黃　超　榮麗梅　謝光忠

0引言

隨著聲表面波(Surface Acoustic Wave，SAW)技術(shù)的發(fā)展，SAW傳感器已經(jīng)成為重要的一個(gè)分支。聲表面波傳感器以其體積小，重量輕，功耗低，以及靈敏度高，抗干擾強(qiáng)，精度高，重復(fù)性和一致性良好的特點(diǎn)，可以實(shí)現(xiàn)無線傳感，便于大批量生產(chǎn)，成本低，目前已經(jīng)成為了各種高性能傳感器的首選。