空氣產(chǎn)品公司將為中芯國際天津項(xiàng)目供應(yīng)氣體

空氣產(chǎn)品公司(Air Products)6月26日宣布，公司將為集成電路晶圓代工企業(yè)中芯國際集成電路制造有限公司的天津產(chǎn)能擴(kuò)充暨新一代芯片制造項(xiàng)目提供工業(yè)氣體。

空氣產(chǎn)品公司將建造一座現(xiàn)場制氮工廠并利用現(xiàn)有的空分裝置和液態(tài)氣體供應(yīng)能力為中芯國際的擴(kuò)產(chǎn)新建項(xiàng)目提供高純氮?dú)?、氧氣、氬氣、二氧化碳、氫氣、氦氣和壓縮干燥空氣。

中芯國際天津公司位于國家級西青經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)?？諝猱a(chǎn)品公司自2004年起就為中芯天津現(xiàn)有的8 inch集成電路生產(chǎn)線供應(yīng)高純氮?dú)?、氧氣、氬氣和氦氣。待擴(kuò)建項(xiàng)目全部達(dá)產(chǎn)后，中芯天津月產(chǎn)能將達(dá)15萬片8 inch晶圓，有望成為世界上單體規(guī)模最大的8 inch集成電路生產(chǎn)線。