一種制備高純氟氣或高純含氟混合氣的方法及裝置

申請(qǐng)(專利)號(hào)：201710002091.6

公開(公告)日：2017-05-24

申請(qǐng)(專利權(quán))人：多氟多化工股份有限公司

本發(fā)明涉及一種制備高純氟氣或高純含氟混合氣的方法及裝置，屬于氟化工技術(shù)領(lǐng)域。該方法包括將電解制得的氟氣或者采用電解制得的氟氣調(diào)配的含氟混合氣增壓至正壓，過濾后依次進(jìn)行一級(jí)冷凝和二級(jí)冷凝；所述一級(jí)冷凝的溫度為-60～-100℃，所述二級(jí)冷凝的溫度為-120～-180℃。該方法所得氟氣產(chǎn)品的純度達(dá)到99.9%以上，滿足現(xiàn)有電子行業(yè)和精細(xì)化工的生產(chǎn)用氟氣要求；所得含氟混合氣的純度達(dá)到99.9%以上，滿足含氟特種氣體的生產(chǎn)要求；整體上提高了氟氣產(chǎn)品的質(zhì)量，拓展了應(yīng)用市場(chǎng)，降低了生產(chǎn)過程中因氟氣或含氟混合氣純度不高而造成的下游成品的不合格率，具有良好的經(jīng)濟(jì)價(jià)值和廣闊的應(yīng)用前景。