方方　王輝

2016年年初，第三屆“最美邳州人”頒獎(jiǎng)儀式啟動(dòng)，趙超榜上有名。

在邳州之外，他曾是歐洲微電子中心（1MEc）資深科學(xué)家，也是現(xiàn)任中國(guó)科學(xué)院微電子研究所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心主任、國(guó)家“千人計(jì)劃”專(zhuān)家；在邳州，他為邳州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的形成獻(xiàn)智獻(xiàn)策，成為一位智珠在握、有口皆碑的“軍師”。

邳州人趙超，離開(kāi)家鄉(xiāng)時(shí)還是個(gè)小小少年。隨后的30余年中，他從南京走到哈爾濱，告別山東變身歐洲“海漂”，又從比利時(shí)魯汶“飛回”中國(guó)北京。真正踩到邳州土地上時(shí)，已經(jīng)是2012年了。這條回鄉(xiāng)之路，他走了很久。

從“海漂”到“海歸”

魯汶大學(xué)附近，就是世界著名的歐洲微電子研發(fā)中心（JMEc）。1994年起，趙超在魯汶大學(xué)攻讀博士學(xué)位，因?yàn)樗鶑氖碌捻?xiàng)目，經(jīng)常與lMEC往來(lái)。臨近畢業(yè)時(shí)，他順理成章地想到要去IMEC謀職。

他申請(qǐng)的崗位與“銅互連”有關(guān)，在集成電路工藝中，這屬于后道工序。面試極具戲劇性，“銅互連”項(xiàng)目負(fù)責(zé)人對(duì)趙超說(shuō)了“歡迎”之后，IMEC人事處卻開(kāi)始挖自己人的墻角?！拔覀冞@里還有另外一個(gè)項(xiàng)目更需要你?！睂?duì)方說(shuō)的是高K/金屬柵項(xiàng)目。

上世紀(jì)90年代末，高K/金屬柵剛剛進(jìn)入微電子界，IMEC自然把握住這個(gè)熱點(diǎn)，想要做出一番成績(jī)。剛巧，趙超在魯汶大學(xué)從事的氧化鋯、氧化鉿、氧化鋁等材料研發(fā)與高K/金屬柵工業(yè)化材料屬于同一體系。仔細(xì)考慮過(guò)后，趙超選擇加入IMEc的高K團(tuán)隊(duì)，成為全世界第一批采用8英寸ALD設(shè)備開(kāi)展高K/金屬柵研發(fā)的科學(xué)家。

“2004年之前的筆記本電腦放在桌子上，能把桌子烤糊。高K/金屬柵出現(xiàn)之前，工業(yè)界采用氮氧化硅層作為柵介質(zhì)，但只有1納米左右，即使靜態(tài)也會(huì)大量漏電，功耗極高，如果不改換材料，到今天的技術(shù)代，產(chǎn)生的熱量早就把芯片熔化掉了。用高K/金屬柵代替之后，介質(zhì)層的物理厚度會(huì)增加，減少漏電。這在當(dāng)時(shí)是技術(shù)進(jìn)步最大的一個(gè)瓶頸。如果沒(méi)有解決這個(gè)瓶頸，就不會(huì)有現(xiàn)在的28納米、16納米技術(shù)?！?/p>

自稱(chēng)“撞“到項(xiàng)目中的趙超，更愿意用“偵察”來(lái)形容自己的工作?！癐MEC所從事的先導(dǎo)技術(shù)研究是在工業(yè)界的大部隊(duì)到來(lái)之前，把技術(shù)里可能存在的‘雷給排除掉，讓大部隊(duì)走得更快更穩(wěn)健，同時(shí)節(jié)省研發(fā)成本?！?/p>

