秦紅霞，李 強，金 翼

(1.安泰科技股份有限公司，北京 100081；2.江蘇合金能源科技有限公司，江蘇 鎮(zhèn)江 212499)

1 引言

引線框架[1]是半導體芯片的載體，為半導體、芯片提供電流和信號輸入、輸出的通路，作為導電介質連接集成電路內外部電路，傳送電信號，并與氣密封接材料一起，向外散發(fā)芯片工作時產生的熱量，是集成電路[2～7]中極為關鍵的零部件，也是半導體和集成電路產品賴以生存的結構材料。隨著半導體器件集成度的迅速提高以及高可靠性、小型化、表面貼裝的發(fā)展，集成電路行業(yè)對引線框架提出了更高的要求，引線管腳的增多，間距減少[7]，以及外形的變革，在設計高可靠的集成電路引線框架時，要求框架材料要與單晶硅芯片材料、陶瓷等封接，溫度沖擊時與芯片等產生的應力要極小。

由于4J42合金是一種鐵磁性恒彈性合金(彈性模量溫度系數或頻率溫度系數很小的合金)，其熱膨脹系數與單晶硅芯片材料、陶瓷等相近，所以在設計高可靠的集成電路引線框架時，4J42 合金是首選的材料，能適應目前集成電路向小型化、大功率方向的發(fā)展要求[2～8]。

近幾年，國際上 IC[3]封裝業(yè)正在以平均每年 9%～11%的速度增長，面對國內平均高達 30%～40%的增長率，在未來一段時期里，國內 IC 引線框架市場將繼續(xù)存在供不應求、大量進口的局面，國內生產集成電路引線框架材料的廠家僅有幾家，只能滿足全國需求量的不足40%，其原因是該材料的尺寸精度、帶材板形、表面質量要求都極高[9～11]。

本文主要是對0.1 mm4J42冷軋帶材[12]的去應力退火工藝[13～15]進行研究，對不同退火工藝制度下冷軋帶材的性能和板形情況進行對比分析，從而確定最佳的引線框架材料用0.1 mm4J42冷軋帶材的去應力退火工藝(圖1)。

圖1 引線框架材料

2 實驗材料以及方法

2.1 實驗材料

在選取原材料的時候，要根據需方對膨脹系數的要求進行原材料的選擇。本文中要求合金的膨脹系數滿足：20～300 ℃ 時，膨脹系數為4～4.8×10-6/℃；20～400 ℃ 時，膨脹系數為5.4～6.6×10-6/℃，因此，選取成分見表1，帶材厚度為0.8 mm，寬度為260 mm，卷重約500 kg的4J42合金坯料。

表1 化學成分(質量分數) %

對4J42合金坯料的膨脹系數進行檢測，結果如表 2 所示，結果滿足需方的要求。

表2 4J42 坯料的膨脹系數

為了保證產品的性能，冷軋工藝流程設定為三軋三退一拉，最終軋程的變形率控制在27%±2%[16]，最后一道次的變形率通?？刂圃?0%左右，以得到較好的冷軋板形(圖2)。

2.2 去應力退火工藝實驗

去應力退火又叫張力退火[13～15]，它是在一定張力作用下進行連續(xù)熱處理，是溫度、時間和張力相配合的熱處理方法。帶材在機械加工、變形加工等過程中會產生內應力，采用去應力退火能夠消除殘余應力[17]，減小后序加工過程中的變形以及開裂等不良現象。

本實驗在考慮去應力退火對冷軋帶材板形影響的基礎上，重點考慮去應力退火對帶材性能影響較大的3個因素(退火溫度、退火速度、單位張力)進行正交實驗方案[18]的設計。將冷軋到0.10 mm的帶材，先進行剪邊，然后進行拉伸彎曲矯直處理，再分別取拉矯后的帶材各2 m，進行去應力退火處理[19]，具體實驗方案如表3所示。

表3 去應力退火實驗方案

去應力退火處理后，分別取0.1 mm×240 mm 的合金帶材各1 m，進行懸垂翹曲測量，檢測板形的平整度。

3 試驗結果和分析

3.1 退火工藝對帶材力學性能影響分析

去應力退火實驗結果見表4。

表4 去應力退火實驗結果

3.1.1 不同退火溫度、退火速度對4J42精密合金帶材硬度的影響

由圖3可以看出，退火溫度對帶材的硬度影響比較明顯，隨著退火溫度的升高，退火后帶材硬度呈顯著下降趨勢。在不同的退火速度下，退火溫度為400 ℃時，帶材的平均硬度HV為208.6；退火溫度為350 ℃時，帶材的平均硬度HV為209.3；退火溫度為300 ℃時，帶材的平均硬度HV為215.0。通過相關系數計算，r值為-0.84，說明退火溫度和帶材的硬度存在負相關，且高度線性相關。

圖3 退火溫度對材料硬度的影響

由圖4可以看出，退火速度的快慢對帶材的硬度影響不明顯。在不同的退火溫度下，退火速度為2 m/min時，帶材的平均硬度HV為210.0；退火速度為4 m/min時，帶材的平均硬度HV為211.7；退火速度為6 m/min時，帶材的平均硬度HV為211.3。通過相關系數計算，r值為-0.18，說明退火速度和帶材的硬度存在負相關，低度線性相關。

