一種高靈敏度石墨烯磁場(chǎng)傳感器及其制備方法
2016-03-25 11:02:39
傳感器世界 2016年12期
申請(qǐng)?zhí)枺?201510908225.1
【公開(kāi)號(hào)】CN105405965A
【公開(kāi)日】2016.03.16
【分類號(hào)】H01L43/06; H01L43/14; G01R33/00
【申請(qǐng)日】2015.12.09
【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
【發(fā)明人】王浩敏;謝紅;王慧山;李蕾;謝曉明;江綿恒
【摘 要】本發(fā)明提供一種高靈敏度石墨烯磁場(chǎng)傳感器及其制備方法。以干法轉(zhuǎn)移的方法形成h-BN—石墨烯—h-BN的霍爾器件作為磁場(chǎng)傳感器的核心結(jié)構(gòu)，可以避免濕法轉(zhuǎn)移工藝及圖形化刻蝕、金屬沉積工藝等對(duì)材料晶格造成的污染與破壞；以h-BN作為襯底及封裝層，有利于維持石墨烯載流子遷移率，并保護(hù)器件避免吸附空氣中的O2、H2O及微粒，以提高器件電學(xué)性能；此外石墨烯與金屬電極之間采用一維線接觸的方式連接，將大大降低器件的接觸電阻及功耗。
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