(2015-19-俄羅斯-4)

1.壓電納米控制器PSF-3

納米控制器PSF-3是一種3軸控制系統(tǒng)，由操縱桿或計算機控制，集高分辨率（～0.4nm）、持續(xù)溫度穩(wěn)定（在20℃情況下，漂移小于2nm/h）和大位移（每軸10mm）于一體。

結(jié)構(gòu)的技術(shù)訣竅在于外方開放的壓電馬達PM-20R及其控制原理。當(dāng)電機斷電時，它可以自動鎖定運動，幾乎沒有死角和漂移。

技術(shù)性能指標(biāo)：

位移范圍 10 mm

最小步 0.4 nm

漂移（20°C情況下） <2 nm/h

速度范圍(步– 連續(xù)) 5 нм/s-500 мкм/s

壓電沖擊(位移/加速) 1-40мкм/g

最大承載能力 1.5 kG

電壓 12 V

標(biāo)準(zhǔn)消耗功率 1瓦

最大消耗功率(1個軸) 5瓦

尺寸(mm) 208(h)×140(w)×110(d)

PSF-3/操縱桿的重量 1.7 kg/0.5 kg

壓電電機 PM-20R（旋轉(zhuǎn)型）

2.壓電納米控制器3XL-piezo

納米控制器3XL-piezo是一種3軸控制系統(tǒng)，由操縱桿或計算機控制，具有高分辨率（～10nm）、持續(xù)溫度穩(wěn)定（在20℃情況下，漂移小于5nm/h）和大位移（每軸25mm）等特點。

結(jié)構(gòu)的技術(shù)訣竅在于外方企業(yè)開發(fā)的11*24諧振型壓電馬達及其控制原理。

技術(shù)性能指標(biāo)：

位移范圍 25 mm

最小步 10 nm

漂移（20°C情況下） <5 nm/h

速度范圍 20 nm/s-20 mm/s

壓電沖擊(位移/加速) (1-100微米)/5g

最大承載能力 150 g

電壓 12 V

標(biāo)準(zhǔn)消耗功率 1.5瓦

尺寸(mm) 38(w)×73(h)×55(d)

3Xl-piezo/操縱桿的重量 1.5kg/0.5 kg

壓電電機 11*24級（線性型）

該技術(shù)具有專利，外方期望以多種方式開展合作。