IMEc的10年，從最早的8英寸線(xiàn)到后來(lái)的12英寸線(xiàn)，從前道的高K到后道的銅互連，趙超都做了比較系統(tǒng)的工作，先后發(fā)表了130多篇論文，取得了數(shù)項(xiàng)國(guó)際核心專(zhuān)利。然而科研之旅走得越順暢，他的歸國(guó)之心就越發(fā)強(qiáng)烈，曾數(shù)次借“春暉計(jì)劃”回國(guó)進(jìn)行學(xué)術(shù)交流。

2009年10月，趙超飛往重慶參加科協(xié)舉辦的年會(huì)。聽(tīng)聞這個(gè)消息，中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所所長(zhǎng)王曦院士希望他們一行人能到微系統(tǒng)所做學(xué)術(shù)交流。當(dāng)時(shí)，02專(zhuān)項(xiàng)已經(jīng)啟動(dòng)，王曦院士為專(zhuān)項(xiàng)副總師，總師由中國(guó)科學(xué)院微電子所所長(zhǎng)葉甜春擔(dān)任。趙超的簡(jiǎn)歷發(fā)到微系統(tǒng)所后，或者是因?yàn)樗难芯颗c02專(zhuān)項(xiàng)息息相關(guān)，王曦院士轉(zhuǎn)手就把簡(jiǎn)歷傳給了葉甜春所長(zhǎng)。結(jié)果是，趙超還在趕往上海的途中，葉甜春已經(jīng)在微系統(tǒng)所等著他了。

作為02專(zhuān)項(xiàng)的總師，葉甜春談的是國(guó)家戰(zhàn)略和微電子所在其中承擔(dān)的任務(wù)——“22納米關(guān)鍵工藝技術(shù)先導(dǎo)研究與平臺(tái)建設(shè)”?！盀榱诉@個(gè)項(xiàng)目，國(guó)家投入幾個(gè)億，由微電子所牽頭，聯(lián)合清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)和微系統(tǒng)所，組織起一個(gè)全國(guó)攻關(guān)項(xiàng)目?，F(xiàn)在已經(jīng)有一些來(lái)自JBM等企業(yè)的人才加入，但是我們還缺一個(gè)對(duì)工藝線(xiàn)有全面了解的人?！比~甜春說(shuō)，“我覺(jué)得你特別適合，你能不能回國(guó)和我們一起做這件事？”

趙超被打動(dòng)了。在國(guó)外做得再久，也還是想能為自己的國(guó)家做些事情。更何況，他熱愛(ài)具有挑戰(zhàn)性的事業(yè)，“人這一生，能有多少次機(jī)會(huì)從零開(kāi)始建一條工藝線(xiàn)、組一個(gè)團(tuán)隊(duì)、搭一個(gè)平臺(tái)？”

他決定迎接挑戰(zhàn)，回國(guó)。

初入邳州試身手

回國(guó)之后，趙超的工作很快步入正軌，他一邊忙著“先導(dǎo)工藝技術(shù)開(kāi)放平臺(tái)”建設(shè)，一邊投入22納米技術(shù)關(guān)鍵工藝研發(fā)。日子過(guò)得緊張、忙碌而又充實(shí)。直到有一天接到一個(gè)電話(huà)，一個(gè)來(lái)自邳州市委組織部的電話(huà)。

電話(huà)內(nèi)容很簡(jiǎn)單，問(wèn)候過(guò)后就是表示“歡迎有機(jī)會(huì)回邳州看看”。這樣的問(wèn)候電話(huà)，整整持續(xù)了兩年，每個(gè)節(jié)假日都沒(méi)有落下過(guò)，趙超的心也在這一次次的電話(huà)里泛起了漣漪。

“邳州是徐州下屬的一個(gè)縣級(jí)市，我出生在那里，但是到7歲就離開(kāi)了?！庇谮w超而言，邳州是沉淀在荏苒時(shí)光里的少年記憶。那里水資源充沛，按流向歸宿分為中運(yùn)河、沂河、邳洪河三大水系，而不管是運(yùn)河決口，還是沂河水下山，都會(huì)殃及邳州城，讓它身不由己地成為一條“洪水走廊”。在他的印象里，當(dāng)?shù)厝饲锾熘环N高梁，因?yàn)榫退阌龅胶樗?，也能有一點(diǎn)收成。隔著電話(huà)，趙超仿佛又回到了少年時(shí)的邳州。但無(wú)法否認(rèn)的是，時(shí)隔多年，對(duì)于邳州，他是既惦念又陌生的，這也令他不斷自問(wèn)：“我到底能為邳州做點(diǎn)什么？”

