江文清 夏志平
【摘 要】陀螺儀主要用來測量旋轉(zhuǎn)角度或者是速度,其應(yīng)用范圍十分廣泛,包括了導(dǎo)航,剎車調(diào)節(jié)控制等。微機械陀螺儀又可以進一步細分為加速式,振動式與轉(zhuǎn)子式。本文就微機械陀螺儀的新進展及發(fā)展趨勢作簡要闡述。
【關(guān)鍵詞】微機械陀螺儀;新進展;發(fā)展趨勢
相比于傳統(tǒng)陀螺儀,微機械陀螺儀的特點體現(xiàn)在體積小而成本低,能夠批量生產(chǎn),應(yīng)用領(lǐng)域擴大不會受到限制。陀螺儀與微電子機械技術(shù)結(jié)合從而產(chǎn)生了新一代的微機陀螺儀,并且以其自身優(yōu)點而廣泛應(yīng)用。
1 微機械陀螺儀
振動式微機械陀螺儀利用多晶或者是單晶硅制成振動質(zhì)量,受到基于帶動旋轉(zhuǎn),通常應(yīng)用的是平面電極或者是梳狀電極靜電驅(qū)動,檢測工作主要由平板電容器完成。轉(zhuǎn)子式微機陀螺儀主要是利用多晶硅制作,應(yīng)用了靜電懸浮,角速度測量利用的是力短再平衡回路。微機械加速陀螺儀利用了參數(shù)相匹配的加速器,通過反向高頻抖動從而構(gòu)成多功能慣性傳感器,能夠?qū)撬俣扰c加速度進行測量。
2 微機械陀螺儀發(fā)展
陀螺儀作為慣性敏感器,同時也是INS基礎(chǔ)核心器件,前者性能一定程度上取決于后者性能。依據(jù)相研究資料,慣性陀螺儀依據(jù)結(jié)構(gòu)可以將其分為三個類別,機械陀螺儀,微機械陀螺儀,光學陀螺儀。機械陀螺儀主要指利用高速轉(zhuǎn)子軸穩(wěn)定性對載體角傳感器進行測量。在多種陀螺儀中,技術(shù)較為成熟的轉(zhuǎn)子陀螺儀主要有靜電陀螺儀,動力調(diào)諧陀螺,機械陀螺,液浮陀螺等。精度方面能夠有效滿足工作需要。我國首先研制的是靜電陀螺,定位是高精度船用,后經(jīng)試驗證明精度能夠有效滿足要求。
后期隨著光電技術(shù)發(fā)展與應(yīng)用,光纖陀螺與激光陀螺逐漸得到了應(yīng)用,相比于激光陀螺而言,光纖陀螺的成本更低,對于批量生產(chǎn)更加有利。在光纖陀螺研究工作方面我國起步較晚,但是取得了不錯的成果,在精度方面能夠滿足大部分情況下工作開展需要。微機械陀螺發(fā)展主要利益于微機械加工技術(shù)與電子技術(shù)發(fā)展,我國對微機械陀螺的研究開始于80年代末期,經(jīng)過長期研究發(fā)展,產(chǎn)品已經(jīng)能夠滿足軍民兩用。技術(shù)在發(fā)展的同時,光纖成本由于其成本較低,精度較高,因此能夠在未來獲得良好發(fā)展。
激光在60年首次出現(xiàn),之后相關(guān)國家開始研究其應(yīng)用于方位側(cè)向,并將其稱之為激光陀螺儀。此種設(shè)備工作原理是利用光程差對旋轉(zhuǎn)角速度進行測量,閉合光路,由同一光源發(fā)生兩束光,分別沿順、逆時針方向,通過對相位差或者是干涉條紋變化進行檢查從而得到旋轉(zhuǎn)角速度。美國企業(yè)首先制作出了激光陀螺儀試驗裝置,后期研究與試驗工作中,研究人員利用石英作為腔體,從而使技術(shù)應(yīng)用成為了可能。之后美國空軍與海軍制定了相關(guān)研究計劃,并且試驗成功。光纖陀螺儀首先在美國制造出試驗裝置,光纖傳感與通信技術(shù)培訓的應(yīng)用,光纖陀螺儀發(fā)展取得了更大的進步,并且在一定程度上能夠取代傳統(tǒng)的機械陀螺儀。
3 微機械陀螺儀參數(shù)與應(yīng)用
微機械陀螺涉及到的參數(shù)內(nèi)容包括了零偏飄移,分辨率,角隨機游走,標度因子,測量范圍等。參數(shù)同時也決定了其應(yīng)用的范圍,微機械陀螺儀依據(jù)其性能指標可以分為低精度,中精度,高精度,不同性能指標的微機械陀螺儀應(yīng)用行不同的環(huán)境條件,并且其發(fā)揮的作用是不同的。低精度與中精度的微機械陀螺儀用于對相對較短時間的角速度測量,而限制其發(fā)展的主要因素則是角隨機游走。低精度的微機械陀螺儀主要應(yīng)用電子,機器人,汽車導(dǎo)航等,上述場合對精度的要求比較低。而中精度的微機械陀螺儀則應(yīng)用于飛機,高精度微機械陀螺儀主要應(yīng)用于航天與空間定位等。微機械陀螺儀應(yīng)用的領(lǐng)域十分廣泛,比如手機,平板電腦,數(shù)碼相機,音樂播放順,游戲控制器,智能玩具等電子領(lǐng)域。車輛防滑驅(qū)動控制,氣囊系統(tǒng)與底盤控制等也有廣泛應(yīng)用。而在軍事中的應(yīng)用則主要是高精度的微機械陀螺儀,主要取決于其具體的用途,武器裝備向著精準打擊方向發(fā)展,因此就需要高精度微機械陀螺儀為其提供應(yīng)有的保障。而應(yīng)用于軍事方面其自身特點體現(xiàn)在功耗低,小體積,成本低,具體應(yīng)用包括了機器人,戰(zhàn)術(shù)導(dǎo)彈,無人機等。
