摘要：當(dāng)ATE機(jī)臺(tái)進(jìn)行集成電路測試時(shí)，系統(tǒng)會(huì)存在芯片的電參數(shù)測試條件超出ATE機(jī)臺(tái)配置板卡資源的情況。因此，文章利用通用源表具備高性能測試指標(biāo)的特點(diǎn)，設(shè)計(jì)基于ATE機(jī)臺(tái)的通用源表程控系統(tǒng)。系統(tǒng)與ATE機(jī)臺(tái)只須通過簡單連接且無須編寫復(fù)雜程控指令便可實(shí)現(xiàn)程控。系統(tǒng)可動(dòng)態(tài)更改外接源表的功能配置與參數(shù)測試項(xiàng)順序，輔助ATE機(jī)臺(tái)完成連續(xù)自動(dòng)測試。源表采集的測試數(shù)據(jù)可直接回傳至ATE機(jī)臺(tái)測試數(shù)據(jù)UI界面進(jìn)行參數(shù)卡限判斷。經(jīng)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，通用源表程控系統(tǒng)使得基于ATE的程控外接源表搭建更加簡潔，測試操作更加便捷，芯片測試效率顯著提升。

關(guān)鍵詞：ATE測試；源表程控；參數(shù)測試；系統(tǒng)設(shè)計(jì)

中圖分類號(hào)：TP23" 文獻(xiàn)標(biāo)志碼：A

0 引言

隨著集成電路產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，目前部分芯片的電參數(shù)所要求的測試條件很高，此時(shí)就會(huì)存在自動(dòng)試驗(yàn)設(shè)備（Automated Testing Equipment，ATE）機(jī)臺(tái)的配置資源無法直接完成芯片電參數(shù)測試的情況。針對上述情況，行業(yè)內(nèi)采用的常規(guī)解決辦法是ATE機(jī)臺(tái)外接各類型的通用源表［1］，在對應(yīng)機(jī)臺(tái)的程序編譯環(huán)境下編寫程控指令調(diào)用各類型源表實(shí)現(xiàn)測試［2-3］。但是由于通信接口不同，常見的有USB、網(wǎng)口、GPIB接口等，程控指令的代碼編寫大相徑庭；并且由于ATE機(jī)臺(tái)的差異，所編寫的程控指令采用截然不同的編程語言與編程方式，這就會(huì)導(dǎo)致在基于ATE機(jī)臺(tái)程控外界源表進(jìn)行實(shí)驗(yàn)時(shí)，操作十分煩瑣，調(diào)試較為困難［4-5］。

測試程序開發(fā)人員在進(jìn)行源表程控時(shí)，常用的控制協(xié)議是可編程儀器標(biāo)準(zhǔn)命令（Standard Commands for Programmable Instruments，SCPI）。SCPI指令集是以IEEE 488.1和IEEE 488.2標(biāo)準(zhǔn)為基礎(chǔ)［6-7］、以ASCII字符組成的標(biāo)準(zhǔn)儀器命令語言。SCPI指令集定義了一套用于控制可編程儀器的標(biāo)準(zhǔn)語法命令格式，在各大儀器廠商間普遍使用，是現(xiàn)在控制可編程儀器的重要標(biāo)準(zhǔn)［8-10］。

本文設(shè)計(jì)的基于ATE的通用源表程控系統(tǒng)，同樣使用SCPI指令集作為源表程控的通信協(xié)議。此系統(tǒng)設(shè)計(jì)分為軟件和硬件部分：軟件部分用于配置源表的功能設(shè)置，參數(shù)測試項(xiàng)及測試順序的設(shè)置，并且將SCPI控制指令下發(fā)至硬件部分；硬件部分用于連接各類型通用源表，并向源表轉(zhuǎn)發(fā)SCPI命令用于程控［11］。源表返回的測試數(shù)據(jù)將通過網(wǎng)線反饋至硬件部分的存儲(chǔ)單元內(nèi)進(jìn)行存儲(chǔ)。ATE測試機(jī)臺(tái)編程軟件讀取源表測試數(shù)據(jù)并將測試數(shù)據(jù)上傳至UI界面進(jìn)行卡限判斷。經(jīng)實(shí)驗(yàn)測試，基于ATE的通用源表程控系統(tǒng)極大地簡化了工程測試人員搭建程控系統(tǒng)的工作量，縮短了測試開發(fā)人員的程控代碼調(diào)試時(shí)間，顯著提升了集成電路的測試效率。

1 總體設(shè)計(jì)方案

通用源表程控系統(tǒng)總體設(shè)計(jì)如圖1所示，主要包含4個(gè)部分：源表程控上位機(jī)軟件、綜合控制器、ATE測試機(jī)和各類型源表。

