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        電磁驅(qū)動電容式振動微機(jī)械陀螺接口電路研究

        2013-12-31 00:00:00肖懷國
        數(shù)字化用戶 2013年28期

        微機(jī)械陀螺具有廣闊的發(fā)展和應(yīng)用前景。在軍事上,它可用于戰(zhàn)術(shù)導(dǎo)彈和智能炸彈的制導(dǎo)、微型衛(wèi)星和無人機(jī)等的姿態(tài)控制。在民用方面,它可用于汽車的自動駕駛和安全防護(hù)系統(tǒng)以及工業(yè)機(jī)器人、大地測量、石油鉆探、礦山開采、隧道工程、海洋開發(fā)等的定位定向系統(tǒng)。陀螺發(fā)展至今,人們已經(jīng)研制出多種不同形式的陀螺,有轉(zhuǎn)子式陀螺、光學(xué)陀螺和振動式陀螺等。微機(jī)械陀螺從形式上屬于振動式陀螺,它是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)來制作的。在加工方法以及器件特性等方面,微機(jī)械陀螺都有別于轉(zhuǎn)子式陀螺和光學(xué)陀螺等,它主要應(yīng)用于對測量精度要求不高的場合。

        一、陀螺接口電路工作原理

        (一)陀螺驅(qū)動電路的工作原理

        本文所討論的陀螺采用電磁驅(qū)動,其原理是在陀螺周圍設(shè)置一條由一塊具有很強(qiáng)磁性的永久磁鐵構(gòu)成的磁路,這一磁路在垂直于陀螺驅(qū)動振動方向產(chǎn)生一個穩(wěn)定的靜磁場,在驅(qū)動質(zhì)量塊振動的一個小的區(qū)域,這一磁場可以認(rèn)為是均勻的。在驅(qū)動質(zhì)量塊上采用蒸鋁的辦法制作一條驅(qū)動導(dǎo)線,那么當(dāng)在驅(qū)動導(dǎo)線上加一個驅(qū)動電流時,驅(qū)動導(dǎo)線將會受到洛倫茲力的作用。由于驅(qū)動導(dǎo)線是采用蒸鋁的方法在驅(qū)動質(zhì)量塊上制作的,所以驅(qū)動導(dǎo)線和驅(qū)動質(zhì)量塊是一體的。下圖為驅(qū)動電路工作原理圖

        (二)陀螺檢測電路的工作原理

        本文所討論的陀螺的檢測方式為電容檢測。電容檢測方法有很多種,比如開關(guān)電容檢測法、充放電流法、電容頻率轉(zhuǎn)換方法、電容相位檢測方法、D-S法、A-D轉(zhuǎn)換法、PWM法等等;由于陀螺檢測電容的一些特殊性質(zhì),首先需要測量的是簡諧變化電容的幅度,并且這個幅度很小,電容變化的幅度大約是靜態(tài)電容的幾千分之一,靜態(tài)時檢測電容的大小大約為5 pF,需要檢測的電容幅度大約為10aF,這么微小的電容變化用以上的方法很難實(shí)現(xiàn);而且,由于陀螺驅(qū)動信號對檢測電極的耦合,耦合的信號與檢測電容變化的頻率相同,兩個信號難以區(qū)分。所以,在檢測電容的電路中采用了載波調(diào)制方法測量電容,把電容的變化轉(zhuǎn)化成高頻信號的幅度變化;這種方法可以去除陀螺驅(qū)動信號對檢測電極耦合的低頻信號,而且通過對高頻信號的同步檢波可以檢測微小電容變化。我們在檢測電容極板上加了1MHz的載波對信號進(jìn)行幅度調(diào)制,在用積分器檢出信號并經(jīng)過放大和濾波以后,采用同步解調(diào)的方法對1MHz的載波進(jìn)行卸載。由于角速度信號經(jīng)過了驅(qū)動速度的調(diào)制,所以在卸載了1MHz載波以后,還需要再經(jīng)過一次同步解調(diào)才能得到角速度信號。另外,為了提高陀螺的工作帶寬和線性度,檢測電路采用力平衡方式,這就需要將卸載了1MHz載波以后的信號經(jīng)過移相以后反饋到電容極板上。

        二、關(guān)鍵器件選用

        在陀螺接口電路中,需要用到一些關(guān)鍵器件,這些器件的正確使用對提高接口電路的性能至關(guān)重要,下面介紹幾個主要的器件。

        (一)波形發(fā)生器

        在驅(qū)動電路中,需要發(fā)生一個與驅(qū)動模態(tài)的固有頻率(2kHz)相同的信號來驅(qū)動質(zhì)量塊;在檢測電路中,需要發(fā)生一個1MHz的載波信號。這就需要用到波形發(fā)生電路。單片集成的波形發(fā)生電路有ICL8038、MAX038等,其中MAX038具有比較優(yōu)越的性能,因此我們選用了這一器件作為波形發(fā)生器。

        (二)可調(diào)增益放大器

        在驅(qū)動電路中,為了維持質(zhì)量塊的穩(wěn)幅振動,需要通過速度反饋電壓來控制驅(qū)動電流的大小,我們采用AD603來完成這一工作。AD603是一個高精度的可控增益放大器,它可以通過反饋信號與參考信號的差值來控制輸入信號的放大倍數(shù)。其管腳連接如下圖:

        (三)模擬乘法器

        在檢測電路中,同步解調(diào)電路是決定整個檢測電路性能的關(guān)鍵。有很多器件如AD630、AD835等都能實(shí)現(xiàn)同步解調(diào)的功能,但由于AD835具有高精度、高帶寬以及連接簡單等優(yōu)點(diǎn),我們選用了模擬乘法器AD835。

        三、結(jié)論

        微機(jī)械陀螺的接口電路是決定微機(jī)械陀螺性能的關(guān)鍵因素,因此,對接口電路的研究至關(guān)重要。本文從工作原理、傳輸函數(shù)和穩(wěn)定性等方面對接口電路進(jìn)行了分析,并介紹了接口電路中所用到的幾種關(guān)鍵器件。理論分析和實(shí)驗(yàn)表明,我們的驅(qū)動電路是穩(wěn)定的,檢測電路是可行的。

        參考文獻(xiàn):

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        [2]李昕欣.硅多層微機(jī)械結(jié)構(gòu)的無掩模腐蝕技術(shù)和硅微機(jī)械振動式陀螺的研究.復(fù)旦大學(xué).1997.11.

        [3]熊斌.柵結(jié)構(gòu)微機(jī)械振動式陀螺.中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所.2000.11.1

        [4]黃小振. 電容式振動微機(jī)械陀螺借口電路的設(shè)計、模擬和測試.2001.2.

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