俄羅斯烏拉爾聯(lián)邦大學和俄羅斯科學院烏拉爾分院電物理研究所科研人員聯(lián)合研發(fā)出一種鈦基四組分納米復合涂層TiSiCN(鈦、硅、碳、氮)新工藝，可作為耐磨性保護涂層用于保護飛機和燃氣渦輪發(fā)動機等部件，廣泛應用于金屬加工和生物醫(yī)學等領域。該復合涂層不需要高溫，也無需附加裝置和材料。研究結果發(fā)表在《Membranes》雜志上。

俄科研人員采用等離子體化學分解法，用具有空心陰極和活性陽極的氣體放電裝置來制造多組分活性介質，無需單獨安裝電離和過濾系統(tǒng)?？蒲腥藛T使用含有參與最終結構形成的SiC(硅、碳)和SiN(硅、氮)鍵的有機硅前體—揮發(fā)性低毒液體，通過等離子體中的電子束蒸發(fā)鈦，將鈦添加到前體氣體介質中，在處理過的部件表面形成TiN(鈦、氮)、TiC(鈦、碳)或 TiCN(鈦、碳、氮)晶體組成的納米晶相涂層。該工藝比磁控濺射具有更高的沉積速率和高離子通量密度，且成本低、無污染。