在通用源表程控系統(tǒng)運(yùn)行前，通過源表程控上位機(jī)軟件提前將各類型源表的SCPI指令集成在源表上位機(jī)軟件協(xié)議庫（MySQL數(shù)據(jù)庫）中，同時(shí)錄入源表程控自動(dòng)配置裝置的SCPI協(xié)議庫（嵌入式驅(qū)動(dòng)庫）中，使得二者在簡單協(xié)議通信時(shí)能進(jìn)行關(guān)聯(lián)。

通用源表程控系統(tǒng)運(yùn)行過程如下：（1）系統(tǒng)在源表程控上位機(jī)軟件對外接源表執(zhí)行功能及順序進(jìn)行配置和編碼，并將編碼后的“SCPI”程控命令集發(fā)送給源表程控自動(dòng)配置裝置的SCPI收發(fā)模塊。（2）指令隔離模塊對ATE機(jī)臺(tái)發(fā)送的調(diào)用指令進(jìn)行隔離，源表程控主控模塊根據(jù)調(diào)用指令按順序調(diào)用外接源表SCPI指令，同時(shí)向ATE測試機(jī)臺(tái)上位機(jī)軟件反饋SCPI指令的調(diào)用狀態(tài)，并將調(diào)用的SCPI指令通過路由器模塊傳遞至源表網(wǎng)口；此時(shí)，外接源表會(huì)根據(jù)接收SCPI指令進(jìn)行測量工作，并將測試數(shù)據(jù)通過路由器模塊返回至源表程控主控模塊；同時(shí)，LCD顯示模塊會(huì)實(shí)時(shí)顯示調(diào)用指令、SCPI指令調(diào)用狀態(tài)、外接源表測試狀態(tài)。（3）源表程控主控模塊將測試數(shù)據(jù)通過SCPI收發(fā)模塊上傳至源表程控上位機(jī)軟件。（4）源表程控上位機(jī)軟件根據(jù)上位機(jī)軟件協(xié)議庫中的SCPI協(xié)議對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行解碼，并將解碼后得到的測試數(shù)據(jù)存儲(chǔ)于測試數(shù)據(jù)保存模塊中。（5）ATE測試機(jī)臺(tái)編程軟件讀取源表程控上位機(jī)軟件存儲(chǔ)的外接源表測試數(shù)據(jù)，并同步上傳至ATE機(jī)臺(tái)測試數(shù)據(jù)UI界面用于所測試電參數(shù)的卡限判斷。

源表程控上位機(jī)軟件的代碼執(zhí)行流程如圖2所示。若源表程控上位機(jī)軟件是配合ATE機(jī)臺(tái)實(shí)現(xiàn)多個(gè)或者單一特殊電參數(shù)的自動(dòng)測試，源表程控上位機(jī)軟件可以配置外接源表測試中常見的SCPI命令，并配置多個(gè)指令序列，然后根據(jù)ATE機(jī)臺(tái)的調(diào)用IO電平觸發(fā)指令實(shí)現(xiàn)程控操作。具體流程是：ATE測試機(jī)設(shè)定m根控制IO口與源表程控自動(dòng)配置裝置進(jìn)行連接，則理論上可加載的SCPI程控命令有2m個(gè)（eg：6根線，理論上可加載64個(gè)SCPI程控命令），m根控制線施加不同的高低電平，從000…000到111…111，每一個(gè)數(shù)值對應(yīng)一個(gè)SCPI程控命令，ATE測試機(jī)施加電平信號(hào)到源表程控自動(dòng)配置裝置，配置系統(tǒng)接收電平信號(hào)后將電平信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字標(biāo)識(shí)符，然后把標(biāo)識(shí)符對應(yīng)的SCPI指令搜索篩選出來，并通過路由器模塊將SCPI指令按順序發(fā)送給外接源表，外接源表收到SCPI指令后執(zhí)行測試工作，再將測試數(shù)據(jù)經(jīng)源表程控自動(dòng)配置裝置回傳至源表程控上位機(jī)軟件，ATE測試機(jī)臺(tái)上位機(jī)軟件讀取測試數(shù)據(jù)后進(jìn)行卡限判斷。ATE測試完畢后重新發(fā)送控制調(diào)用IO電平指令加載新的SCPI指令，如此往復(fù)直到所有特殊電參數(shù)完成測試，從而達(dá)到通過不同類型外接源表輔助ATE機(jī)臺(tái)完成特殊電參數(shù)測試的目的。