2012年，江蘇省組織了一次與中國(guó)科學(xué)院的人才對(duì)接活動(dòng)，地點(diǎn)定在北京西直門(mén)。趙超在那里見(jiàn)到了時(shí)任邳州組織部干部科科長(zhǎng)的宋勇。在宋勇口中，他得知邳州有一家“博康信息化學(xué)品有限公司”（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“博康”），生產(chǎn)光刻膠原材料，產(chǎn)品已經(jīng)出口到了日本。

趙超當(dāng)然知道光刻膠是集成電路產(chǎn)業(yè)中最關(guān)鍵的材料之一，他沒(méi)想到的是印象里的農(nóng)業(yè)大縣居然在集成電路相關(guān)產(chǎn)業(yè)上做出了這樣的成績(jī)。在宋勇的牽線(xiàn)下，趙超結(jié)識(shí)了博康董事長(zhǎng)傅志偉。

說(shuō)起來(lái)，兩人也算是南京大學(xué)校友。傅志偉的創(chuàng)業(yè)是從醫(yī)藥中間體開(kāi)始的。所謂醫(yī)藥中間體，實(shí)際上是一些用于藥品合成工藝過(guò)程中的化工產(chǎn)品。這種化工產(chǎn)品，不需要藥品生產(chǎn)許可證，可以在普通的化工廠生產(chǎn)，可用于藥品的合成?！坝幸淮?，一家日本企業(yè)跟他們說(shuō)，你們可以試著開(kāi)發(fā)一些金剛烷系列的材料，如果達(dá)到了純度，就可以考慮用你們的產(chǎn)品。從開(kāi)始嘗試到接下訂單，他們經(jīng)歷了艱難的技術(shù)創(chuàng)新過(guò)程，最終在提純工藝上做出了突破，將粘污雜質(zhì)的控制挪到了源頭上，一下子就降低了生產(chǎn)成本，提高了產(chǎn)率。他們的產(chǎn)品也逐漸在日本市場(chǎng)上占據(jù)了穩(wěn)定的市場(chǎng)份額?！壁w超介紹說(shuō)。

博康當(dāng)然也有自己的苦惱，他們能夠生產(chǎn)用于集成電路制造的原材料，但以化工起家的他們對(duì)集成電路行業(yè)的了解有限。如何在已有成績(jī)的基礎(chǔ)上謀求更大的發(fā)展成為他們必須解決的急迫問(wèn)題。傅志偉很誠(chéng)懇地向自己的老鄉(xiāng)兼校友求援。

“既然與我的專(zhuān)業(yè)相關(guān)，我一定不遺余力?！痹诮忧⑦^(guò)程中，趙超表示。不久，他帶著團(tuán)隊(duì)來(lái)到邳州。經(jīng)過(guò)細(xì)致地考察，他在先進(jìn)光刻膠的開(kāi)發(fā)和市場(chǎng)戰(zhàn)略上為博康制定了一份路線(xiàn)圖——在穩(wěn)定現(xiàn)有產(chǎn)品的基礎(chǔ)上，跳出僅生產(chǎn)光刻膠原材料的圈子，從配方膠著手生產(chǎn)應(yīng)用級(jí)別的光刻膠。第一步，先瞄準(zhǔn)電子束光刻膠?！芭c大生產(chǎn)用的紫外光刻膠相比，電子束光刻膠的市場(chǎng)規(guī)模要小很多，但進(jìn)入的門(mén)檻也就比較低。由于種種原因，國(guó)外在電子束光刻膠上對(duì)我們禁運(yùn)。”在這方面取得突破，既能夠帶來(lái)一定的經(jīng)濟(jì)效益，還能夠填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白，使企業(yè)在業(yè)內(nèi)產(chǎn)生一定的影響力，是初入光刻膠領(lǐng)域的最佳選擇?！瓣P(guān)鍵是通過(guò)電子束光刻膠，把博康的團(tuán)隊(duì)建設(shè)起來(lái)，站穩(wěn)了腳步之后再開(kāi)發(fā)生產(chǎn)用量比較大的光刻膠，形成一個(gè)良性循環(huán)。”他補(bǔ)充道。

