu)買了北方華創(chuàng)的刻蝕機(jī)和PVD機(jī)臺(tái)。

北方華創(chuàng)在硅刻蝕機(jī)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破，2016年研發(fā)出了14nm工藝的硅刻蝕機(jī)。目前中芯國(guó)際在研發(fā)的14nm工藝，就在驗(yàn)證使用北方華創(chuàng)的硅刻蝕機(jī)。

北方華創(chuàng)在PVD設(shè)備和單片退火設(shè)備領(lǐng)域也實(shí)現(xiàn)了批量出貨，目前主要在28nm級(jí)別。在薄膜沉積設(shè)備領(lǐng)域，北方華創(chuàng)進(jìn)展較快，多種14nm的生產(chǎn)設(shè)備也在產(chǎn)線驗(yàn)證中。

北方華創(chuàng)還有第四種關(guān)鍵設(shè)備——清洗機(jī)。2017年8月7日，北方華創(chuàng)花費(fèi)1500萬(wàn)美元收購(gòu)了美國(guó)Akrion公司。后者是一家專注于硅片清洗設(shè)備業(yè)務(wù)的公司。

中電科電子裝備公司

中電科電子裝備公司，2016年銷售收入9.08億元，中電科裝備隸屬于中國(guó)電子科技集團(tuán)。

電科裝備目前是國(guó)內(nèi)唯一集研發(fā)、制造、服務(wù)于一體的離子注入機(jī)供應(yīng)商，已經(jīng)為中芯國(guó)際完成了將近200萬(wàn)片的生產(chǎn)量。

2017年11月21日，電科裝備自主研發(fā)的200mmCMP商用機(jī)完成內(nèi)部測(cè)試，發(fā)往中芯國(guó)際天津公司進(jìn)行上線驗(yàn)證。實(shí)現(xiàn)了我國(guó)在此領(lǐng)域零的突破。

除了集成電路晶圓制造兩大關(guān)鍵設(shè)備以外，電科裝備還是國(guó)內(nèi)主力的集成電路封裝設(shè)備制造商，其封裝設(shè)備累計(jì)銷售2000余臺(tái)套，已經(jīng)批量應(yīng)用于長(zhǎng)電科技、通富微電、蘇州晶方等國(guó)內(nèi)知名封測(cè)企業(yè)。

晶盛機(jī)電（300316.SZ）

晶盛機(jī)電主要營(yíng)收來(lái)自單晶爐為核心的單晶硅生產(chǎn)設(shè)備，主要應(yīng)用于光伏產(chǎn)業(yè)。據(jù)悉，2017年以來(lái)接到的總半導(dǎo)體設(shè)備訂單才剛剛達(dá)到1.3億元。不過(guò)，其獲得了全球十大硅片供應(yīng)商之一臺(tái)灣合晶科技8000萬(wàn)元的設(shè)備訂單。

2017年10月31日，晶盛機(jī)電與中環(huán)股份以及無(wú)錫市政府簽訂合作協(xié)議，計(jì)劃在江蘇宜興建設(shè)集成電路用大硅片生產(chǎn)與制造項(xiàng)目，總投資30億美元，第一期投資15億美元。國(guó)內(nèi)極度缺乏大硅片項(xiàng)目，處于被日韓臺(tái)卡脖子的狀態(tài)，日本信越、日本SUMCO、臺(tái)灣環(huán)球、德國(guó)Siltronic、韓國(guó)SKSiltronic五家壟斷了98%的份額，其中日本的兩家占了全球60%。因此晶盛機(jī)電該項(xiàng)目值得后續(xù)關(guān)注。

中微半導(dǎo)體

2017年中微半導(dǎo)體實(shí)現(xiàn)銷售額11億元。產(chǎn)品主要覆蓋三大領(lǐng)域，一是LED芯片MOCVD機(jī)臺(tái)。

中微半導(dǎo)體在2017年10月宣布，其MOCVD設(shè)備Prismo A7機(jī)型出貨量已突破100臺(tái)，邁向重要里程碑，該款MOCVD在2016年才推向市場(chǎng)，由于持續(xù)接到新訂單，中微預(yù)計(jì)2017年底可望出貨約120臺(tái)MOCVD設(shè)備。

整個(gè)中國(guó)大陸市場(chǎng)2017年預(yù)計(jì)新增的MOCVD大約為200臺(tái)，按照中微半導(dǎo)體的出貨量，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率可以達(dá)到30%-40%，甚至以上，這是非常不錯(cuò)的成績(jī)。

第二個(gè)產(chǎn)品是介質(zhì)刻蝕機(jī)，用于集成電路芯片制造，目前已經(jīng)可以做到22nm及以下，中微半導(dǎo)體的14nm也在產(chǎn)線進(jìn)行驗(yàn)證，同時(shí)在推進(jìn)5nm的聯(lián)合研究。

第三是硅通孔刻蝕設(shè)備，主要用于集成電路芯片的先進(jìn)封裝。

中微處于比較好的發(fā)展態(tài)勢(shì)，MOCVD機(jī)臺(tái)已經(jīng)受住了量產(chǎn)的考驗(yàn)，將會(huì)迎來(lái)大批量出貨時(shí)期，其多年來(lái)集中力量攻關(guān)的等離子體介質(zhì)刻蝕機(jī)，已經(jīng)在國(guó)際大廠部署多年。

上海微電子公司

在光刻機(jī)領(lǐng)域，上海微電子公司2016年半導(dǎo)體設(shè)備收入為2.9億元，該公司具備研發(fā)和制造光刻機(jī)的能力。也是國(guó)內(nèi)唯一從事光刻機(jī)研發(fā)制造的公司，不過(guò)目前只能做到90nm。業(yè)界主要制程工藝，基本已經(jīng)在65nm以下，上海微電子也在進(jìn)行65nm制程工藝光刻機(jī)的研發(fā)。

目前，荷蘭ASML已經(jīng)占據(jù)光刻機(jī)領(lǐng)域大約80%的市場(chǎng)份額，壟斷了高端光刻機(jī)市場(chǎng)，日本尼康在高端光刻機(jī)上已經(jīng)徹底敗退， 英特爾、臺(tái)積電、三星、格羅方德、聯(lián)電以及中芯國(guó)際等晶圓廠的光刻機(jī)目前基本來(lái)自ASML。

最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)全球僅有ASML能夠生產(chǎn)，ASML在2016下半年出售的兩臺(tái)EUV光刻機(jī)，單價(jià)都超過(guò)1億美元，而落后EUV一代的ArF光刻機(jī)平均售價(jià)也在四五千萬(wàn)歐元左右?？梢哉f(shuō)光刻機(jī)是集成電路制造領(lǐng)域最后的皇冠。

以上幾家生產(chǎn)設(shè)備廠家，客戶集中在國(guó)內(nèi)，客戶包括中芯國(guó)際、華力微電子等廠家。

中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，直接影響甚至決定著上游國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠家的發(fā)展。中國(guó)電科、北方華創(chuàng)、中微半導(dǎo)體、上海微電子、盛美半導(dǎo)體組成的中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備群體，成才空間巨大，星星之火，可以燎原。