黃秀麗

摘要：三等金屬線紋尺主要用于檢定水準(zhǔn)標(biāo)尺、鋼直尺以及準(zhǔn)確度較低的線紋尺。目前，使用中的線紋尺多由黃銅、鋅白銅、不銹鋼等材料制成。

關(guān)鍵詞：三等金屬線紋尺;激光干涉法;比較檢定

0、引言

在傳統(tǒng)檢定中，多采用與二等金屬線紋尺進(jìn)行比較的測量方法。隨著科技的發(fā)展，激光越來越多地被應(yīng)用在線紋尺的檢定中。根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)器選取和測量方式的不同，線紋尺的檢定方法可分為兩種形式：以激光干涉儀直接檢定和以二等金屬線紋尺比較檢定，直接檢定是以激光波長作為標(biāo)準(zhǔn);比較檢定是以實(shí)物量具即二等金屬線紋尺作為標(biāo)準(zhǔn)。直接檢定由于其激光的光路必須與測量方向重合，因此只有一種安裝方式。而在比較檢定中，則可分為串聯(lián)縱動式和并聯(lián)縱動式兩種，其中串聯(lián)縱動式由于標(biāo)準(zhǔn)器與線紋尺刻度中心線的延長線重合。由導(dǎo)軌直線度誤差引起的測量誤差是二階誤差，因此，可以獲得精確的測量結(jié)果，符合阿貝原則。

由于線紋尺的檢定對環(huán)境的要求較高、檢定過程繁瑣、數(shù)據(jù)處理相對復(fù)雜。此外，還由于材料及運(yùn)輸因素，在周期檢定中每年的數(shù)據(jù)都有差異，根據(jù)幾年來的工作心得，下面分別對采用兩種不同標(biāo)準(zhǔn)器對三等金屬線紋尺進(jìn)行檢定的影響進(jìn)行分析，并指出在檢定工作中應(yīng)注意的事項(xiàng)。

一、線紋尺的比較檢定

誤差的主要來源有：（1）標(biāo)準(zhǔn)尺的檢定誤差;（2）顯微鏡的對準(zhǔn)誤差及調(diào)整誤差;（3）線紋尺的安裝誤差;（4）標(biāo)準(zhǔn)尺與被檢尺溫度的測量誤差;（5）線紋尺材料線膨脹系數(shù)的測量誤差等。

在上述誤差主要來源中，兩尺溫度的測量誤差是各種誤差因素中最為顯著的，尤其是在線紋尺的溫度膨脹系數(shù)較大的情況下，若溫度測量稍不準(zhǔn)確，就會帶來較大的測量誤差。

在采用比較法檢定線紋尺時，如標(biāo)準(zhǔn)尺的溫度為20.4℃，線膨脹系數(shù)為10.8×10-6℃-1，被檢尺的溫度為20.4℃，線膨脹系數(shù)為16.6×10-6℃-1，則相對于20℃時標(biāo)準(zhǔn)尺會增加4.32μm，被檢尺會增加9.96μm，可以通過計算消除這部分誤差，但如果使用的貼附式溫度計的不確定度為0.1℃，則會產(chǎn)生5.8μm的測量誤差。

在其他因素中，比如導(dǎo)軌直線度，如果在工作臺移動過程中在垂直內(nèi)產(chǎn)生2″的傾斜，在水平方向產(chǎn)生5″傾斜，兩讀數(shù)顯微鏡的視軸距離為1100mm，則由此產(chǎn)生的測量誤差僅為0.4μm?？梢娤鄬τ跍囟缺容^，其對測量結(jié)果影響很小。

二、線紋尺的激光干涉法檢定

誤差來源主要有：（1）激光波長的檢定誤差及穩(wěn)頻誤差;（2）測量折射率的誤差;（3）測量線紋尺溫度的誤差;（4）線紋尺的材料線膨脹系數(shù)誤差。

在激光干涉法檢定線紋尺時，實(shí)際上測得的是被測長度和所測波長的比值，由于激光給定的波長都是真空中的波長。

因此，在檢定時需要將真空中的波長換算為實(shí)際工作狀態(tài)下的波長，得到在測量狀態(tài)下的空氣折射率?？諝庹凵渎逝c氣壓、溫度、濕度以及大氣成分有關(guān)，并且不同波長的激光在空氣中的折射率也不一樣，經(jīng)過計算得到：

測量長度為1m時：

溫度Δt=0.1℃，ΔLt≈92nm

氣壓Δp=1Pa，ΔLp≈3nm

濕度Δf=1Pa，ΔLf≈0.4nm

此外，由于材質(zhì)以及本身結(jié)構(gòu)的原因，線紋尺在送檢及運(yùn)輸過程中極易變形，從而產(chǎn)生誤差，雖然其為二次誤差，對測量結(jié)果影響不大，但由于三等金屬線紋尺的尺底平面度在測量過程中引起的刻線影像模糊，從而在主觀上產(chǎn)生的測量誤差也是在檢定工作中值得注意的問題。

三、結(jié)束語

通過以上分析，可以得出以下結(jié)論，無論是采用干涉儀絕對測量還是二等標(biāo)準(zhǔn)金屬線紋尺比較測量，環(huán)境溫度穩(wěn)定和準(zhǔn)確是保證測量結(jié)果可靠最重要的因素，而溫度對其測量結(jié)果影響的大小，又取決于線紋尺材料的膨脹系數(shù)。

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