之后，趙超直接促成了博康與中國(guó)科學(xué)院微電子所的技術(shù)合作，建成了博康一中科院微電子所聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，與博康一起為先進(jìn)光刻材料研發(fā)努力。現(xiàn)在，博康的電子束光刻膠和248納米光刻膠均已實(shí)現(xiàn)批量銷(xiāo)售，企業(yè)最新研發(fā)的光刻膠單體實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)并大批量出口。用業(yè)界的話(huà)說(shuō)，博康的光刻膠單體和光刻膠產(chǎn)品的質(zhì)量和性能已經(jīng)達(dá)到甚至超過(guò)國(guó)外廠商的同類(lèi)產(chǎn)品，解決了中國(guó)光刻技術(shù)發(fā)展在源頭材料方面的瓶頸問(wèn)題，部分光刻膠單體和光刻膠產(chǎn)品的技術(shù)指標(biāo)達(dá)到世界先進(jìn)水平?！拔抑皇歉悼傇趹?zhàn)略層面上做了一點(diǎn)點(diǎn)工作，還是博康的團(tuán)隊(duì)做得好?！泵鎸?duì)博康同事的夸獎(jiǎng)，趙超淡然地說(shuō)。

一個(gè)游子的“邳州夢(mèng)”

就在與博康討論光刻膠發(fā)展路線(xiàn)的時(shí)候，一次偶然，微電子所的同事推薦了一個(gè)做激光直寫(xiě)光刻機(jī)的團(tuán)隊(duì)。當(dāng)時(shí)，該團(tuán)隊(duì)遇到了一系列困難，正處在解散的邊緣?！捌鋵?shí)，這個(gè)團(tuán)隊(duì)的技術(shù)成熟度很高，只是經(jīng)營(yíng)狀況不太好，如果能夠把這個(gè)團(tuán)隊(duì)穩(wěn)定住，踢出面向市場(chǎng)的‘臨門(mén)一腳，完全可能培養(yǎng)出一個(gè)很健康的企業(yè)來(lái)?！?/p>

察覺(jué)到這一點(diǎn)，趙超和他微電子所的同事立刻行動(dòng)起來(lái)。在他們的協(xié)調(diào)之下，博康與該團(tuán)隊(duì)達(dá)成了共識(shí)，僅僅兩個(gè)月，組建了新公司“影速”，落戶(hù)邳州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)。經(jīng)過(guò)兩年多的運(yùn)營(yíng)，影速已經(jīng)成長(zhǎng)為一個(gè)實(shí)力雄厚朝氣蓬勃的有行業(yè)影響的設(shè)備企業(yè)。除了邳州的生產(chǎn)基地，影速還在無(wú)錫開(kāi)設(shè)了研發(fā)中心，目前，已經(jīng)有20多臺(tái)設(shè)備銷(xiāo)售到生產(chǎn)企業(yè)，創(chuàng)造了幾千萬(wàn)的利潤(rùn)。影速光刻機(jī)的性能，即使是與德國(guó)競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的老牌產(chǎn)品打擂臺(tái)，也毫不遜色。更何況，他們的設(shè)備物美價(jià)廉，從性?xún)r(jià)比上來(lái)說(shuō)更容易在國(guó)際同類(lèi)產(chǎn)品中脫穎而出?！扒靶┨煸谂_(tái)灣的展會(huì)上，還接到3臺(tái)訂單，正式進(jìn)入臺(tái)灣市場(chǎng)?！壁w超深深地為影速的成績(jī)自豪。

