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        我國科學家首次獲得納米級光雕刻三維結(jié)構(gòu)

        2022-11-21 05:23:29
        河南科技 2022年18期
        關(guān)鍵詞:納米級飛秒雕刻

        2022年9月14日,國際頂級學術(shù)期刊《自然》發(fā)表了我國科學家在下一代光電芯片制造領(lǐng)域的重大突破。南京大學張勇、肖敏、祝世寧領(lǐng)銜的科研團隊,發(fā)明了一種新型“非互易飛秒激光極化鐵電疇”技術(shù),將飛秒脈沖激光聚焦于材料“鈮酸鋰”的晶體內(nèi)部,通過控制激光移動的方向,在晶體內(nèi)部形成有效電場,實現(xiàn)三維結(jié)構(gòu)的直寫和擦除。這一新技術(shù),突破了傳統(tǒng)飛秒激光的光衍射極限,把光雕刻鈮酸鋰三維結(jié)構(gòu)的尺寸,從傳統(tǒng)的1 μm 量級(相當于頭發(fā)絲的五十分之一),首次縮小到納米級,達到30 nm,大大提高了加工精度。

        這一重大發(fā)明,未來或可開辟光電芯片制造新賽道,有望用于光電調(diào)制器、聲學濾波器、非易失鐵電存儲器等關(guān)鍵光電器件芯片制備,在5G/6G 通信、光計算、人工智能等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景。

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