若源表程控上位機(jī)軟件只用于單獨(dú)儀表的程控，實(shí)現(xiàn)單次數(shù)據(jù)查詢指令的發(fā)送或者期望激勵(lì)的施加，則單一程控讀取的數(shù)據(jù)經(jīng)過源表程控主控模塊轉(zhuǎn)發(fā)給ATE機(jī)臺(tái)的上位機(jī)軟件，由ATE機(jī)臺(tái)的上位機(jī)軟件記錄測試數(shù)據(jù)。并且，期望激勵(lì)的施加為單向操作，ATE機(jī)臺(tái)的上位機(jī)軟件發(fā)送指令后，對應(yīng)信號(hào)源執(zhí)行相應(yīng)操作，完成期望激勵(lì)施加，程控流程結(jié)束。

2 驗(yàn)證測試

驗(yàn)證測試以NorFlash芯片HWD29GL01GP作為被測樣件進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，該芯片的A9引腳輸入負(fù)載電流須要施加12.5 V電壓進(jìn)行加壓測流，參數(shù)卡限上限為35 μA。所用源表為德科技高精度臺(tái)式電源B2902B，同時(shí)，采用國際通用測試機(jī)臺(tái)進(jìn)行驗(yàn)證測試。

本次源表執(zhí)行的功能是加壓測流，配合ATE機(jī)臺(tái)完成自動(dòng)測試。首先，設(shè)置數(shù)字標(biāo)識(shí)符為“0”，所代表的功能是設(shè)置源表功能為電源通道1施加電壓12.5 V，電流閾值為1 A，施加電壓并測量芯片輸出的電流；然后，將ATE機(jī)臺(tái)通過網(wǎng)線和電導(dǎo)線與綜合控制器相連接，源表通過網(wǎng)線直接與綜合控制器相連接。

實(shí)驗(yàn)開始，首先ATE直接運(yùn)行相應(yīng)測試項(xiàng)，機(jī)臺(tái)硬件板卡上的IO通道發(fā)送數(shù)字標(biāo)識(shí)符“0”綜合控制器；綜合控制器解碼數(shù)字標(biāo)識(shí)符“0”對應(yīng)的SCPI指令，并將SCPI指令發(fā)送給指定源表。其次，綜合控制器成功控制高精度臺(tái)式電源通道1施加12.5 V電壓并測得電流數(shù)據(jù)為4.37795 μA。再次，ATE測試機(jī)編程軟件讀取測試數(shù)據(jù)并同步將測試數(shù)據(jù)上傳至ATE機(jī)臺(tái)測試數(shù)據(jù)UI界面用于參數(shù)測試卡限判斷。最后，經(jīng)判斷測試結(jié)果在合格卡限范圍內(nèi)，測試項(xiàng)最終顯示“PASS”，同時(shí)源表程控上位機(jī)軟件也會(huì)記錄測試數(shù)據(jù)。

綜合上述實(shí)驗(yàn)情況，基于ATE的通用源表程控系統(tǒng)整體測試環(huán)境搭建十分簡潔，源表程控上位機(jī)軟件完成通用源表的功能配置與測試項(xiàng)順序設(shè)置非常便捷，最終測試數(shù)據(jù)上傳高效穩(wěn)定。上傳的測試數(shù)據(jù)表明，基于ATE的通用源表程控系統(tǒng)驗(yàn)證測試通過。

3 結(jié)語

基于ATE的通用源表程控系統(tǒng)成功實(shí)現(xiàn)了高精端臺(tái)式電源的程控，并完成加壓測流的預(yù)設(shè)功能，測試數(shù)據(jù)符合測試參數(shù)卡限，實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證測試通過。根據(jù)驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)所達(dá)到的效果，通用源表程控系統(tǒng)使得基于ATE的程控外接源表搭建更加簡潔，測試操作更加便捷，芯片測試效率顯著提升，具備較高的工程應(yīng)用價(jià)值。

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（編輯 王雪芬）

Design and verification of universal source table program control system based on ATE

LIAO" Yong， BAI" Yang， LI" Jiajun， XIE" Dongcai， HUO" Xinyao

（China Aerospace Science amp; Industry Corp Defense Technology Ramp;T Center， Beijing 100854， China）

Abstract： When testing integrated circuits on ATE machines， the test conditions of the chip’s electrical parameters will exceed the board resources of ATE machines. Therefore， the program control system based on ATE machine is designed by using the characteristics of universal source table with high performance test index. The system and ATE machine can be programmed through simple connection and without writing complex program control instructions. The system can dynamically change the function configuration of the external source table and the sequence of parameter test items to assist the ATE machine to complete continuous automatic test. The test data collected by the source table can be directly sent back to the test data UI interface of the ATE machine for parameter card limit judgment. The experiment proves that the universal source table program control system makes the ATE based program control external source table more concise， test operation more convenient， and significantly improves the chip test efficiency.

Key words： ATE test; source table program control; parameter test; system design

作者簡介：廖勇（1995— ），男，工程師，碩士；研究方向：元器件可靠性。