影速的發(fā)展，使博康在集團(tuán)化的道路上越走越遠(yuǎn)。近年來(lái)，博康摘下了“江蘇省雙創(chuàng)團(tuán)隊(duì)”“江蘇省博士后創(chuàng)新實(shí)踐基地”等榮譽(yù)，多次被授予“邳州重大貢獻(xiàn)獎(jiǎng)”，成為集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟會(huì)員，被認(rèn)定為江蘇省企業(yè)技術(shù)中心和國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，成為蘇北地區(qū)一顆冉冉升起的明星。最近，趙超又幫助博康收購(gòu)了位于英國(guó)劍橋的一家高科技企業(yè)，播下了博康又一顆希望的種子。

博康，是趙超參與邳州產(chǎn)業(yè)化發(fā)展工作的第一個(gè)案例，也是他在產(chǎn)學(xué)研結(jié)合上一個(gè)成功的嘗試。之后，有更多的企業(yè)在他的策劃和引薦下，落地邳州，生根發(fā)芽。2015年9月，江蘇魯汶儀器有限公司在邳州創(chuàng)立。該公司的海外團(tuán)隊(duì)正是趙超借由在比利時(shí)的資源優(yōu)勢(shì)引入邳州的。到201 6年，魯汶儀器已經(jīng)下線(xiàn)了兩個(gè)中國(guó)首臺(tái)套設(shè)備，建立了諾貝爾獎(jiǎng)獲得者工作站，獲評(píng)江蘇省雙創(chuàng)團(tuán)隊(duì)，并在創(chuàng)建一年之內(nèi)，就實(shí)現(xiàn)了兩臺(tái)套設(shè)備的銷(xiāo)售。值得一提的是，魯汶儀器在邳州的發(fā)展也引起了比利時(shí)另一家企業(yè)實(shí)唯半導(dǎo)體的關(guān)注?！皩?shí)唯是我在IMEc的同事創(chuàng)立的，現(xiàn)在也已經(jīng)在邳州扎根?！?/p>

“引智引資”，是趙超回到邳州之后一直做的事情，他認(rèn)為自己是在搭建一座橋梁，使邳州產(chǎn)業(yè)界和前沿技術(shù)之間實(shí)現(xiàn)信息對(duì)等交流，幫助他們做出更專(zhuān)業(yè)、更具戰(zhàn)略眼光的判斷。授人以魚(yú)不如授人以漁，在更多時(shí)候，趙超更希望在邳州播下的是一顆“火種”，將他對(duì)集成電路產(chǎn)業(yè)的理解傳遞給邳州。此前，他所做的“半導(dǎo)體技術(shù)基礎(chǔ)知識(shí)”講座，為邳州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)的干部普及了該產(chǎn)業(yè)的“常識(shí)”，也為開(kāi)發(fā)區(qū)的招商引資活動(dòng)奠定了基礎(chǔ)。而后，他又積極參與邳州市委的“精進(jìn)書(shū)院”活動(dòng)，在其中主講了“全球集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展?fàn)顩r及邳州面臨的機(jī)遇與挑戰(zhàn)”。

“講座涉及集成電路和半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)業(yè)在全球范圍內(nèi)的發(fā)展概況，并對(duì)該產(chǎn)業(yè)鏈在邳州的戰(zhàn)略性發(fā)展機(jī)遇和需要解決的問(wèn)題進(jìn)行分析?！壁w超總結(jié)了報(bào)告的內(nèi)容。至今，他還為邳州市干部的工作和學(xué)習(xí)熱情所感動(dòng)。他談起當(dāng)時(shí)作報(bào)告的場(chǎng)景：他在臺(tái)上講邳州發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的優(yōu)勢(shì)、劣勢(shì)和規(guī)劃，臺(tái)下聽(tīng)講的干部反響熱烈，回應(yīng)積極，結(jié)果這場(chǎng)報(bào)告一下子講了四個(gè)半小時(shí)，臺(tái)上臺(tái)下都忘記了午飯時(shí)間。

