一種高效氮摻雜二氧化鈦薄膜的制備方法
2017-03-10 18:19:22
無機(jī)鹽工業(yè) 2017年7期
一種高效氮摻雜二氧化鈦薄膜的制備方法
本發(fā)明公開了一種高效氮摻雜二氧化鈦薄膜的制備方法，包括如下步驟：1）清洗玻璃基片，后用高壓N2吹干；2）采用直流耦合射頻磁控濺射的方法沉積氮摻雜二氧化鈦薄膜，即射頻電源與匹配器相連接后與直流電源一起連接至濾波器，濾波器直接連接陰極，射頻電源和直流電源一起供電給陰極。本發(fā)明采用直流耦合射頻磁控濺射的方法沉積氮摻雜二氧化鈦薄膜，從而得到沉積速率快、膜層質(zhì)量高的薄膜。本發(fā)明工藝簡單，條件易控，制備周期短，易于規(guī)模放大。制備的氮摻雜二氧化鈦薄膜結(jié)晶度高，與基底結(jié)合牢固，穩(wěn)定性好，可重復(fù)使用。
CN，106637117A
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