我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈凸顯“自主性”

集成電路

【本刊訊】5月23日，科技部會(huì)同北京市和上海市人民政府，組織召開(kāi)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項(xiàng)（簡(jiǎn)稱集成電路專項(xiàng)）成果發(fā)布會(huì)。該專項(xiàng)技術(shù)總師、中科院微電子所所長(zhǎng)葉甜春介紹，專項(xiàng)實(shí)施9年以來(lái)，已申請(qǐng)2.3萬(wàn)余項(xiàng)國(guó)內(nèi)發(fā)明專利和2000多項(xiàng)國(guó)際發(fā)明專利，所形成的知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系使國(guó)內(nèi)企業(yè)在國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)中的實(shí)力和地位發(fā)生了本質(zhì)變化，從“引進(jìn)消化吸收再創(chuàng)新”轉(zhuǎn)變?yōu)椤白灾餮邪l(fā)為主加國(guó)際合作”新模式。

為實(shí)現(xiàn)自主創(chuàng)新發(fā)展，“極大規(guī)模集成電路”重大專項(xiàng)于2008年啟動(dòng)實(shí)施。全國(guó)200多家企事業(yè)單位的2萬(wàn)多名科研人員，參與技術(shù)攻關(guān)。經(jīng)過(guò)9年努力，如今，我國(guó)集成電路制造技術(shù)實(shí)現(xiàn)了“從無(wú)到有”、“由弱漸強(qiáng)”的巨大變化，引領(lǐng)和支撐我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)快速崛起。

北京市經(jīng)信委主任張伯旭介紹，專項(xiàng)實(shí)施前，我國(guó)集成電路高端裝備和材料基本處于空白狀態(tài)，完全依賴進(jìn)口，產(chǎn)業(yè)鏈嚴(yán)重缺失。目前，我國(guó)已研制成功14納米刻蝕機(jī)、薄膜沉積等30多種高端裝備，同時(shí)，具備了靶材、拋光液等上百種性能達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平的材料產(chǎn)品，并開(kāi)始批量應(yīng)用并出口到海外。國(guó)內(nèi)企業(yè)應(yīng)用這些高端成果研制出了成套的LED和光伏制造裝備，使得我國(guó)LED和光伏等泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)綜合競(jìng)爭(zhēng)力大幅躍升，產(chǎn)業(yè)規(guī)模和技術(shù)水平實(shí)現(xiàn)了國(guó)際領(lǐng)先。

集成電路制造技術(shù)代表著當(dāng)今世界微細(xì)制造的最高水平，集成電路產(chǎn)業(yè)已成為影響社會(huì)、經(jīng)濟(jì)和國(guó)防的安全保障與綜合競(jìng)爭(zhēng)力的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)。在專項(xiàng)支持下，一批龍頭企業(yè)進(jìn)入世界前列，一批骨干企業(yè)進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng)，一批企業(yè)成功上市。國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金成立以來(lái)，所投資項(xiàng)目的60%以上是集成電路專項(xiàng)前期支持和培育的企業(yè)。 （丁健）