報(bào)告后，邳州開(kāi)發(fā)區(qū)開(kāi)始編制半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展路線(xiàn)圖。開(kāi)發(fā)區(qū)領(lǐng)導(dǎo)要求參加編寫(xiě)路線(xiàn)圖的每一位干部都要對(duì)編寫(xiě)的內(nèi)容進(jìn)行詳細(xì)系統(tǒng)的介紹。那時(shí)候，趙超多次在半夜接到邳州的電話(huà)，請(qǐng)他就某一個(gè)問(wèn)題進(jìn)行把關(guān)。一場(chǎng)場(chǎng)匯報(bào)之后，邳州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)負(fù)責(zé)招商引資的干部們都成了行業(yè)專(zhuān)家，令前來(lái)邳州洽談落戶(hù)的業(yè)內(nèi)企業(yè)家驚訝不已。

“邳州這樣的地方，最大的劣勢(shì)是人才匱乏?！壁w超說(shuō)。在他看來(lái)，徐州通了高鐵之后，與北京、上海位于3小時(shí)交通圈內(nèi)，有利于利用兩地的智力資源，可以考慮將研發(fā)中心放在大城市，生產(chǎn)基地放在邳州。這一個(gè)便利點(diǎn)，在邳州高鐵建設(shè)提上日程之后將更為明顯?！摆菡苍诓渴鸾⒅菐?kù)，為企業(yè)延攬人才。有了人才隊(duì)伍，才能把產(chǎn)業(yè)做起來(lái)，有了產(chǎn)業(yè)，才能把更多的人才吸引進(jìn)來(lái)。”

這幾年來(lái)，趙超時(shí)常往返于北京和邳州之間?；刳莸倪@幾年，他感動(dòng)于邳州干部的敬業(yè)氛圍。“老家人是真的想做實(shí)事，也真的把當(dāng)初的戰(zhàn)略計(jì)劃看作是他們自己的‘邳州夢(mèng)，最終落實(shí)成了開(kāi)發(fā)區(qū)里孵化的一個(gè)個(gè)企業(yè)。”“沒(méi)有我們當(dāng)初的見(jiàn)面，就沒(méi)有現(xiàn)在邳州的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)?！壁菔形M織部如此對(duì)趙超說(shuō)。但在趙超心里，這其實(shí)也是他的“邳州夢(mèng)”。這個(gè)邳州是曾經(jīng)養(yǎng)育過(guò)他的邳州，看著這個(gè)曾經(jīng)貧困的故鄉(xiāng)一天天改變著模樣，而這其中也有自己做出的那么一點(diǎn)點(diǎn)貢獻(xiàn)，他心里充滿(mǎn)快樂(lè)。

雙城記中的雙贏

2009年至2014年，承擔(dān)國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)02專(zhuān)項(xiàng)“22納米關(guān)鍵工藝技術(shù)先導(dǎo)研究與平臺(tái)建設(shè)”，擔(dān)任“先導(dǎo)工藝技術(shù)開(kāi)放平臺(tái)“首席科學(xué)家。項(xiàng)目歷時(shí)5年，參研人數(shù)數(shù)百人，完成了國(guó)際水平的工藝研發(fā)平臺(tái)建設(shè)和22納米技術(shù)關(guān)鍵工藝解決方案。

2012年至2015年，承擔(dān)國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)02專(zhuān)項(xiàng)“16/14納米基礎(chǔ)技術(shù)研究”，擔(dān)任項(xiàng)目負(fù)責(zé)人。項(xiàng)目歷時(shí)3年，完成了16納米FinFETs技術(shù)研發(fā)，成果達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。

