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        利用CO2激光修復(fù)熔石英光學(xué)元件損傷的殘余應(yīng)力控制

        2018-06-05 10:11:52王海軍欒曉雨
        科技創(chuàng)新導(dǎo)報(bào) 2017年35期
        關(guān)鍵詞:殘余應(yīng)力

        王海軍 欒曉雨

        摘 要:CO2激光修復(fù)技術(shù)是修復(fù)熔石英光學(xué)元件激光損傷的主要方法,但是在修復(fù)過程中可能出現(xiàn)燒蝕、氣泡、殘余應(yīng)力、調(diào)制等問題,尤其是殘余應(yīng)力問題,如果不加以控制極易導(dǎo)致光學(xué)元件再損傷和局部開裂。本文主要研究了在利用CO2激光修復(fù)熔石英光學(xué)元件的激光誘導(dǎo)損傷過程中的殘余應(yīng)力控制。通過塞納蒙(Senarmont)應(yīng)力檢測法,測量應(yīng)力雙折射產(chǎn)生的光程差隨激光退火時(shí)間的變化關(guān)系,發(fā)展了一種臨界損傷尺寸開裂法精確測量激光退火后的殘余應(yīng)力,有效控制了產(chǎn)生的殘余應(yīng)力,提升了熔石英光學(xué)元件損傷點(diǎn)的抗損傷能力。

        關(guān)鍵詞:激光損傷修復(fù) 殘余應(yīng)力 塞納蒙(Senarmont)應(yīng)力檢測法 熔石英

        中圖分類號:TN24 文獻(xiàn)標(biāo)識碼:A 文章編號:1674-098X(2017)12(b)-0058-02

        在高通量三倍頻紫外激光作用下,熔石英光學(xué)元件(包括楔形透鏡、取樣光柵、真空窗口等)的激光誘導(dǎo)損傷問題是制約高功率固體激光裝置負(fù)載能力的關(guān)鍵問題之一。激光誘導(dǎo)損傷不僅會直接導(dǎo)致激光能量的散射損耗并給腔內(nèi)帶來噴濺污染物,而且更嚴(yán)重的后果是熔石英元件的紫外激光損傷點(diǎn)在后續(xù)激光輻照下其尺寸和深度會快速增長,嚴(yán)重影響了光學(xué)元件的穩(wěn)定性和使用壽命。目前熔石英光學(xué)元件表面的激光誘導(dǎo)損傷仍然是限制高功率激光裝置穩(wěn)定運(yùn)行的瓶頸。由于大口徑的熔石英光學(xué)元件加工周期長價(jià)格昂貴,頻繁的更換和重新拋光光學(xué)元件需要大量的時(shí)間和巨額的費(fèi)用,這對于維持高功率固體激光裝置高效經(jīng)濟(jì)的運(yùn)行顯然是不可取的。

        NIF采用的修復(fù)熔石英光學(xué)元件損傷的方法是CO2激光修復(fù)技術(shù),利用CO2激光加熱熔融的方式,消除損傷點(diǎn)內(nèi)部缺陷、裂紋等易導(dǎo)致?lián)p傷快速增長的因素,從而達(dá)到抑制其增長的目的。然而,CO2激光修復(fù)工藝研究固有的缺點(diǎn)是在修復(fù)過程中可能出現(xiàn)燒蝕、氣泡、殘余應(yīng)力、調(diào)制等問題[1],尤其是殘余應(yīng)力問題,如果不加以控制極易導(dǎo)致光學(xué)元件再損傷和局部開裂。本文主要研究了在利用CO2激光修復(fù)熔石英光學(xué)元件的激光誘導(dǎo)損傷過程中,使用激光在線退火的殘余應(yīng)力控制技術(shù)。

        1 激光在線退火原理

        在利用CO2激光對熔石英元件的損傷修復(fù)后如果直接關(guān)閉激光,元件驟冷會導(dǎo)致熔石英結(jié)構(gòu)快速固化,從而形成較大的應(yīng)力、應(yīng)變。研究前期,我們采用高溫爐退火技術(shù)對形成的殘余應(yīng)力進(jìn)行退火去除,雖然可以有效去除殘余應(yīng)力,但是退火時(shí)會產(chǎn)生表面污染,需要在退火后進(jìn)行氫氟酸溶液刻蝕。根據(jù)NIF文獻(xiàn),我們在CO2激光修復(fù)結(jié)束后增加一段功率緩降的激光輻照,進(jìn)行在線激光退火,材料結(jié)構(gòu)有足夠的時(shí)間進(jìn)行弛豫,應(yīng)力、應(yīng)變得到一定程度釋放,可以達(dá)到改善殘余應(yīng)力的目的[2]。由于是在線激光退火,減少了高溫爐退火和氫氟酸溶液刻蝕兩道工序,因此極大地提高了工作效率。