4 微機械陀螺儀的不同類型
應(yīng)用于實際工作并且發(fā)展較快的微機械陀螺儀是硅基微機械陀螺儀,其應(yīng)用范圍汽車工業(yè)領(lǐng)域擴展到個人導(dǎo)航等方面。此類型微機械陀螺儀優(yōu)點體現(xiàn)在質(zhì)量輕與體積小,而功耗低,能夠較好的滿足手持設(shè)備要求,并且隨著相關(guān)技術(shù)的發(fā)展,其精度大幅度提升,已經(jīng)進入了高精度范圍。從結(jié)構(gòu)框架方面來細分,此類型微機械陀螺儀又可以將其分為,框架式,耦合式,振動式,解耦式,多軸或者單軸陀螺,多自由度或者是雙自由度陀螺等。
就解耦式陀螺儀而言,影響其性能正常發(fā)揮的因素主要是正交誤差信號的存在,主要影響內(nèi)容是溫度偏移。而解決此問題則需要通過正交解耦技術(shù),從而消弱誤差信號對功能正常發(fā)揮的影響。環(huán)形陀螺儀具有分辨率高,長期穩(wěn)定,匹配模式優(yōu)良等特性。單純只考慮最大增益等因素,傳統(tǒng)設(shè)計工作都使陀螺工作時保持在最高諧振頻率,而達成此目的則需要通過驅(qū)動諧振與敏感驅(qū)動頻率。但是系統(tǒng)對影響諧振頻率發(fā)生變化的因素十分敏感,高增益情況下,帶寬就會很窄。除此之外阻尼也會對其產(chǎn)生一定影響。
微機械振動陀螺儀依據(jù)材料可以將其分為壓力陶瓷、固態(tài)聲學、石英微機械陀螺。壓力陶瓷微機械振動儀相比于傳統(tǒng)振動儀,利用自身材料構(gòu)成振子從而完成,因此其魯棒性能優(yōu)良,能夠更好的抵抗外力沖擊力與震動對性能造成的影響,檢測范圍也更加的寬泛,能夠在大氣環(huán)境下工作并且不需要真空封裝。
固態(tài)聲學陀螺指的是陀螺結(jié)構(gòu)中沒有角速敏感裝置以及彈性支撐結(jié)構(gòu),具備良好的抗沖擊能力,同時對于真空封裝也沒有特別的要求。石英微機械陀螺屬于振動陀螺的范疇,其工作原理是哥式加速效應(yīng)?;w材料主要是石英,通過驅(qū)動與檢測電極實現(xiàn)驅(qū)動模態(tài)與狀態(tài)信號敏感。此類型陀螺儀應(yīng)用了一體化加工,優(yōu)點體現(xiàn)在體積小,精度高,可靠性高,環(huán)境適應(yīng)性良好等方面,應(yīng)用領(lǐng)域十分廣泛。
5 制約微機械陀螺儀發(fā)展的因素
制約因素首先需要考慮到漂移誤差,硅微陀螺在性能方面還有待提升,而性能提升的關(guān)鍵就在于使其存在的漂移誤差降低,尤其是隨機漂移誤差。由于技術(shù)與理論不完善,相比于傳統(tǒng)慣性器件,微機械陀螺儀的精度大約會降低一到三個數(shù)量級,而漂移又是其主要的誤差源,微機械陀螺儀漂移通常可以分為正常值漂移,速率隨機游走,速率斜坡,角度隨游走等,量化噪聲等。從宏觀方面來區(qū)分,雙可以將其為分為隨機部分與確定部分,后者再進一步細分又可以將其分為斜坡分量與常值漂移。而此部分是有規(guī)律可循的,如果補償?shù)靡酝晟?,有?guī)律可循部分不會影響到陀螺儀精度。確定部分消除后剩余的是隨機部分,被認為是噪音,對于噪音而言,實時補償是無能為力的。漂移數(shù)據(jù)處理通常應(yīng)用的是時間序列法建模,并利用算法使隨機噪聲產(chǎn)生的影響減小。因此在實際工作過程中,盡可能標定其確定部分,而使隨機部分減少。
精度方面存在的問題是陀螺儀結(jié)構(gòu)設(shè)計會影響到靈敏度,而應(yīng)用于實際工作中,系統(tǒng)成本與精度則主要有慣性儀表決定。高精度陀螺儀成本高而制造難度大。目前應(yīng)用于工作的陀螺儀如何提升其應(yīng)用精度是未來發(fā)展的重點。
6 結(jié)束語
陀螺儀在某些行業(yè)應(yīng)用非常廣泛,而其自身也經(jīng)歷了長期發(fā)展,種類多樣而功能豐富,能夠很好的滿足生產(chǎn)生活需要。雖然其自身在某些方面仍然存在局限,但是其未來發(fā)展前景是十分良好的。
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