新材料，新工藝的探索性研究，high-k金屬柵，高遷移率溝道，新刻蝕工藝、清洗工藝，后柵工藝中的難點(diǎn)問(wèn)題……

回國(guó)以來(lái)，趙超帶著他的先導(dǎo)工藝研發(fā)中心真刀實(shí)槍地打響了大大小小的戰(zhàn)役。這樣緊鑼密鼓的日程里，還要在北京和邳州之間上演“雙城記”，堅(jiān)持下來(lái)著實(shí)不易。趙超自己卻覺(jué)得沒(méi)什么，“對(duì)邳州和研發(fā)中心來(lái)說(shuō)，我做的事情是雙贏的”。

他所說(shuō)的“雙贏”最早來(lái)自對(duì)博康光刻膠戰(zhàn)略的策劃?！白龉饪棠z需要有大型光刻機(jī)設(shè)備來(lái)對(duì)其質(zhì)量進(jìn)行驗(yàn)證。但對(duì)公司來(lái)說(shuō)，要建設(shè)安裝設(shè)備的超凈車(chē)間，培養(yǎng)專(zhuān)業(yè)工藝團(tuán)隊(duì)都需要很多資金和時(shí)間。采購(gòu)這種光刻機(jī)價(jià)值兩千多萬(wàn)，如何安置是個(gè)大問(wèn)題?！睘榱私鉀Q這個(gè)問(wèn)題，博康最終決定把設(shè)備放在先導(dǎo)工藝研發(fā)中心的工藝線(xiàn)上?！斑@樣一來(lái)，運(yùn)用該設(shè)備，我們不僅可以及時(shí)為博康提供驗(yàn)證服務(wù)，還可以支撐我們的日常科研工作?！壁w超說(shuō)，這些設(shè)備構(gòu)成了他們的聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室的重要基礎(chǔ)。

“能夠扶持地方產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，所（微電子所）里也很支持?！壁w超補(bǔ)充道。在隨后的幾年，中國(guó)科學(xué)院微電子所和邳州建立了良好的對(duì)接關(guān)系，而影速和魯汶儀器等公司入駐邳州，微電子所也入股其中，從技術(shù)和人員上進(jìn)行全方位的支持。

幾年下來(lái)，趙超團(tuán)隊(duì)建立起自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)引領(lǐng)下的科研模式，始終堅(jiān)持“專(zhuān)利先行”的戰(zhàn)略。“專(zhuān)利不是論文，是經(jīng)濟(jì)利益?！彼麄兊哪繕?biāo)是做真正能保護(hù)中國(guó)產(chǎn)業(yè)的“專(zhuān)利池”，為國(guó)內(nèi)企業(yè)贏得與國(guó)外領(lǐng)先企業(yè)實(shí)現(xiàn)專(zhuān)利交互授權(quán)的機(jī)會(huì)。目前，據(jù)國(guó)際上公開(kāi)發(fā)表的技術(shù)發(fā)展研究報(bào)告，中心在FinFET領(lǐng)域的專(zhuān)利族數(shù)量排第十一，質(zhì)量全球第一。研發(fā)中心的1200項(xiàng)專(zhuān)利已實(shí)現(xiàn)使用權(quán)向企業(yè)的轉(zhuǎn)移。他們也把先導(dǎo)工藝研發(fā)中心建成了一個(gè)開(kāi)放性的平臺(tái)，超凈廠房和8英寸研發(fā)線(xiàn)向全社會(huì)開(kāi)放，為全國(guó)幾十家企業(yè)，提供產(chǎn)品級(jí)和工藝級(jí)的研發(fā)服務(wù)。

“能在這么短的時(shí)間里，建成這樣的平臺(tái)為企業(yè)提供服務(wù)，你們是真做事的人！”每次聽(tīng)到國(guó)外的同行對(duì)他們工作的這種評(píng)價(jià)，趙超都很欣慰。作為研發(fā)中心的掌舵者，他還將一如既往地努力，把研發(fā)平臺(tái)這條船駛向更廣闊的海面。