        2 塞納蒙(Senarmont)法應(yīng)力檢測探索激光退火規(guī)律

        圖1是CO2激光損傷修復(fù)過程形變示意圖,修復(fù)損傷點(diǎn)時(shí)局域溫度高于玻璃轉(zhuǎn)變溫度,損傷材料熔融流動去除裂紋,然而作用結(jié)束后溫度急速降低,形成塑性變形區(qū),產(chǎn)生殘余應(yīng)力[3]。

        修復(fù)點(diǎn)殘余應(yīng)力分布可以由光彈性法進(jìn)行測量[1],圖2 (a)所示是典型的修復(fù)點(diǎn)應(yīng)力偏光圖,由于損傷修復(fù)熔融區(qū)域的獨(dú)特結(jié)構(gòu),其分布具有角對稱性,可以觀察到最大的相位延遲位于修復(fù)點(diǎn)的周圍,如圖2(a)中紅圈標(biāo)注區(qū)域,此處應(yīng)力光程差的大小直接與殘余應(yīng)力的值正相關(guān)。通過塞納蒙(Senarmont)法測量這個(gè)位置的應(yīng)力光程差的值,可以有效判斷退火參數(shù)是否有效。圖2(b)所示是選定的一組激光退火參數(shù)改善殘余應(yīng)力隨時(shí)間變化的情況,可以看出作用時(shí)間超過一定值后應(yīng)力光程差趨于穩(wěn)定。利用這種方法,通過一系列的參數(shù)研究,成功掌握了激光退火的規(guī)律,并優(yōu)化出最佳激光退火參數(shù)。

        3 臨界損傷尺寸開裂法精確測量殘余應(yīng)力

        塞納蒙(Senarmont)應(yīng)力檢測法只能測量應(yīng)力雙折射產(chǎn)生的光程差,對CO2激光修復(fù)點(diǎn),由于應(yīng)力分布不均勻以及應(yīng)力存在深度和應(yīng)力在深度方向的分布都無法測量,因而,無法通過光程差求出應(yīng)力的大小,只能定性給出殘余應(yīng)力的變化,不能定量給出殘余應(yīng)力的大小。為了精確表征激光退火后殘余應(yīng)力的大小,我們發(fā)展了一種臨界損傷尺寸開裂法精確測量激光退火后的殘余應(yīng)力。這種方法在光程差最大處引入損傷點(diǎn),當(dāng)其尺寸增長到某一值時(shí),殘余應(yīng)力就會釋放導(dǎo)致?lián)p傷點(diǎn)嚴(yán)重開裂,如圖3所示。通過在修復(fù)點(diǎn)的光程差最大處人為引入一系列一定大小的損傷點(diǎn),觀察是否有失穩(wěn)進(jìn)一步開裂的情況,可以精確地推導(dǎo)出局域的殘余應(yīng)力大小。

        通過統(tǒng)計(jì)引起開裂的損傷尺寸值,根據(jù)損傷點(diǎn)尺寸與臨界應(yīng)力的關(guān)系,推導(dǎo)出的修復(fù)點(diǎn)不退火和激光退火后的殘余應(yīng)力值的大小如表1所示,可以看出激光退火后殘余應(yīng)力改善明顯,降低到17MPa以下,小于NIF提出的25MPa。上述實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)說明CO2激光修復(fù)技術(shù)在光學(xué)元件的循環(huán)使用過程中不會出現(xiàn)殘余應(yīng)力釋放損傷點(diǎn)失穩(wěn)擴(kuò)展的情況。

        4 結(jié)語

        通過對CO2激光修復(fù)技術(shù)的系統(tǒng)研究,掌握了激光退火規(guī)律,利用激光在線退火技術(shù),有效控制了產(chǎn)生的殘余應(yīng)力,并且在退火過程中無污染,有效地提升了熔石英光學(xué)元件損傷點(diǎn)的抗損傷能力。對于維持高功率固體激光裝置高效經(jīng)濟(jì)的運(yùn)行提供了強(qiáng)有力的支撐。

        參考文獻(xiàn)

        [1] Y. Jiang,X.Xiang,C.M.Liu,et al.Two localized CO2 laser treatment methods for mitigation of UV damage growth in fused silica[J].Chinese Physics B,2012,21(6):299-306.

        [2] C.C.Zhang,W.Liao,L.J.Zhang,et al.Investigation of Control of Residual Stress Induced by CO2 Laser-Based Damage Mitigation of Fused Silica Optics[J].Advances in Condensed Matter Physics,2014(2014):302-306.

        [3] W.Dai,X.Xiang,Y.Jiang,et al.Surface evolution and laser damage resistance of CO2 laser irradiated area of fused silica[J].Optics and Lasers in Engineering,2011,49(2):273-280.

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