圖4 退火速度對材料硬度的影響

3.1.2 不同退火溫度、退火速度對4J42精密合金帶材抗拉強度的影響

由圖5可以看出，當退火溫度升高時，帶材的抗拉強度總體上呈下降趨勢。在不同的退火速度下，退火溫度為400 ℃時，帶材的平均抗拉強度為656.7 MPa；退火溫度為350 ℃時，帶材的平均抗拉強度為676.7 MPa；退火溫度為300 ℃時，帶材的平均抗拉強度為690 MPa。通過相關系數計算，r值為-0.90，說明退火溫度和帶材的抗拉強度存在負相關，且高度線性相關。

圖5 退火溫度對材料抗拉強度的影響

圖6可以看出，當退火速度變化時，帶材的抗拉強度總體上變化不明顯。在不同的退火溫度下，退火速度為2 m/min時，退火后帶材的平均抗拉強度為673.3 MPa；退火速度為4 m/min時，帶材的平均抗拉強度為671.7 MPa；退火速度為6 m/min時，帶材的平均抗拉強度為678.3 MPa。通過相關系數計算，r值為0.04，說明退火速度和帶材的抗拉強度存在正相關，但低度線性相關。

圖6 退火速度對材料抗拉強度的影響

3.1.3 不同退火溫度、退火速度對4J42精密合金帶材屈服強度的影響

由圖7可以看出，當退火溫度變化時，帶材的屈服強度變化規(guī)律不明顯。在不同的退火速度下，退火溫度為400 ℃時，帶材的平均屈服強度為613.3 MPa；退火溫度為350 ℃時，帶材的平均屈服強度為595.0 MPa；退火溫度為300 ℃時，帶材的平均屈服強度為621.7 MPa。通過相關系數計算，r值為-0.09，說明退火溫度和帶材的屈服強度存在負相關，低度線性相關。

圖7 退火溫度對材料屈服強度的影響

由圖8可以看出，當退火速度增加時，帶材的屈服強度逐漸增加。在不同的退火溫度下，退火速度為2 m/min時帶材的平均屈服強度為585.0 MPa，退火速度為4 m/min時帶材的平均屈服強度為601.7 MPa，退火速度為6 m/min時帶材的平均屈服強度為643.3 MPa。通過相關系數計算，r值為0.62，說明退火速度和帶材的屈服強度存在正相關，且顯著線性相關。

圖8 退火速度對材料屈服強度的影響

3.1.4 不同退火溫度、退火速度對4J42精密合金帶材延長率的影響

由圖9可以看出，當退火溫度升高時，帶材的延長率呈現不斷增加趨勢。在不同的退火速度下，退火溫度為300 ℃時，帶材的平均延長率為3.2%；退火溫度為350 ℃時，帶材的平均延長率為5.7%；退火溫度為400℃時，帶材的平均延長率為6.3%。通過相關系數計算，r值為0.83，說明退火溫度和帶材的延長率存在正相關，而且高度線性相關。

圖9 退火溫度對材料延長率的影響

由圖10可以看出，當退火速度增加時，帶材的延長率呈下降趨勢。在不同的退火溫度下，退火速度為2 m/min時，帶材的平均延長率為5.3%；退火速度為4 m/min時，帶材的平均延長率為5.2%；退火速度為6 m/min時，帶材的平均延長率為4.7%。通過相關系數計算，r值為-0.18，說明退火速度和帶材的延長率存在負相關，且低度線性相關。

圖10 退火速度對材料延長率的影響

3.2 對板形影響分析

將去應力退火后的冷軋帶材按照如圖11所示，進行線切割分條[20]，其實物如圖12所示，測量懸垂翹曲的值，計算分析板形情況，確定最佳的去應力退火工藝。

圖11 分切示意

圖12 定尺后板形

通過表4的對比分析，以及圖13可以看出，退火溫度對帶材懸垂翹曲影響較大，退火溫度升高時帶材的懸垂翹曲值呈現降低趨勢，也就是說帶材板形較好。通過相關系數計算，其退火溫度與帶材板形翹曲的相關系數為-0.87，且高度線性相關；退火速度與帶材板形翹曲的相關系數為0.40，顯著線性相關；退火張力與帶材板形翹曲的相關系數為-0.03，且低度線性相關。因此，在去應力退火時優(yōu)先考慮退火溫度，其次是退火速度，最后是退火張力。

圖13 退火溫度對帶材板形的影響

表4 正交試驗結果分析

因此，確定引線框架材料用0.1 mm4J42精密合金帶材最佳去應力退火工藝：退火溫度為400 ℃，退火速度為2 m/min，退火張力8 kg/mm2。

4 結論

(1)進行了多次去應力退火實驗，確定了引線框架用0.1 mm厚4J42精密合金帶材的最佳去應力退火工藝：退火溫度為400 ℃，退火速度為2 m/min，張力8 kg/mm2。

(2)在去應力退火工序中，對帶材性能和板形影響最明顯的是退火溫度，其次是退火速度，最后是退火張力。

(3)去應力退火溫度的變化對帶材的硬度、抗拉強度、延長率影響較大，且相關度較高；而去應力退火的速度變化對屈服強度影響較大，呈正相關，且相關度較高。

(4)采用本文的生產工藝流程生產出來的引線框架用0.1 mm4J42帶材性能良好，板形平整，其翹曲值可以達到20 mm/m以下。